本发明专利技术涉及一种蒸发源装置，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分、出气部分和真空舱室，进气部分包括进气管道和进气阀门，蒸发部分包括前加热管道、镀膜材料加热管道、后加热管道以及金属滤网，金属滤网设置在镀膜材料加热管道中，所用镀膜材料放置在金属滤网上被加热蒸发成镀膜气体，在镀膜材料加热管道的两端分别设置连接装置与前加热管道、后加热管道实现可拆装的连通，出气部分包括出气管道和出气阀门，前加热管道的另一端与进气阀门连接，后加热管道的另一端与出气阀门连接。本发明专利技术还公开该装置的使用方法。本发明专利技术解决气相传输沉积法中存在的蒸镀不均匀、材料易堆积在管道、装置复杂等问题。置复杂等问题。置复杂等问题。
A steam source device and its application method
【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源装置及其使用方法
[0001]本专利技术属于蒸镀设备
，特别涉及一种蒸发源装置及其使用方法。
技术介绍
[0002]现有的蒸镀镀膜方式大多是将蒸发源固定在蒸镀舱室底部，镀膜材料经加热后直接向上沉积到基片表面。这种蒸镀方式装置简单，蒸镀较为均匀且易于控制，但是蒸镀方向单一，材料分子的传输距离有限。
[0003]当蒸发源与蒸镀舱室分隔时，通常会采用气相传输沉积法镀膜。气相传输沉积法采用气体携带镀膜材料粒子通过传输路径输送到基片表面，进而完成成膜的方法。通常，镀膜材料粒子需要载气辅助输送，才能有足够的能量沉积到基片表面。以公开号为CN103025910A的专利为例，该专利公开利用载气将镀膜材料固体粉末通过管道输送到加热腔室，在加热腔室将固体材料转化为气体后通过腔室设计好的开口将材料沉积到基片上的技术方案。该方案将蒸发部分与镀膜部分分开，同时蒸发部分又被分成材料输送和材料蒸发两个过程。这种镀膜方式的蒸发源部分比较复杂，分开设置的输送材料部分和加热部分会导致材料分子分布的均匀性，进而影响镀膜的均匀性。此外，载气携带固体分子在管道上输送易导致堆积。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种蒸发源装置及其使用方法，能够适用于气相传输沉积方法，解决典型的气相传输沉积法中存在的蒸镀不均匀、材料易堆积在管道、装置复杂等问题。
[0005]本专利技术是这样实现的，提供第一种蒸发源装置，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分和出气部分，出气部分的末端与放置有待蒸镀基片的真空舱室连通；进气部分包括进气管道和设置在进气管道上的进气阀门，蒸发部分包括前加热管道、镀膜材料加热管道、后加热管道以及金属滤网，在前加热管道、镀膜材料加热管道和后加热管道上分别设置加热装置，金属滤网设置在镀膜材料加热管道中，所用镀膜材料放置在金属滤网上，蒸发时所用镀膜材料被镀膜材料加热管道和金属滤网共同加热蒸发成镀膜气体，在镀膜材料加热管道的两端分别设置连接装置与前加热管道、后加热管道实现可拆装的连通，出气部分包括出气管道和设置在出气管道上的出气阀门，进气管道的另一端与载气供应端连通，出气管道的另一端与真空舱室相连，前加热管道的另一端与进气阀门连接，后加热管道的另一端与出气阀门连接。
[0006]进一步地，所述进气部分、蒸发部分和出气部分依次上下设置，真空舱室位于出气部分的末端。
[0007]本专利技术是这样实现的，还提供第二种蒸发源装置，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分和出气部分，出气部分的末端与放置有待蒸镀基片的真空舱室连通；进气部分包括进气管道和设置在进气管道上的进气阀门，蒸发部分包括前加热管道、镀膜材料加热管
道以及后加热管道，在前加热管道、镀膜材料加热管道和后加热管道上分别设置加热装置，镀膜材料加热管道设有U形段，U形段的位置低于进气部分和出气部分，所用镀膜材料放置在U形段中被镀膜材料加热管道加热蒸发成镀膜气体，在镀膜材料加热管道的两端分别设置连接装置与前加热管道、后加热管道实现可拆装的连通，出气部分包括出气管道和设置在出气管道上的出气阀门，进气管道的另一端与载气源连通，出气管道的另一端与真空舱室相连，前加热管道的另一端与进气阀门连接，后加热管道的另一端与出气阀门连接。
[0008]进一步地，在所述后加热管道内设置阻隔滤网，用于隔离漂浮在载气中的镀膜材料颗粒进入到出气部分内。
[0009]进一步地，所述连接装置包括法兰以及固定法兰的法兰螺栓，镀膜材料加热管道的两端分别通过法兰与前加热管道、后加热管道连接，法兰螺栓将法兰固定。
[0010]进一步地，在所述出气管道上也设置加热装置。
[0011]进一步地，所述载气为氮气、氦气、氩气中任意一种。
[0012]本专利技术是这样实现的，还提供前述第一种蒸发源装置的使用方法，包括如下步骤：步骤一、松开连接装置，取出镀膜材料加热管道，将镀膜材料加入到金属滤网上后再将镀膜材料加热管道装回到蒸发部分中；步骤二、依次打开出气阀门和进气阀门，向进气管道通入载气，启动前加热管道、镀膜材料加热管道和后加热管道的加热装置，镀膜材料被逐渐蒸发成镀膜气体；步骤三、载气携带镀膜气体在真空舱室的真空吸力作用下通过出气管道进入到真空舱室内，最终沉积在基片表面生成薄膜。
