本实用公开了一种使用方便的磁控溅射装置，本实用，包括机体，所述机体一端底部的一侧安装有电箱，所述机体一端中间位置的一侧安装有控制面板，所述机体的两侧均安装有侧防护板，所述机体靠近控制面板一端通过合页转动安装有密封门，所述机体远离控制面板一端的中间位置安装有气管，所述气管靠近密封门的一端安装有第一电子气阀，所述机体靠近密封门的一端开设有密封舱，所述密封舱底部的中间位置安装有电机，所述电机的输出端安装有镀件放置杆，所述密封舱底部远离密封门一端的中间位置安装有排风扇，所述机体内部底端远离密封门一端的中间位置安装有第二电子气阀。本实用，降低了工作人员更换靶材所需要的时间，提高了工作人员的工作效率。人员的工作效率。人员的工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种使用方便的磁控溅射装置
[0001]本实用涉及磁控溅射
，具体为一种使用方便的磁控溅射装置。
技术介绍
[0002]传统的磁控溅射真空舱，若是靶材用完，工作人员更换靶材需要拆卸大量的零件才能将机体上的靶材拆卸下来，使得工作人员更换靶材需要消耗大量的时间，严重的影响了工作人员的工作效率，并且传统的磁控溅射真空舱内部镀件放置杆只能将保温杯通过绳索束缚在镀件放置杆上，由于镀件放置杆在密封舱内部转动过程中，保温杯会在镀件放置杆上会出现相互碰撞的情况，容易造成保温杯的表面出现划痕，使得保温杯在磁控溅射镀膜的过程中，造成保温杯的表面镀膜完成后出现瑕疵。
技术实现思路
[0003]本实用的目的在于提供一种使用方便的磁控溅射装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本实用提供如下技术方案：一种使用方便的磁控溅射装置，包括机体，所述机体一端底部的一侧安装有电箱，所述机体一端中间位置的一侧安装有控制面板，所述机体的两侧均安装有侧防护板，所述机体靠近控制面板一端通过合页转动安装有密封门，所述机体远离控制面板一端的中间位置安装有气管，所述气管靠近密封门的一端安装有第一电子气阀，所述机体靠近密封门的一端开设有密封舱，所述密封舱底部的中间位置安装有电机，所述电机的输出端安装有镀件放置杆，所述密封舱底部远离密封门一端的中间位置安装有排风扇，所述机体内部底端远离密封门一端的中间位置安装有第二电子气阀，所述机体靠近密封门一端的两侧均安装有靶材固定装置。
[0005]优选的，所述镀件放置杆包括转动杆，所述转动杆安装于电机的输出端，所述转动杆的两侧和两端均安装有支撑杆，所述支撑杆的顶部安装有保温杯。
[0006]优选的，所述靶材固定装置包括承载件，所述承载件均安装于机体远离气管一端的两侧，所述承载件内部靠近密封舱的一侧安装有第一磁铁和第二磁铁，所述承载件靠近密封舱的一侧开设有安装槽，所述安装槽靠近密封门的一端安装有挡板，所述安装槽的内部安装有靶材。
[0007]优选的，所述气管有三个且三个气管等距纵向排列在机体远离密封门一端的中间位置，所述气管贯穿机体并与密封舱相连通，所述密封舱底部靠近气管一端的中间位置开设有散热孔，所述机体内部底端靠近气管一端的中间位置开设有排气仓，所述机体上排气仓的尺寸和排风扇的尺寸相适配，所述机体上排气仓通过第二电子气阀与外界相连通。
[0008]优选的，所述支撑杆有多个且多个支撑杆纵向等距排列在转动杆的两侧和两端，多个所述支撑杆的顶部开设有多个螺纹固定孔，所述支撑杆上的螺纹固定孔的尺寸和保温杯的尺寸相适配。
[0009]优选的，所述承载件靠近密封舱的一侧均开设有矩形固定槽，所述承载件上矩形
固定槽的尺寸与第一磁铁和第二磁铁的尺寸相适配，所述安装槽靠近密封舱一侧的顶部和底部均设置有卡块，所述安装槽贯穿机体并与密封舱相连通。
[0010]与现有技术相比，本实用的有益效果是：
[0011]1、该使用方便的磁控溅射装置，通过安装槽将靶材稳定牢固的放置在机体内部，并且通过挡板将靶材限制在安装槽内部，若是工作人员需要更换靶材只需要将挡板上的螺栓拧下来便能将挡板从安装槽上拆卸下来，便能直接将安装槽内部的靶材取出，工作人员便能直接更换靶材，降低了工作人员更换靶材所需要的时间，提高了工作人员的工作效率。
[0012]2、该使用方便的磁控溅射装置，由于支撑杆顶部设置有螺纹固定孔，工作人员可以通过螺纹固定孔将保温杯固定在支撑杆上，镀件放置杆在密封舱内部转动的过程中，可以避免保温杯出现相互碰撞的情况，使保温杯的表面出现划痕，同时防止保温杯的表面在镀膜后出现瑕疵。
附图说明
[0013]图1为本实用结构主视图；
[0014]图2为本实用结构侧视图；
[0015]图3为本实用结构侧视图；
[0016]图4为本实用内部结构主视剖图；
[0017]图5为本实用内部结构侧视剖图；
[0018]图6为本实用内部结构俯视剖图；
[0019]图7为本实用如4中A处结构放大图。
