一种新型高度可调节的蒸发台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型高度可调节的蒸发台，包括底座、安装座和蒸发台本体，所述底座和安装座之间安装有升降机构，所述升降机构左右两侧安装有一对支撑机构，所述安装座上端固定有蒸发台本体，所述底座下端四周位置还安装有支脚，所述底座下端还开设有安装槽，所述安装槽内安装移动机构，本实用新型专利技术结构简单，便于调节蒸发台的高度，同时方便移动，能够给蒸发台技术领域带来便利。蒸发台技术领域带来便利。蒸发台技术领域带来便利。

【技术实现步骤摘要】
一种新型高度可调节的蒸发台


[0001]本技术涉及蒸发台
，具体为一种新型高度可调节的蒸发台。

技术介绍

[0002]蒸发台是一种用于物理学领域的核仪器，蒸发台属于PVD装置，PVD的原理是将金属或合金置于真空环境中并加热至其熔点以上，金属材料被蒸发成气相，金属原子会以直线运动轨迹高速前进，淀积在晶片表面上，金属的蒸发可有电阻加热，电子束聚焦加热、射频加热等方法，使蒸发源达到熔点，这种装置称为蒸发台，但是现有的蒸发台都是固定高度，不便于调节蒸发台的高度，不便于后续的清洗维护等工作，同时现有的工作台不便于移动。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种新型高度可调节的蒸发台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种新型高度可调节的蒸发台，包括底座、安装座和蒸发台本体，所述底座和安装座之间安装有升降机构，所述升降机构左右两侧安装有一对支撑机构，所述安装座上端固定有蒸发台本体，所述底座下端四周位置还安装有支脚，所述底座下端还开设有安装槽，所述安装槽内安装移动机构。
[0006]优选的，所述升降机构包括安装在底座上端中间位置的升降筒，所述升降筒内设置有插装槽，所述插装槽内插装有升降杆，所述升降杆的上端与安装座的下端固定连接，所述插装槽内还安装有升降电机，所述升降电机的输出端通过减速器驱动连接有螺纹杆，所述升降杆对应螺纹杆的位置开设有升降槽，所述升降槽内安装有螺母座，所述螺母座螺纹套装在螺纹杆上。
[0007]优选的，所述插装槽为四棱柱形，所述升降杆与插装槽相适配。
[0008]优选的，所述支撑机构包括底座上端和安装座下端对应位置安装的多组支撑滑轨和多组支撑杆，每组所述支撑滑轨内安装有水平方向的滑杆，每根所述滑杆上滑动套装有一对支撑座，所述支撑之间铰接有支撑杆，所述支撑杆交错分布，每组所述支撑杆之间转动穿设有转动轴，所述支撑座外侧还设置有紧固螺栓。
[0009]优选的，所述移动机构包括滑动安装在安装槽内的移动座，所述移动座下端分布安装有多组万向轮，所述安装槽内还安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端与移动座的上端固定连接，所述安装槽内还安装有多组辅助伸缩杆，所述辅助伸缩杆的伸缩端与移动座的上端固定连接。
[0010]优选的，所述安装槽的左右两侧还开设有限位槽，所述移动座的左右两侧对应位置安装有限位块，所述限位块滑动安装在限位槽内。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过设置升降机构，便于调节蒸发台
的高度；通过设置移动机构便于移动蒸发台；通过设置支撑机构，能够提高蒸发台的稳定性。本技术结构简单，便于调节蒸发台的高度，同时方便移动，能够给蒸发台
带来便利。
附图说明
[0012]图1为一种新型高度可调节的蒸发台的正面剖视结构示意图；
[0013]图2为一种新型高度可调节的蒸发台的侧面结构示意图。
[0014]图中：1
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底座，11
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支脚，12
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蒸发台本体，13
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安装座，2
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升降机构，21
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升降杆，22
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螺纹杆，23
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插装槽，24
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升降电机，25
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升降槽，26
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升降筒，27
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螺母座，3
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支撑机构，31
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支撑滑轨，32
