半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置，包括安装支板、夹持支块、下支块、外壳体、回收冷却机构和控制机构，所述外壳体顶面和底面中心处均插接设有同其连通的导管，所述导管另一端设有连接管，所述导管和连接管之间通过设有法兰盘连接，所述夹持支块顶端和底端相互靠近的一侧均设有配合连接管使用的管固定机构，所述夹持支块内部设有配合外壳体使用的弧形的固定卡槽，所述下支块上设有配合导管和法兰盘使用的导孔，所述安装支板两端上均设有两个上下分布的安装孔。本实用新型专利技术与现有技术相比的优点在于：方便解除固定进行维护和冷却回收效果较好。除固定进行维护和冷却回收效果较好。除固定进行维护和冷却回收效果较好。

【技术实现步骤摘要】
半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置


[0001]本技术涉及废弃回收冷却
，具体是指半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置。

技术介绍

[0002]半导体芯片去毛刺溶液主要应用于处理芯片周边的毛刺，实现芯片的洁净，但在溶液使用时，因为需要进行加温，进而导致溶液的挥发，挥发后的有机胺废气通过管道排放到室外，很容易造成室外环境的污染和溶液的流失。现有的回收冷却装置依靠加长排放管的长度，增长有机胺气在管内的冷却时间实现冷却功能，但这种冷却方式较差，并且不利用溶液的回收，此外，现有回收冷却装置设置在墙面上端，需要使用多个螺栓和配件进行固定，一旦装置出现问题，难以进行拆卸维护，使用很不方便。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是克服上述缺陷，提供一种方便解除固定进行维护和冷却回收效果较好的半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供的技术方案为：半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置，包括安装支板，所述安装支板前端两侧均设有夹持支块，所述安装支板前端底部中间的位置设有下支块，所述下支块内部顶端设有弧形凹槽结构，所述下支块弧形凹槽结构内部设有顶端和底端为半球形结构的外壳体，所述外壳体内部设有回收冷却机构，所述安装支板内部设有配合夹持支块使用的控制机构，所述外壳体顶面和底面中心处均插接设有同其连通的导管，所述导管另一端设有连接管，所述导管和连接管之间通过设有法兰盘连接，所述夹持支块顶端和底端相互靠近的一侧均设有配合连接管使用的管固定机构，所述夹持支块内部设有配合外壳体使用的弧形的固定卡槽，所述下支块上设有配合导管和法兰盘使用的导孔，所述安装支板两端上均设有两个上下分布的安装孔。
[0005]作为改进，所述回收冷却机构包括设置于外壳体内部中间位置的设置盘，所述设置盘中心处设有气体通过孔，所述设置盘内部设有交错分布的毛细管，所述外壳体前壁上下端均插接设有同毛细管连接的内牙。
[0006]作为改进，所述控制机构包括设置于安装支板内部上下端的横移槽，所述横移槽开口朝向前端，所述横移槽内部两侧均插接设有横移支块，所述横移支块前端同夹持支块后端连接，所述横移槽内部设有同其两侧壁转动连接的双向丝杆，所述双向丝杆两端同横移支块通过螺纹结构连接，所述双向丝杆一端延伸至安装支板外部一侧并设有转板一。
[0007]作为改进，所述管固定机构包括设置于夹持支块顶端和底端的L形的支架，所述支架靠近连接管的一端设有半圆环形的外支框，所述外支框内部设有弧形的夹持板，所述夹持板远离连接管的一端转动连接设有丝杆，所述丝杆设置于夹持板上远离外壳体的一侧，所述丝杆另一端延伸至支架一侧并设有转板二，所述丝杆同支架和外支框之间通过螺纹结构连接。
[0008]作为改进，所述夹持板远离连接管的另一端设有限位杆，所述限位杆设置于夹持板上靠近外壳体的一侧，所述限位杆的另一端延伸至支架一侧。
[0009]作为改进，所述下支块底端两侧均设有三角形的加固钢架，所述加固钢架设置于下支块底端后侧并同安装支板底端连接。
[0010]本技术与现有技术相比的优点在于：相较于现有技术，本技术利用回收冷却机构的毛细管对有机胺气体直接进行降温，并且外壳体整体体积较大，增大气体在其内部停留的时间，增强对气体的冷却效果，并且底部设置的导管和连接管可直接进行溶液回收，保证装置的运行效果，此外，本技术依靠夹持支块配合其顶端和底端设置的管固定机构使用，能够确保对外壳体和连接管进行牢靠的固定，并且各个固定结构不依靠螺栓进行连接，方便直接解除固定拆卸进行维护，使用更为方便。
附图说明
[0011]图1是本技术半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置的结构示意图。
[0012]图2是本技术半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置的主视截面图。
[0013]图3是本技术半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置的右视截面图。
