蒸镀装置及显示面板的制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀装置及显示面板的制作方法。其包括第一蒸镀腔室、传送轨道以及面板传送机构；第一蒸镀腔室包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于第一底面和第一顶面之间的第一侧面；传送轨道通过第一蒸镀腔室；面板传送机构包括承载件，承载件可移动地连接于传送轨道上并用于承载面板，承载件处于第一状态，以使面板的蒸镀面垂直于第一底面，承载件处于第二状态，以使面板的蒸镀面与第一底面之间的夹角大于90

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置及显示面板的制作方法


[0001]本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种蒸镀装置及采用该蒸镀装置的显示面板的制作方法。

技术介绍

[0002]有机电致发光器件(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)是一种自发光器件，具有电压低、视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势。从使用的有机电致发光材料的分子量来看，有机电致发光器件分为小分子有机电致发光器件(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)和高分子电致发光器件(Polymer Light
‑
Emitting Diode，PLED)，由于分子量的不同，有机电致发光器件的制程也有很大的区别，PLED通过旋涂或者喷墨打印的方式制备，而OLED则主要通过热蒸镀的方式制备。
[0003]在现有的蒸镀设备中，基板通常为水平传送、以及水平放置于载台上，然后进行水平蒸镀，由于基板水平放置时，其面积较大，进而需要设置水平面积较大的载台来放置基板，进而增加了蒸镀设备的占地面积，使得蒸镀设备的成本增加。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种蒸镀装置及显示面板的制作方法，能够节省面板进行蒸镀时的占用面积，减少第一蒸镀腔室的占地面积，以节省空间和成本。
[0005]本专利技术实施例提供一种蒸镀装置，其包括：
[0006]第一蒸镀腔室，包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于所述第一底面和所述第一顶面之间的第一侧面和至少一第二侧面，所述第一蒸镀腔室还包括设置于所述第一侧面上的蒸镀件、设置于至少一所述第二侧面上的第一入口以及第一出口；
[0007]传送轨道，穿过所述第一入口以及所述第一出口，以使所述传送轨道通过所述第一蒸镀腔室；
[0008]面板传送机构，包括承载件以及旋转件，所述承载件可移动地连接于所述传送轨道上并用于承载面板，所述旋转件驱动所述承载件在第一状态与第二状态之间进行切换，所述承载件处于所述第一状态，以使所述面板的蒸镀面垂直于所述第一底面，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面与所述第一底面之间的夹角大于90
°
或小于90
°
，至少当所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第一侧面相对设置。
[0009]在本专利技术的一种实施例中，所述蒸镀装置还包括第一往复轨道，所述第一往复轨设置于所述传送轨道的一侧并用于传送第一掩膜板，且当所述第一掩膜板置于所述第一往复轨道上时，所述第一掩膜板垂直于所述第一底面。
[0010]在本专利技术的一种实施例中，在沿所述传送轨道的传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一入口一侧的第一组装机构以及设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一出口一侧的第一分离机构，所述传送方向为所述传送轨道由所述第
一入口指向所述第一出口的方向，所述传送轨道穿过所述第一组装机构以及所述第一分离机构，所述第一往复轨道连接于所述第一组装机构和所述第一分离机构之间，以使得所述面板与所述第一掩膜板在所述第一组装机构内对位贴合，在所述第一分离机构内分离。
[0011]在本专利技术的一种实施例中，当所述承载件移动至所述第一组装机构以及所述第一分离机构内时，所述承载件处于所述第一状态。
[0012]在本专利技术的一种实施例中，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一组装机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的面板放置机构以及所述第一分离机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的功能腔室，且所述传送轨道穿过所述面板放置机构和所述功能腔室，当所述承载件位于所述面板放置机构内和所述功能腔室内时，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面平行于所述第一底面。
[0013]在本专利技术的一种实施例中，所述传送轨道为闭合环路轨道，且所述承载件沿所述传送方向在所述闭合环路轨道上进行移动。
[0014]在本专利技术的一种实施例中，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述功能腔室远离所述第一分离机构一侧的第二蒸镀腔室，所述第二蒸镀腔室包括相对设置的第二底面和第二顶面、以及连接于所述第二底面和所述第二顶面之间的第三侧面和至少一第四侧面，所述第二蒸镀腔室还包括设置于所述第三侧面上的第二蒸镀件、设置于至少一所述第四侧面上的第二入口以及第二出口；
