本申请实施例提供了一种蒸发源装置的盖体，该盖体包括：导流组件和两个限流组件，导流组件包括位于两端的两个斜孔导流部；斜孔导流部的中间开设有斜孔出射口，斜孔出射口的朝向为沿平行于导流组件的第一方向斜向上；斜孔导流部包括沿第二方向位于斜孔出射口两侧的两个斜孔子导流部，第二方向与第一方向相互垂直、并都垂直于导流组件的厚度方向；限流组件包括两个限流结构，沿第一方向，限流结构设置于斜孔子导流部的外侧。本申请实施例通过增加限流组件，从而限制蒸镀气流的方向，减少或避免盖体的周边积累蒸镀材料，从而能够有利于避免蒸发源装置出现温度异常的情况，能够降低生产风险，进而能够保证产出比和能够增加收益。进而能够保证产出比和能够增加收益。进而能够保证产出比和能够增加收益。
【技术实现步骤摘要】
蒸发源装置及其盖体、蒸发源设备
[0001]本申请涉及蒸镀
，具体而言，本申请涉及一种蒸发源装置及其盖体、蒸发源设备。
技术介绍
[0002]目前通常采用蒸镀的方式制备有机发光功能层，蒸镀是在真空中通过电流加热、电子束轰击加热和激光加热等加热方式，使被蒸镀材料蒸发成原子或分子并以较大的自由程作直线运动，碰撞基板表面而凝结，形成薄膜。
[0003]但是在蒸镀有机发光功能层时，蒸发源装置容易出现温度异常的问题，进而导致生产线宕机、产能和良率降低等情况。
技术实现思路
[0004]本申请针对现有方式的缺点，提出一种蒸发源装置及其盖体、蒸发源设备，用以解决现有技术蒸发源装置容易出现温度异常的技术问题。
[0005]第一个方面，本申请实施例提供了一种蒸发源装置的盖体，所述蒸发源装置用于蒸镀有机发光功能层，所述盖体包括：导流组件和两个限流组件；
[0006]所述导流组件包括位于两端的两个斜孔导流部；所述斜孔导流部的中间开设有斜孔出射口，所述斜孔出射口的朝向为沿平行于所述导流组件的第一方向斜向上；所述斜孔导流部包括沿第二方向位于所述斜孔出射口两侧的两个斜孔子导流部，所述第二方向与所述第一方向相互垂直、并都垂直于所述导流组件的厚度方向；
[0007]所述限流组件包括两个限流结构，沿所述第一方向，所述限流结构设置于所述斜孔子导流部的外侧。
[0008]可选地，所述限流结构沿所述第二方向的尺寸，随沿所述第一方向逐渐远离所述斜孔子导流部而逐渐减小。
[0009]可选地，所述限流结构为六面体，包括相对设置的第一面和第二面，相对设置的第三面和第四面和相对设置的第五面和第六面；
[0010]所述第一面与所述盖体的本体连接；
[0011]所述第四面比所述第三面靠近所述斜孔子导流部，所述第四面与所述斜孔子导流部连接；
[0012]所述第五面比所述第六面靠近两个所述斜孔导流部的中轴线，所述第五面与所述盖体的本体所在平面的夹角不大于90度。
[0013]可选地，所述第二面为梯形，包括顶边、底边和斜边，所述顶边的长度小于所述底边的长度，所述斜边靠近两个所述斜孔导流部的中轴线，所述底边与所述斜孔子导流部连接。
[0014]可选地，所述限流组件还包括连接结构，所述连接结构用于连接两个所述限流结构远离所述斜孔子导流部的两端。
[0015]可选地，所述限流结构沿所述第二方向的尺寸，随沿所述第一方向逐渐远离所述斜孔子导流部而恒定。
[0016]可选地，所述盖体包括下述至少一项：
[0017]所述导流组件还包括位于两个所述斜孔导流部之间的直孔导流部，所述直孔导流部开设有多个直孔出射口；
[0018]两个所述限流组件关于两个所述斜孔导流部的中轴线对称设置；
[0019]两个所述限流结构关于两个所述斜孔子导流部的中轴线对称设置；
[0020]所述限流结构和所述斜孔子导流部是一体成型的；
[0021]所述限流结构的厚度不小于2毫米。
[0022]第二个方面，本申请实施例提供了一种蒸发源装置，包括多个蒸发源，蒸发源包括喷嘴组件和第一个方面所述的盖体；
[0023]所述盖体用于设置在所述喷嘴组件的一侧，所述喷嘴组件包括位于两端的两个斜孔喷嘴和两个所述斜孔喷嘴之间的多个直孔喷嘴；所述斜孔喷嘴与所述盖体的斜孔出射口连通，所述直孔喷嘴与所述盖体的直孔出射口连通。
[0024]可选地，所述蒸发源装置包括下述至少一项：
[0025]所述蒸发源还包括坩埚和隔热板；所述坩埚设置在所述喷嘴组件远离所述盖体的一侧，所述坩埚包括多个喷射孔，一个所述喷射孔与一个所述斜孔喷嘴连通，一个所述喷射孔与一个所述直孔喷嘴连通；所述隔热板围绕设置在所述喷嘴组件的周边；
[0026]所述蒸发源装置还包括安装组件和加热组件，所述安装组件包括多个嵌入槽，所述蒸发源放置于所述嵌入槽内；所述加热组件设置在所述安装组件的外侧，用于对所述蒸发源的坩埚加热。