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支撑杆，33
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转动轴，34
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紧固螺栓，35
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支撑座，4
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移动机构，41
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万向轮，42
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移动座，43
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电动伸缩杆，44
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辅助伸缩杆，5
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限位槽，51
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限位块。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]实施例1：请参阅图1～2，一种新型高度可调节的蒸发台，包括底座1、安装座13和蒸发台本体12，所述底座1和安装座13之间安装有升降机构2，所述升降机构2左右两侧安装有一对支撑机构3，所述安装座13上端固定有蒸发台本体12，所述底座1下端四周位置还安装有支脚11，所述底座1下端还开设有安装槽，所述安装槽内安装移动机构4。
[0017]所述升降机构2包括安装在底座1上端中间位置的升降筒26，所述升降筒26内设置有插装槽23，所述插装槽23内插装有升降杆21，所述升降杆21的上端与安装座13的下端固定连接，所述插装槽23内还安装有升降电机24，所述升降电机24的输出端通过减速器驱动连接有螺纹杆22，所述升降杆21对应螺纹杆22的位置开设有升降槽25，所述升降槽25内安装有螺母座27，所述螺母座27螺纹套装在螺纹杆22上。
[0018]所述插装槽23为四棱柱形，所述升降杆21与插装槽23相适配。
[0019]通过设置升降机构2，便于调节蒸发台本体12的高度，使用时，打开升降电机24，使其带动螺纹杆22转动，进而使螺纹套装在螺纹杆22上的螺母座27带动升降杆21进行升降，从而完成蒸发台本体12高度的调节。
[0020]所述支撑机构3包括底座1上端和安装座13下端对应位置安装的多组支撑滑轨31和多组支撑杆32，每组所述支撑滑轨31内安装有水平方向的滑杆，每根所述滑杆上滑动套装有一对支撑座35，所述支撑座35之间铰接有支撑杆32，所述支撑杆32交错分布，每组所述支撑杆32之间转动穿设有转动轴33，所述支撑座35外侧还设置有紧固螺栓34。
[0021]通过设置支撑机构3，能够提高蒸发台本体12的稳定性，使用时，通过升降机构2调节蒸发台本体12的高度时，支撑座35会在滑杆上移动，从而使支撑杆32围绕转动轴33转动，待完成蒸发台本体12的高度调节后，旋紧紧固螺栓34使支撑座35不发生滑动，从而完成实现支撑目的，提高蒸发台本体12的稳定性。
[0022]实施例2：请参阅图1～2，一种新型高度可调节的蒸发台，与实施例1的区别在于，
还包括移动机构4，所述移动机构4包括滑动安装在安装槽内的移动座42，所述移动座42下端分布安装有多组万向轮41，所述安装槽内还安装有电动伸缩杆43，所述电动伸缩杆43的伸缩端与移动座42的上端固定连接，所述安装槽内还安装有多组辅助伸缩杆44，所述辅助伸缩杆44的伸缩端与移动座42的上端固定连接。
[0023]所述安装槽的左右两侧还开设有限位槽5，所述移动座42本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型高度可调节的蒸发台，包括底座（1）、安装座（13）和蒸发台本体（12），其特征在于：所述底座（1）和安装座（13）之间安装有升降机构（2），所述升降机构（2）左右两侧安装有一对支撑机构（3），所述安装座（13）上端固定有蒸发台本体（12），所述底座（1）下端四周位置还安装有支脚（11），所述底座（1）下端还开设有安装槽，所述安装槽内安装移动机构（4）。2.根据权利要求1所述的一种新型高度可调节的蒸发台，其特征在于：所述升降机构（2）包括安装在底座（1）上端中间位置的升降筒（26），所述升降筒（26）内设置有插装槽（23），所述插装槽（23）内插装有升降杆（21），所述升降杆（21）的上端与安装座（13）的下端固定连接，所述插装槽（23）内还安装有升降电机（24），所述升降电机（24）的输出端通过减速器驱动连接有螺纹杆（22），所述升降杆（21）对应螺纹杆（22）的位置开设有升降槽（25），所述升降槽（25）内安装有螺母座（27），所述螺母座（27）螺纹套装在螺纹杆（22）上。3.根据权利要求2所述的一种新型高度可调节的蒸发台，其特征在于：所述插装槽（23）为四棱柱形，所述升降杆（21）与插装槽（23）相适配。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：李林，李丛，王浩钰，
申请(专利权)人：易魁电子科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：