[0013]本专利技术是这样实现的，还提供前述第二种蒸发源装置的使用方法，包括如下步骤：步骤Ⅰ、松开连接装置，取出镀膜材料加热管道，将镀膜材料加入到镀膜材料加热管道的U形段中后再将镀膜材料加热管道装回到蒸发部分中；步骤Ⅱ、依次打开出气阀门和进气阀门，向进气管道通入载气，启动前加热管道、镀膜材料加热管道和后加热管道的加热装置，镀膜材料被逐渐蒸发成镀膜气体；步骤Ⅲ、载气携带镀膜气体在真空舱室的真空吸力作用下通过出气管道进入到真空舱室内，最终沉积在基片表面生成薄膜。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的蒸发源装置及其使用方法具有以下特点：1、装置简单，制造和使用成本低；2、载气与镀膜材料气体能够混合得更加均匀，进而提高蒸镀的均匀性；3、将蒸发部分和镀膜部分分开，能够适用不同的蒸镀方式。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的蒸发源装置第一种较佳实施例的平面示意图；图2为本专利技术的蒸发源装置第二种实施例的平面示意图。
具体实施方式
[0016]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0017]请参照图1所示，本专利技术蒸发源装置的第一种较佳实施例，包括依次相互连通的进气部分1、蒸发部分2和出气部分3。出气部分3的末端与放置有待蒸镀基片的真空舱室4连通。在本实施例中，所述进气部分1、蒸发部分2和出气部分3依次上下设置，真空舱室4位于出气部分3的末端，图中真空舱室4位于出气部分3的顶部，进气部分1设置在蒸发部分2的下方，出气部分3设置在蒸发部分2的上方。
[0018]进气部分1包括进气管道5和设置在进气管道5上的进气阀门6，进气阀门6用于调控进入蒸发部分的载气的流量和流速，维持载气输送的稳定。所述载气为氮气、氦气、氩气中任意一种。图中的箭头方向为载气的流动方向。
[0019]蒸发部分2包括前加热管道7、镀膜材料加热管道8、后加热管道9以及金属滤网10。在前加热管道7、镀膜材料加热管道8、金属滤网10和后加热管道9上分别设置加热装置（图中未示出）。管道加热可以根据实际情况选择电热带伴热、电缆伴热和集肤效应伴热等方法。
[0020]金属滤网10设置在镀膜材料加热管道8中。所用镀膜材料A放置在金属滤网10上，蒸发时所用镀膜材料A被镀膜材料加热管道8和金属滤网10共同加热蒸发成镀膜气体。金属滤网10可以是一层或多层。金属滤网10一方面对镀膜材料A进行加热，使其转化为气体状态，另一方面能够使镀膜材料A维持在管道中间不致掉落。镀膜材料A为小颗粒状或粉末状固体。镀膜材料A需均匀且严密地分布在管道内部，这样可以本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分和出气部分，出气部分的末端与放置有待蒸镀基片的真空舱室连通；进气部分包括进气管道和设置在进气管道上的进气阀门，蒸发部分包括前加热管道、镀膜材料加热管道、后加热管道以及金属滤网，在前加热管道、镀膜材料加热管道、金属滤网和后加热管道上分别设置加热装置，金属滤网设置在镀膜材料加热管道中，所用镀膜材料放置在金属滤网上，蒸发时所用镀膜材料被镀膜材料加热管道和金属滤网共同加热蒸发成镀膜气体，在镀膜材料加热管道的两端分别设置连接装置与前加热管道、后加热管道实现可拆装的连通，出气部分包括出气管道和设置在出气管道上的出气阀门，进气管道的另一端与载气供应端连通，出气管道的另一端与真空舱室相连，前加热管道的另一端与进气阀门连接，后加热管道的另一端与出气阀门连接。2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述进气部分、蒸发部分和出气部分依次上下设置，真空舱室位于出气部分的末端。3.一种蒸发源装置，其特征在于，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分和出气部分，出气部分的末端与放置有待蒸镀基片的真空舱室连通；进气部分包括进气管道和设置在进气管道上的进气阀门，蒸发部分包括前加热管道、镀膜材料加热管道以及后加热管道，在前加热管道、镀膜材料加热管道和后加热管道上分别设置加热装置，镀膜材料加热管道设有U形段，U形段的位置低于进气部分和出气部分，所用镀膜材料放置在U形段中被镀膜材料加热管道加热蒸发成镀膜气体，在镀膜材料加热管道的两端分别设置连接装置与前加热管道、后加热管道实现可拆装的连通，出气部分包括出气管道和设置在出气管道上的出气阀门，进气管道的另一端与载气源连通，出气管道的另一端与真空舱室相连，前加热管道的另一端与进...
【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：杭州纤纳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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