一种增加扩散炉密闭性的通气结构制造技术

本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，尤其涉及一种增加扩散炉密闭性的通气结构。其技术方案包括：筒体、反应箱、固定座和散热组件，筒体内部的顶部安装有反应箱，反应箱的底部安装有单向管，单向管的底部安装有散热组件，散热组件内安装有导流罩，导流罩的内壁等距安装有导热板，筒体的底部安装有连接盘，连接盘的底部安装有固定座，固定座的内部安装有延伸出的密封罩。本实用新型专利技术通过在固定座的底部安装有密封罩，能够通过密封罩与扩散炉的外侧紧密接触，进而增加固定座与扩散炉之间的密封性能，从而可以避免装置内部的气压过大造成尾气的泄露，保证了装置内部的废气可以都经过处理后再排出，增加了装置的环保性。增加了装置的环保性。增加了装置的环保性。

【技术实现步骤摘要】
一种增加扩散炉密闭性的通气结构


[0001]本技术涉及扩散炉
，具体为一种增加扩散炉密闭性的通气结构。

技术介绍

[0002]在半导体的生产制造中，为了对硅晶片中添加镁等金属离子，需要将制造完成后的硅晶片放置在扩散炉中，利用扩散炉对硅晶片进行加工，以提升硅晶片的加工效率，而扩散炉在使用时内部会产生废气，因此我们提出一种增加扩散炉密闭性的通气结构。
[0003]经检索，专利公告号为CN214914362U公开了一种新型氧化扩散炉排气装置，涉及半导体设备
本技术包括净化组件、加工箱和排气组件，加工箱的顶部与净化组件的底部连接，加工箱的一侧与排气组件的另一侧连接，净化组件包括第一净化管和第二净化管，第一净化管的底部与第二净化管的顶部螺纹连接，排气组件包括螺纹柱和连接管，螺纹柱的外壁与连接管的内壁连接。
[0004]现有的扩散炉通气结构存在的缺陷是：
[0005]1、现有的扩散炉通气结构在安装使用时，装置与扩散炉之间的连接位置处密封性不够理想，因此扩散炉内部的尾气在对外排出时，容易因为内部气压较大而导致废气从缝隙处渗漏出，使得未经处理的废气直接排放至空气中对空气造成污染，降低了装置的实用性；
[0006]2、现有的扩散炉通气结构在对尾气进行后期处理时，没有设置尾气的降温结构，因此装置在对尾气进行处理时，内部的零部件和反应液体等会逐渐吸收尾气中的热量，导致金属零部件和管道在使用时出现热衰减的情况，降低了装置的耐用性。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种增加扩散炉密闭性的通气结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种增加扩散炉密闭性的通气结构，包括筒体、反应箱、固定座和散热组件，所述筒体的顶部安装有防雨罩，所述筒体内部的顶部安装有反应箱，所述反应箱的底部一侧安装有排污管，所述反应箱的底部安装有单向管，所述单向管的底部安装有散热组件，所述散热组件内安装有导流罩，所述导流罩的内壁等距安装有导热板，所述筒体的底部安装有连接盘，所述连接盘的底部安装有固定座，所述固定座的内部安装有延伸出的密封罩。
[0009]使用本技术方案中一种增加扩散炉密闭性的通气结构时，通过轴流风机通电转动将扩散炉内部的尾气抽入筒体中，利用导流罩对尾气进行引流，使尾气进入反应箱中，同时利用导流罩对尾气中的热量进行吸收，使尾气可以降温，利用反应箱对混合化学溶剂进行存储，使尾气经过曝气盘排入化学溶剂中，使尾气中的有害物质可以被吸收，经过反应处理的尾气通过防雨罩排出筒体。
[0010]优选的，所述筒体的两侧安装有通风网罩，且筒体的内部两侧安装有散热风机。通
风网罩可以使筒体内外的空气流通，进而可以对导流罩进行散热，散热风机通电后可以转动，进而可以对导流罩进行散热。
[0011]优选的，所述单向管的顶部安装有连接管，且连接管的顶部安装有曝气盘。连接管可以将曝气盘与单向管固定连接，进而可以使单向管内部的尾气进入曝气盘中排入化学溶剂中，曝气盘可以增大尾气的释放面积，进而可以增加化学溶剂与尾气的反应效果。
[0012]优选的，所述连接盘的内部设有两组透气孔，且连接盘的底部安装有轴流风机。透气孔可以使连接盘内部的尾气进入导流罩中，轴流风机通电后可以转动，进而可以使扩散炉内部的尾气进入装置的内部。
[0013]优选的，所述固定座的两侧安装有螺纹座，且螺纹座的内部安装有固定螺栓。螺纹座可以与固定螺栓配合，使得装置可以固定安装在扩散炉的顶部，固定螺栓可以便于对装置进行固定安装，进而可以保证装置的安装稳定性和密封性。
