一种90制造技术

技术编号:34517737 阅读:10 留言:0更新日期:2022-08-13 21:05
本实用新型专利技术公开了一种90

【技术实现步骤摘要】
一种90
°
双目重构CVD腔体内三维空间装置


[0001]本技术涉及气相沉积
,具体为一种90
°
双目重构CVD腔体内三维空间装置。

技术介绍

[0002]在CVD钻石培育过程中,由于反应容器内是真空高温条件,且化学反应十分复杂,需要对内部的反映情况进行持续的观察。现有的观察方法是试验或生产人员通过观察窗来观察CVD腔体内的反应情况,该方法有很大的局限性,主观性太高,不同的人员会有不同的主观感受,存在观察和测量的误差,因此需要一种90
°
双目重构CVD腔体内三维空间装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种90
°
双目重构CVD腔体内三维空间装置以解决上述
技术介绍
中提出的人工观测存在误差问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:反应容器和支撑台,其特征在于:所述反应容器的正面设有添料口,反应容器的一侧设有检测口,反应容器远离检测口的一侧设有两个观察口;所述的支撑台包括底座,底座上设有支撑柱,支撑柱上端设有固定套筒,所述固定套筒的一侧设有工业相机,所述工业相机的镜头与观察口相对应。
[0005]两个所述观察口中轴线之间的夹角α为70
°
~120
°

[0006]所述固定套筒的一侧设有螺丝孔,与螺丝孔相配合设有固定螺丝,所述固定螺丝的一端设有摩擦片。
[0007]所述固定套筒上设有旋转轴,所述旋转轴啮合连接有伸缩齿条,所述旋转轴的上设有手柄。
[0008]所述伸缩齿条的下部设有连接轴和相机调节套筒,所述相机调节套筒上设有旋转环,所述旋转环套设在连接轴上,所述旋转环的内部设有摩擦环;所述工业相机与相机调节套筒可拆卸连接。
[0009]所述添料口上设有密封门,添料口两侧均设有紧固螺栓;密封门通过紧固螺栓与添料口可拆卸连接。
[0010]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0011]1、本技术通过在反应容器上设有两个观察口,使用两个工业相机从两个不同的角度对内部的反应物品进行观察,能够通过图像数据采样分析,通过不同角度的图像进行重构,反应出内部的三维空间,并在特定的软件界面上显示出来,使操作者只需要操作软件就能从各不同的角度来观察内部的反应情况,将内部的反映情况可视化,便于测量与记录。
[0012]2、本技术通过固定套管的设置,调整转轴旋转时带动啮合连接的伸缩齿条,能够在水平方向上调节工业相机的位置,通过连接轴轴和旋转环的配合设置,调节旋转环,能够改变工业相机的角度,便于对准内部的反应,提高图像识别的清晰度,通过摩擦环的设
置,能够起到增加旋转环和连接轴摩擦力的效果,便于固定旋转环的角度。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构示意图;
[0014]图2为本技术的剖视示意图;
[0015]图3为本技术的固定套筒结构示意图。
[0016]图中:1、反应容器;2、添料口;3、检测口;4、观察口;5、支撑台;6、底座;7、工业相机;8、螺丝孔;9、固定螺丝;10、摩擦片;11、旋转轴;12、伸缩齿条;13、手柄;14、连接轴;15、相机调节套筒;16、旋转环;17、摩擦环;18、密封门;19、紧固螺栓;20、支撑柱;21、固定套筒。
具体实施方式
[0017]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0018]在本专利技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0019]请参阅图1

3,本技术提供的一种实施例:包括反应容器1和支撑台5,反应容器1的正面设有添料口2,反应容器1的一侧设有检测口3,反应容器1远离检测口3的一侧设有两个观察口4;所述的支撑台5包括底座6,底座6上设有支撑柱20,支撑柱20上端设有固定套筒21,所述固定套筒21的一侧设有工业相机7,所述工业相机7的镜头与观察口4相对应,两个所述工业相机7之间的夹角α为90
°
,通过添料口2的设置,起到方便向反应容器1内部添加原材料的效果,通过检测口3的设置,起到方便通过检测口3放置传感器进行数据测量的效果,通过支撑柱20的设置,能够将工业相机7提升到相应的高度,通过两个观察口4和工业相机7的配合设置,起到方便从两个角度拍摄图像形成立体图像的效果。
[0020]两个所述观察口4中轴线之间的夹角α为70
°
~120
°
,通过两个观察口4的设置,能够使得两个观察口4所对应的工业相机7也具有相对应的夹角,当两个工业相机7从不同的角度对反应容器1的内部进行拍摄时,能够对拍摄获得的图像进行重构,成为立体的图像图像。
[0021]所述固定套筒21的一侧设有螺丝孔8,与螺丝孔8相配合设有固定螺丝9,所述固定螺丝9的一端设有摩擦片10,通过螺丝孔8与固定螺丝9的配合设置,起到旋转固定螺丝9后,能够带动摩擦片10移动,通过摩擦片10与内部支撑柱20的接触与脱离,能够起到固定和移动固定套筒21的效果
[0022]固定套筒21上设有旋转轴11,所述旋转轴11啮合连接有伸缩齿条12,所述旋转轴11的上设有手柄13,通过旋转轴11和伸缩齿条12啮合连接的设置,当通过手柄13调节旋转轴11时,能够带动伸缩齿条12水平移动,便于调节工业相机7水平方向的移动。
[0023]所述伸缩齿条12的下部设有连接轴14和相机调节套筒15,所述相机调节套筒15上设有旋转环16,所述旋转环16套设在连接轴14上,没所述旋转环16的内部设有摩擦环17,通过相机调节套筒15的设置,便于安装工业相机7,通过旋转环16和连接轴14的配合设置,便于旋转相机调节套筒15调节角度,通过摩擦环17的设置,起到增加旋转环16的摩擦力,便于固定相机调节套筒15在连接轴14上角度的效果。
[0024]所述添料口2上设有密封门18,添料口2两侧均设有紧固螺栓19;密封门18通过紧固螺栓19与添料口2可拆卸连接,通过密封门18的设置,能够对添料口2起到密封的效果,便于封闭反应容器1进行反应,通过紧固螺栓19的设置,起到方便拆装密封门18的效果。
[0025]工作原理:旋转紧固螺栓19,将密封门18取下,便可以将反应原材料放入反应容器1,随后再将密本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种90
°
双目重构CVD腔体内三维空间装置,包括反应容器(1)和支撑台(5),其特征在于:所述反应容器(1)的正面设有添料口(2),反应容器(1)的一侧设有检测口(3),反应容器(1)远离检测口(3)的一侧设有两个观察口(4);所述的支撑台(5)包括底座(6),底座(6)上设有支撑柱(20),支撑柱(20)上端设有固定套筒(21),所述固定套筒(21)的一侧设有工业相机(7),所述工业相机(7)的镜头与观察口(4)相对应。2.根据权利要求1所述的一种90
°
双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:两个所述观察口(4)中轴线之间的夹角α为70
°
~120
°
。3.根据权利要求1所述的一种90
°
双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述固定套筒(21)的一侧设有螺丝孔(8),与螺丝孔(8)相配合设有固定螺丝(9),所述固定螺丝(...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱晓谦
申请(专利权)人:郑州天宏自动化技术有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1