[0020]图中：1、机体；2、电箱；3、控制面板；4、侧防护板；5、密封门；6、气管；7、第一电子气阀；8、转动杆；9、支撑杆；10、保温杯；11、挡板； 12、承载件；13、第一磁铁；14、第二磁铁；15、安装槽；16、靶材；17、电机；18、密封舱；19、排风扇；20、第二电子气阀。
具体实施方式
[0021]下面将结合本实用实施例中的附图，对本实用实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用保护的范围。
[0022]请参阅图1
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7，本实用提供的一种实施例：一种使用方便的磁控溅射装置，包括机体1，机体1一端底部的一侧安装有电箱2，机体1一端中间位置的一侧安装有控制面板3，工作人员可以通过控制面板3操控第一电子气阀7、第二电子气阀20、电机17和排风扇19，机体1的两侧均安装有侧防护板4，工作人员可以通过侧防护板4对机体1内部的工作组件进行维修，机体1靠近控制面板3一端通过合页转动安装有密封门5，机体1远离控制面板3一端的中间位置安装有气管6，工作人员可以通过气管6来改变密封舱18内部的环境，气管6靠近密封门5的一端安装有第一电子气阀7，通过第一电子气阀7 将密封舱18与外界隔离开，机体1靠近密封门5的一端开设有密封舱18，密封舱18底部的中间位置安装有电机17，工作人员通过电机17带动镀件放置杆上的转动杆8转动，电机17的输出端安装有镀件放置杆，密封舱18底部远离密封门5一端的中间位置安装有排风扇19，机体1内部底端远离密封门 5一端的中间
位置安装有第二电子气阀20，通过第二电子气阀20改变排气仓内部的密封性，并且第二电子气阀20和排风扇19之间的配合，使得排风扇 19能够在保温杯10镀膜完成后对密封舱18的内部进行散热处理，机体1靠近密封门5一端的两侧均安装有靶材固定装置。
[0023]在本实施中，镀件放置杆包括转动杆8，转动杆8安装于电机17的输出端，转动杆8的两侧和两端均安装有支撑杆9，使得镀件放置杆上能够放置更多的保温杯10，使得镀件放置杆上能够固定更多的保温杯10，使得磁控溅射装置能够对更多的保温杯10进行镀膜，支撑杆9的顶部安装有保温杯10。
[0024]在本实施中，靶材固定装置包括承载件12，承载件12均安装于机体1远离气管6一端的两侧，承载件12内部靠近密封舱18的一侧安装有第一磁铁 13和第二磁铁14，通过第一磁铁13和第二磁铁14之间的配合，使得靶材16 能够对保温杯10的表面进行镀膜，承载件12靠近密封舱18的一侧开设有安装槽15，安装槽15靠近密封门5的一端安装有挡板11，通过挡板11将靶材 16限制在安装槽15内部，安装槽15的内部安装有靶材16。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种使用方便的磁控溅射装置，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)一端底部的一侧安装有电箱(2)，所述机体(1)一端中间位置的一侧安装有控制面板(3)，所述机体(1)的两侧均安装有侧防护板(4)，所述机体(1)靠近控制面板(3)一端通过合页转动安装有密封门(5)，所述机体(1)远离控制面板(3)一端的中间位置安装有气管(6)，所述气管(6)靠近密封门(5)的一端安装有第一电子气阀(7)，所述机体(1)靠近密封门(5)的一端开设有密封舱(18)，所述密封舱(18)底部的中间位置安装有电机(17)，所述电机(17)的输出端安装有镀件放置杆，所述密封舱(18)底部远离密封门(5)一端的中间位置安装有排风扇(19)，所述机体(1)内部底端远离密封门(5)一端的中间位置安装有第二电子气阀(20)，所述机体(1)靠近密封门(5)一端的两侧均安装有靶材固定装置。2.根据权利要求1所述的一种使用方便的磁控溅射装置，其特征在于：所述镀件放置杆包括转动杆(8)，所述转动杆(8)安装于电机(17)的输出端，所述转动杆(8)的两侧和两端均安装有支撑杆(9)，所述支撑杆(9)的顶部安装有保温杯(10)。3.根据权利要求1所述的一种使用方便的磁控溅射装置，其特征在于：所述靶材固定装置包括承载件(12)，所述承载件(12)均安装于机体(1)远离气管(6)一端的两侧，所述承载件(12)内部靠近密封舱(18)的一侧安装有第一磁铁(13)和第二磁铁...
【专利技术属性】
技术研发人员：林盟添，熊浪，汪鸿飞，张叶芳，
申请(专利权)人：永康市鸿联科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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