下载蒸发源装置及其盖体、蒸发源设备的技术资料

文档序号:34495020

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本申请实施例提供了一种蒸发源装置的盖体,该盖体包括:导流组件和两个限流组件,导流组件包括位于两端的两个斜孔导流部;斜孔导流部的中间开设有斜孔出射口,斜孔出射口的朝向为沿平行于导流组件的第一方向斜向上;斜孔导流部包括沿第二方向位于斜孔出射口两...
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