[0027]第三个方面，本申请实施例提供了一种蒸镀设备，包括第二个方面所述的蒸发源装置。
[0028]本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果包括：
[0029]通过在斜孔子导流部的外侧设置限流结构，限流结构能够利于限制从斜孔出射口喷出的蒸镀气流的方向，使得蒸镀气流斜向上流动，以及限流结构能够限制蒸镀气流向盖体的两侧流动，有利于避免因蒸镀气流沿第二方向向盖体的两侧流动而造成蒸镀材料在盖体的第二方向上的周边积累，进而能够利于尽量避免蒸镀材料与盖体发生接触，从而有利于降低蒸发源装置出现温度异常的几率，以及能够利于保证生产线的正常运行、能够提高产能和良率和能够提升蒸镀材料的利用率。
[0030]综上，本申请通过对盖体的改进，即增加限流组件，从而限制蒸镀气流的方向，减少或避免盖体的周边积累蒸镀材料，从而能够有利于避免蒸发源装置出现温度异常的情况，能够降低生产风险，进而能够保证产出比和能够增加收益。
[0031]本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0032]本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0033]图1为本申请实施例提供的一种盖体的俯视结构示意图；
[0034]图2为图1中左视结构示意图；
[0035]图3为本申请实施例提供的一种限流结构的结构示意图；
[0036]图4为图3中第五面与盖体的本体所在平面的夹角示意图；
[0037]图5为本申请实施例提供的一种限流组件的结构示意图；
[0038]图6为本申请实施例提供的另一种限流组件的结构示意图；
[0039]图7为本申请实施例提供的又一种限流组件的结构示意图；
[0040]图8为本申请实施例提供的一种盖体和隔热板配合的俯视结构示意图；
[0041]图9为本申请实施例提供的一种坩埚和喷嘴组件的剖面结构示意图；
[0042]图10为本申请实施例提供的一种蒸发源装置的结构示意图。
[0043]附图标记说明：
[0044]1‑
盖体；
[0045]11
‑
导流组件；111
‑
斜孔导流部；1111
‑
斜孔子导流部；1112
‑
斜孔出射口；112
‑
直孔导流部；1121
‑
直孔出射口；
[0046]12
‑
限流组件；121
‑
限流结构；1211
‑
第一面；1212
‑
第二面；1212a
‑
顶边；1212b
‑
底边；1212c
‑
斜边；1213
‑
第三面；1214
‑
第四面；1215...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置的盖体，所述蒸发源装置用于蒸镀有机发光功能层，其特征在于，所述盖体包括：导流组件和两个限流组件；所述导流组件包括位于两端的两个斜孔导流部；所述斜孔导流部的中间开设有斜孔出射口，所述斜孔出射口的朝向为沿平行于所述导流组件的第一方向斜向上；所述斜孔导流部包括沿第二方向位于所述斜孔出射口两侧的两个斜孔子导流部，所述第二方向与所述第一方向相互垂直、并都垂直于所述导流组件的厚度方向；所述限流组件包括两个限流结构，沿所述第一方向，所述限流结构设置于所述斜孔子导流部的外侧。2.根据权利要求1所述的盖体，其特征在于，所述限流结构沿所述第二方向的尺寸，随沿所述第一方向逐渐远离所述斜孔子导流部而逐渐减小。3.根据权利要求2所述的盖体，其特征在于，所述限流结构为六面体，包括相对设置的第一面和第二面，相对设置的第三面和第四面和相对设置的第五面和第六面；所述第一面与所述盖体的本体连接；所述第四面比所述第三面靠近所述斜孔子导流部，所述第四面与所述斜孔子导流部连接；所述第五面比所述第六面靠近两个所述斜孔导流部的中轴线，所述第五面与所述盖体的本体所在平面的夹角不大于90度。4.根据权利要求3所述的盖体，其特征在于，所述第二面为梯形，包括顶边、底边和斜边，所述顶边的长度小于所述底边的长度，所述斜边靠近两个所述斜孔导流部的中轴线，所述底边与所述斜孔子导流部连接。5.根据权利要求2所述的盖体，其特征在于，所述限流组件还包括连接结构，所述连接结构用于连接两个所述限流结构远离所述斜孔子导流部的两端。6.根据权利要求1所述的盖体，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹海洋，
申请(专利权)人：绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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