[0014]优选的，所述导流罩的顶部两侧安装有支撑板，且导流罩的顶部设有通风口。支撑板可以对导流罩的顶部进行限位固定，进而保证了导流罩的安装稳定性，通风口可以使导流罩内部的尾气进入单向管的内部。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]1、本技术通过在固定座的底部安装有密封罩，能够通过密封罩与扩散炉的外侧紧密接触，进而增加固定座与扩散炉之间的密封性能，从而可以避免装置内部的气压过大造成尾气的泄露，保证了装置内部的废气可以都经过处理后再排出，增加了装置的环保性。
[0017]2、本技术通过在筒体的内部安装有导流罩，能够通过导流罩对进入筒体的尾气进行引导，使得尾气进入反应箱的内部进行化学处理，同时可以对尾气中的热量进行吸收，并且增加热量的传导面积，以便于对尾气进行降温，避免高温对装置内部的组件造成老化。
附图说明
[0018]图1为本技术的三维立体结构示意图。
[0019]图2为本技术的正面剖面结构示意图。
[0020]图3为本技术的正面外部结构示意图。
[0021]图4为本技术的散热组件
[0022]局部结构示意图。
[0023]图中：1、筒体；101、通风网罩；102、散热风机；103、防雨罩；2、反应箱；201、曝气盘；202、单向管；203、排污管；204、连接管；3、连接盘；301、轴流风机；302、透气孔；4、固定座；401、固定螺栓；402、密封罩；403、螺纹座；5、散热组件；501、导流罩；502、支撑板；503、通风口；504、导热板。
具体实施方式
[0024]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0025]实施例一
[0026]如图1
‑
4所示，本技术提出的一种增加扩散炉密闭性的通气结构，包括筒体1、
反应箱2、固定座4和散热组件5，筒体1的顶部安装有防雨罩103，筒体1内部的顶部安装有反应箱2，反应箱2的底部一侧安装有排污管203，反应箱2的底部安装有单向管202，单向管202的底部安装有散热组件5，散热组件5内安装有导流罩501，导流罩501的内壁等距安装有导热板504，筒体1的底部安装有连接盘3，连接盘3的底部安装有固定座4，固定座4的内部安装有延伸出的密封罩402。
[0027]基于实施例一的增加扩散炉密闭性的通气结构工作原理是：通过轴流风机301通电转动将扩散炉内部的尾气抽入筒体1中，利用导流罩501对尾气进行引流，使尾气进入反应箱2中，同时利用导流罩501对尾气中的热量进行吸收，使尾气可以降温，利用反应箱2对混合化学溶剂进行存储，使尾气经过曝气盘201排入化学溶剂中，使尾气中的有害物质可以被吸收，经过反应处理的尾气通过防雨罩103排出筒体1。
[0028]实施例二
[0029]如图1
‑
4所示，本技术提出的一种增加扩散炉密闭性的通气结构，相较于实施例一，本实施例还包括：筒体1的两侧安装有通风网罩101，且筒体1的内部两侧安装有散热风机102，单向管202的顶部安装有连接管204，且连接管204的顶部安装有曝气盘201，连接盘3的内部设有两组透气孔302，且连接盘3的底部安装有轴流风机301，固定座4的两侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种增加扩散炉密闭性的通气结构，包括筒体（1）、反应箱（2）、固定座（4）和散热组件（5），其特征在于：所述筒体（1）的顶部安装有防雨罩（103），所述筒体（1）内部的顶部安装有反应箱（2），所述反应箱（2）的底部一侧安装有排污管（203），所述反应箱（2）的底部安装有单向管（202），所述单向管（202）的底部安装有散热组件（5），所述散热组件（5）内安装有导流罩（501），所述导流罩（501）的内壁等距安装有导热板（504），所述筒体（1）的底部安装有连接盘（3），所述连接盘（3）的底部安装有固定座（4），所述固定座（4）的内部安装有延伸出的密封罩（402）。2.根据权利要求1所述的一种增加扩散炉密闭性的通气结构，其特征在于：所述筒体（1）的两侧安装有通风网罩（101），且筒体（1）的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱严刚，张俊超，吴甘泉，
申请(专利权)人：南通康芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：