[0014]图4是本技术半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置控制机构的俯视截面图。
[0015]如图所示：1、安装支板；2、夹持支块；3、下支块；4、外壳体；5、回收冷却机构；5.1、设置盘；5.2、气体通过孔；5.3、毛细管；5.4、内牙；6、控制机构；6.1、横移槽；6.2、横移支块；6.3、双向丝杆；6.4、转板一；7、导管；8、连接管；9、法兰盘；10、管固定机构；10.1、支架；10.2、外支框；10.3、夹持板；10.4、丝杆；10.5、转板二；10.6、限位杆；11、固定卡槽；12、导孔；13、安装孔；14、加固钢架。
具体实施方式
[0016]下面结合附图对本技术做进一步的详细说明。
[0017]实施例1：半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置，如图1
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3，包括安装支板1、夹持支块2、下支块3、外壳体4和回收冷却机构5，所述回收冷却机构5包括设置盘5.1、气体通过孔5.2、毛细管5.3和内牙5.4，所述设置盘5.1设置于外壳体4内部，用来实现对毛细管5.3的支撑，所述毛细管5.3为极细微的管体，所述毛细管5.3交错较差的分布在放置盘5.1内部，当气体通过放置盘5.1内部设置的毛细管5.3时，因为交错分布的影响进一步提升了同毛细管5.3内部冷却水的接触面积，进而极大的提升了气体冷却成溶液的效率，所述内牙5.4的设置用来连接毛细管5.3的两端，所述内牙5.4内部为螺纹结构，方便同外部的循环结构进行连接，确保毛细管5.3内部的冷却水循环，确保后续的冷却回收能力，可通过固定的连接端口替代内牙5.4，针对性的连接端口能够提供更好的密封性能。
[0018]实施例2：半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置，如图1
‑
4，包括控制机构6、导管7、连接管8、法兰盘9和管固定机构10，所述控制机构6包括横移槽6.1、横移支块
6.2、双向丝杆6.3和转板一6.4，所述横移槽6.1设置在安装支板1的内部，而横移支块6.2直接设置在横移槽6.1内部，确保横移支块6.2能够在安装支板1上进行移动，通过双向丝杆6.3配合转板一6.4的控制，同时由于横移槽6.1对横移支块6.2自身结构的限制，所述横移支块6.2只能够实现两侧来回移动而自身不会出现上下转动的问题，确保控制夹持的稳定性。
[0019]所述导管7和连接管8通过法兰盘9进行连接，确保连接的紧密型，所述管固定机构10包括支架10.1、外支框10.2、夹持板10.3、丝杆10.4、转板二10.5和限位杆10.6，所述支架10.1用来实现对后续夹持的结构进行支撑的作用，通过两侧外支框10.2的组合，能够形成一个对连接管8套设的环结构，起到对其进行一定限制的作用，而通过丝杆10.4的转动能够控制夹持板10.3进行移动，当夹持板10.3靠近连接管8移动即可实现对其的夹持固定，确保外部的连接管也能够得到稳定的支撑固定作用，进而提升整个装置的稳定性，所述限位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置，包括安装支板（1），其特征在于：所述安装支板（1）前端两侧均设有夹持支块（2），所述安装支板（1）前端底部中间的位置设有下支块（3），所述下支块（3）内部顶端设有弧形凹槽结构，所述下支块（3）弧形凹槽结构内部设有顶端和底端为半球形结构的外壳体（4），所述外壳体（4）内部设有回收冷却机构（5），所述安装支板（1）内部设有配合夹持支块（2）使用的控制机构（6），所述外壳体（4）顶面和底面中心处均插接设有同其连通的导管（7），所述导管（7）另一端设有连接管（8），所述导管（7）和连接管（8）之间通过设有法兰盘（9）连接，所述夹持支块（2）顶端和底端相互靠近的一侧均设有配合连接管（8）使用的管固定机构（10），所述夹持支块（2）内部设有配合外壳体（4）使用的弧形的固定卡槽（11），所述下支块（3）上设有配合导管（7）和法兰盘（9）使用的导孔（12），所述安装支板（1）两端上均设有两个上下分布的安装孔（13）。2.根据权利要求1所述的半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置，其特征在于：所述回收冷却机构（5）包括设置于外壳体（4）内部中间位置的设置盘（5.1），所述设置盘（5.1）中心处设有气体通过孔（5.2），所述设置盘（5.1）内部设有交错分布的毛细管（5.3），所述外壳体（4）前壁上下端均插接设有同毛细管（5.3）连接的内牙（5.4）。3.根据权利要求1所述的半导体芯片去毛刺溶液有机胺废气回收冷却装置，其特征在于：所述控制机构（6）包括设置于安装支板（1）内部上下端的横移槽（6.1），所述横移槽（6.1）开口朝向前端，所述横移槽（6....

【专利技术属性】
技术研发人员：姚焕刚，孙晋伟，王强，张义，
申请(专利权)人：徐州正通人工环境工程有限公司，
类型：新型
国别省市：