一种多功能磁控溅射真空镀膜机制造技术

本实用公开了一种多功能磁控溅射真空镀膜机，本实用，包括电箱，所述电箱一侧的两端均通过合页转动安装有活动门板，所述活动门板一侧的一端安装有控制面板，所述电箱内部底部的一端安装有第一电机，所述电箱内部底部靠近第一电机的一端安装有真空泵，所述电箱内部远离控制面板一侧靠近真空泵一端的中间位置安装有固定件。本实用，通过第一传送带和第二传送带之间的配合，将镀膜完成的被镀件从真空舱内部送往冷却舱，然后通过冷却舱上的散热扇对镀膜完成的被镀件进行散热处理，使得镀膜完成的被镀件表面的温度下降，然后通过第二传送带将被镀件送出冷却舱，然后工作人员便能够直接将镀膜完成的被镀件取下，避免工作人员被镀膜完成的被镀件烫伤。成的被镀件烫伤。成的被镀件烫伤。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能磁控溅射真空镀膜机


[0001]本实用涉及磁控溅射
，具体为一种多功能磁控溅射真空镀膜机。

技术介绍

[0002]磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
[0003]传统的磁控溅射真空镀膜装置功能较为单一，只能对被镀件进行镀膜处理，并且传统的磁控溅射真空镀膜装置在对被镀件进行镀膜的过程中，被镀件的表面会产生大量的热，并且温度在0
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100摄氏度不等，若是工作人员直接将镀膜完成的被镀件从磁控溅射真空镀膜装置内部取出的话，容易造成工作人员被镀膜完成的被镀件烫伤。