[0015]其中，所述传送轨道穿过所述第二入口以及所述第二出口，以使所述传送轨道通过所述第二蒸镀腔室，当所述承载件位于所述第二蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第三侧面相对设置。
[0016]在本专利技术的一种实施例中，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第二蒸镀腔室和所述功能腔室之间的第二组装机构以及设置于所述第二蒸镀腔室和所述面板放置机构之间的第二分离机构；
[0017]其中，所述蒸镀装置还包括设置于所述传送轨道一侧并连接于所述第二组装机构和所述第二分离机构之间的第二往复轨道，所述第二往复轨道用于传送第二掩膜板，且当所述第二掩膜板置于所述第二往复轨道上时，所述第二掩膜板垂直于所述第二底面。
[0018]在本专利技术的一种实施例中，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第二分离机构与所述面板放置机构之间的面板取出机构，所述传送轨道穿过所述面板取出机构；
[0019]其中，当所述承载件位于所述面板取出机构内时，所述承载件处于所述第二状态。
[0020]根据本专利技术的上述目的，本专利技术实施例还提供一种显示面板的制作方法，采用所述蒸镀装置，且所述显示面板的制作方法包括以下步骤：
[0021]提供所述面板，将所述面板置于所述承载件上；
[0022]所述旋转件控制所述承载件处于所述第一状态，以使所述面板的蒸镀面垂直于所述第一底面；
[0023]驱动所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内，所述蒸镀件对所述面板的所述蒸镀面进行蒸镀。
[0024]本专利技术的有益效果：本专利技术在传送轨道上设置可移动的面板传送机构用来承载面板，且面板传送机构包括用于承载面板的承载件以及驱动承载件在第一状态与第二状态之
间进行切换的旋转件，当承载件传送面板至第一蒸镀腔室内时，旋转件驱动承载件切换至第一状态，即面板的蒸镀面垂直于第一底面，且使得面板的蒸镀面与第一蒸镀腔室的第一侧面相对设置，进而可以使得面板处于竖直状态，减少面板进行蒸镀时占用的水平面积，以减少第一蒸镀腔室的占地面积，节省空间和成本。
附图说明
[0025]下面结合附图，通过对本专利技术的具体实施方式详细描述，将使本专利技术的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0026]图1为本专利技术实施例提供的蒸镀装置的一种系统结构示意图；
[0027]图2为本专利技术实施例提供的传送轨道竖直传送的结构示意图；
[0028]图3为本专利技术实施例提供的承载件处于第一状态下的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：第一蒸镀腔室，包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于所述第一底面和所述第一顶面之间的第一侧面和至少一第二侧面，所述第一蒸镀腔室还包括设置于所述第一侧面上的蒸镀件、设置于至少一所述第二侧面上的第一入口以及第一出口；传送轨道，穿过所述第一入口以及所述第一出口，以使所述传送轨道通过所述第一蒸镀腔室；面板传送机构，包括承载件以及旋转件，所述承载件可移动地连接于所述传送轨道上并用于承载面板，所述旋转件驱动所述承载件在第一状态与第二状态之间进行切换，所述承载件处于所述第一状态，以使所述面板的蒸镀面垂直于所述第一底面，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面与所述第一底面之间的夹角大于90
°
或小于90
°
，至少当所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第一侧面相对设置。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括第一往复轨道，所述第一往复轨设置于所述传送轨道的一侧并用于传送第一掩膜板，且当所述第一掩膜板置于所述第一往复轨道上时，所述第一掩膜板垂直于所述第一底面。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一入口一侧的第一组装机构以及设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一出口一侧的第一分离机构，所述传送方向为所述传送轨道由所述第一入口指向所述第一出口的方向，所述传送轨道穿过所述第一组装机构以及所述第一分离机构，所述第一往复轨道连接于所述第一组装机构和所述第一分离机构之间，以使得所述面板与所述第一掩膜板在所述第一组装机构内对位贴合，在所述第一分离机构内分离。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，当所述承载件移动至所述第一组装机构以及所述第一分离机构内时，所述承载件处于所述第一状态。5.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一组装机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的面板放置机构以及所述第一分离机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的功能腔室，且所述传送轨道穿过所述面板放置机构和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾辉，
申请(专利权)人：广州华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：