技术实现思路

[0004]本实用的目的在于提供一种多功能磁控溅射真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本实用提供如下技术方案：一种多功能磁控溅射真空镀膜机，包括电箱，所述电箱一侧的两端均通过合页转动安装有活动门板，所述活动门板一侧的一端安装有控制面板，所述电箱内部底部的一端安装有第一电机，所述电箱内部底部靠近第一电机的一端安装有真空泵，所述电箱内部远离控制面板一侧靠近真空泵一端的中间位置安装有固定件，所述电箱内部远离控制面板一侧通过固定件安装有惰性气体气罐，所述电箱内部底部远离第一电机的一端安装有第二电机，所述电箱内部顶端靠近第一电机一端的中间位置活动安装有第一传送带，所述第一传送带顶部活动安装有放置板，所述电箱内部顶端远离第一电机一端的中间位置活动安装有第二传送带，所述电箱顶部靠近第一传送带的一端安装有真空舱，所述真空舱顶部靠近第一电机一端的中间位置安装有电子气阀，所述真空舱内部远离控制面板的一侧安装有靶材，所述真空舱内部靠近控制面板的一侧安装有基板，所述真空舱两侧的侧壁均安装有承载件，所述承载件的内部安装有磁铁，所述电箱顶部靠近第二电机的一端安装有冷却舱，所述冷却舱顶部的中间位置安装有散热扇，所述真空舱和冷却舱两侧两端的中间位置均安装有安装件，所述真空舱和冷却舱均通过安装件安装有电缸，所述真空舱和冷却舱顶部的两端均活动安装有升降板，所述升降板顶部安装有连接块。
[0006]优选的，所述第一电机和第二电机的输出端均设置有转轮，所述第一传送带和第二传送带的一侧均设置有转动轮，所述第一电机和第二电机上的转轮与第一传送带和第二传送带上的转动轮之间通过皮带相连接。
[0007]优选的，所述电箱顶部的两端均开设有矩形开口，所述电箱上的矩形开口的尺寸
与第一传送带和第二传送带的尺寸相适配，所述冷却舱顶部的中间位置开设有散热口，所述冷却舱上散热口的尺寸和散热扇的尺寸相适配。
[0008]优选的，所述电箱内部远离控制面板的一侧靠近第一电机一端的中间位置开设有两个通孔，所述真空泵的输出端和输入端分别与两个通孔相连通，所述电箱顶部靠近第二电机一端的中间位置设置有管道，所述真空泵的输入端与管道相连通。
[0009]优选的，所述电箱内部远离控制面板一侧顶部开设有进气口，所述惰性气体气罐的输出端与进气口相连通，所述惰性气体气罐输出端通过进气口与电子气阀相连通，所述电子气阀的输出端贯穿真空舱的顶部。
[0010]优选的，所述真空舱和冷却舱顶部的两端均开设有矩形滑槽，所述真空舱和冷却舱上矩形滑槽的尺寸和升降板的尺寸相适配，所述电缸的输出端与连接块底部的两侧相连接，所述真空舱内部两侧的顶部和底部均设置有卡块，所述真空舱内部的两侧通过卡块与靶材和基板相卡接。
[0011]与现有技术相比，本实用的有益效果是：该多功能磁控溅射真空镀膜机，通过第一传送带和第二传送带之间的配合，将镀膜完成的被镀件从真空舱内部送往冷却舱，然后通过冷却舱上的散热扇对镀膜完成的被镀件进行散热处理，使得镀膜完成的被镀件表面的温度下降，然后通过第二传送带将被镀件送出冷却舱，然后工作人员便能够直接将镀膜完成的被镀件取下，避免工作人员被镀膜完成的被镀件烫伤。
附图说明
[0012]图1为本实用结构主视图；
[0013]图2为本实用结构侧视图；
[0014]图3为本实用内部结构主视剖图；
[0015]图4为本实用内部结构侧视剖图。
[0016]图中：1、电箱；2、活动门板；3、控制面板；4、第一电机；5、真空泵； 6、固定件；7、第二电机；8、第一传送带；9、第二传送带；10、真空舱； 11、电子气阀；12、放置板；13、靶材；14、基板；15、升降板；16、连接块；17、承载件；18、磁铁；19、冷却舱；20、散热扇；21、安装件；22、电缸；23、惰性气体气罐。
具体实施方式
[0017]下面将结合本实用实施例中的附图，对本实用实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用保护的范围。
[0018]请参阅图1
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4，本实用提供的一种实施例：一种多功能磁控溅射真空镀膜机，包括电箱1，电箱1一侧的两端均通过合页转动安装有活动门板2，活动门板2一侧的一端安装有控制面板3，控制面板3与第一电机4、真空泵5、第二电机7、电子气阀11和电缸22之间电性连接，电箱1内部底部的一端安装有第一电机4，通过第一电机4带动第一传送带8进行传送工作，电箱1内部底部靠近第一电机4的一端安装有真空泵5，通过真空泵5将真空舱10内部的空气抽出，电箱1内部远离控制面板3一侧靠近真空泵5一端的中间位置安装有固定件6，电
箱1内部远离控制面板3一侧通过固定件6安装有惰性气体气罐23，通过固定件6将惰性气体气罐23固定在电箱1内部，电箱1内部底部远离第一电机4的一端安装有第二电机7，通过第二电机7带动第二传送带9进行传送工作，电箱1内部顶端靠近第一电机4一端的中间位置活动安装有第一传送带8，第一传送带8顶部活动安装有放置板12，工作人员将被镀件固定在放置板12上，电箱1内部顶端远离第一电机4一端的中间位置活动安装有第二传送带9，电箱1顶部靠近第一传送带8的一端安装有真空舱 10，真空舱10顶部靠近第一电机4一端的中间位置安装有电子气阀11，通过电子气阀11来达到开关惰性气体气罐23的目的，真空舱10内部远离控制面板3的一侧安装有靶材13，真空舱10内部靠近控制面板3的一侧安装有基板 14，真空舱10两侧的侧壁均安装有承载件17，承载件17的内部安装有磁铁 18，电箱1顶部靠近第二电机7的一端安装有冷却舱19，冷却舱19顶部的中间位置安装有散热扇20，通过散热扇20对冷却舱19内部进行散热，真空舱 10和冷却舱19两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能磁控溅射真空镀膜机，包括电箱(1)，其特征在于：所述电箱(1)一侧的两端均通过合页转动安装有活动门板(2)，所述活动门板(2)一侧的一端安装有控制面板(3)，所述电箱(1)内部底部的一端安装有第一电机(4)，所述电箱(1)内部底部靠近第一电机(4)的一端安装有真空泵(5)，所述电箱(1)内部远离控制面板(3)一侧靠近真空泵(5)一端的中间位置安装有固定件(6)，所述电箱(1)内部远离控制面板(3)一侧通过固定件(6)安装有惰性气体气罐(23)，所述电箱(1)内部底部远离第一电机(4)的一端安装有第二电机(7)，所述电箱(1)内部顶端靠近第一电机(4)一端的中间位置活动安装有第一传送带(8)，所述第一传送带(8)顶部活动安装有放置板(12)，所述电箱(1)内部顶端远离第一电机(4)一端的中间位置活动安装有第二传送带(9)，所述电箱(1)顶部靠近第一传送带(8)的一端安装有真空舱(10)，所述真空舱(10)顶部靠近第一电机(4)一端的中间位置安装有电子气阀(11)，所述真空舱(10)内部远离控制面板(3)的一侧安装有靶材(13)，所述真空舱(10)内部靠近控制面板(3)的一侧安装有基板(14)，所述真空舱(10)两侧的侧壁均安装有承载件(17)，所述承载件(17)的内部安装有磁铁(18)，所述电箱(1)顶部靠近第二电机(7)的一端安装有冷却舱(19)，所述冷却舱(19)顶部的中间位置安装有散热扇(20)，所述真空舱(10)和冷却舱(19)两侧两端的中间位置均安装有安装件(21)，所述真空舱(10)和冷却舱(19)均通过安装件(21)安装有电缸(22)，所述真空舱(10)和冷却舱(19)顶部的两端均活动安装有升降板(15)，所述升降板(15)顶部安装有连接块(16)。2.根据权利要求1所述的一种多功能磁控溅射真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：林盟添，熊浪，汪鸿飞，张叶芳，
申请(专利权)人：永康市鸿联科技有限公司，
类型：新型
国别省市：