本申请公开了一种颜色介质膜制备方法和制备设备，涉及介质膜领域，制备方法包括磁控溅射设备内安装有电磁铁，将需要的靶材和待镀膜的基板安装到磁控溅射设备中，电磁铁位于基板背离靶材的一侧，然后在基板背离靶材的端面安装开有通孔的格挡片，将装有铁粉的上料盒套在基板上，并使基板背离格挡片的表面没于铁粉中，启动电磁铁，使电磁铁将铁粉吸附在基板上，取下上料盒，铁粉吸附正对于通孔位置的基板上，并使多余的铁粉回收至上料盒中，磁控溅射设备启动，对未吸附有铁粉的基板表面进行镀膜，关闭磁控溅射设备和电磁铁，更换靶材，并更换开设有不同通孔的格挡片。本申请具有便于在基板表面形成不同材料组成的同一层膜。基板表面形成不同材料组成的同一层膜。基板表面形成不同材料组成的同一层膜。
【技术实现步骤摘要】
一种颜色介质膜制备方法和制备设备
[0001]本申请涉及介质膜领域，尤其是涉及一种颜色介质膜制备方法和制备设备。
技术介绍
[0002]介质薄膜是指在中，除SiO, SiO2, BaTiO3、Y2O3、Si3N4 ,钽基介质薄膜以外的其它介质薄膜。颜色介质膜，既具有多彩的颜色，又具有很高的光学透光率，非常适合应用于光伏组件。
[0003]相关技术中，磁控溅射设备是用于给基板表面镀膜的常用设备，将需要镀膜的基板安装到磁控溅射设备内，并将靶材安装到设备内，设备启动，然后对基板表面进行镀膜处理，当基板完成镀膜后，更换靶材，然后对基板表面进行二次镀膜。
[0004]在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题，在镀膜的过程中，基板上往往要镀上多层膜，同一层膜各个部位厚度大致相当，当需要对同一层膜镀不同材料时，存在镀膜困难的缺陷。
技术实现思路
[0005]为了便于在基板同一层膜用不同材料进行镀膜，本申请公开了一种颜色介质膜制备方法和制备设备。
[0006]第一方面，本申请提供的一种颜色介质膜制备方法采用如下的技术方案，包括以下步骤：S1、磁控溅射设备内安装有电磁铁，将需要的靶材和待镀膜的基板安装到磁控溅射设备中，电磁铁位于基板背离靶材的一侧；S2、在基板背离靶材的端面安装其中一格挡片，格挡片上开设有若干通孔，若干格挡片为一组，同一组格挡片上的若干通孔互补；S3、将装有铁粉的上料盒套在基板上，并使基板背离格挡片的表面没于铁粉中，启动电磁铁，使电磁铁将铁粉吸附在基板上；S4、取下上料盒，铁粉吸附正对于通孔位置的基板上，并使多余的铁粉回收至上料盒中；S5、磁控溅射设备启动，对未吸附有铁粉的基板表面进行镀膜；S6、关闭磁控溅射设备和电磁铁，更换靶材，并更换开设有不同通孔的格挡片；S7、并重复步骤S3至S5；S8、重复步骤S6至S7，直到基板表面镀上一层所需要的膜；S9、翻转基板，并重复上述步骤S2至S8，直到基板两侧均形成所需的膜。
[0007]通过采用上述技术方案，将基板和靶材安装在磁控溅射设备中，磁控溅射设备启动，对基板表面进行镀膜处理，镀膜完成后，更换格挡片，并使铁粉吸附在对应的基板上，便于对基板上没有吸附铁屑的位置进行镀膜，若干格挡片互补，直到在基板表面形成一层所需的膜。
[0008]第二方面，本申请提供一种制备介质膜制的设备：
包括磁控溅射设备、设置在磁控溅射设备内并用于夹持基板的夹持装置、用于夹持靶材的定位装置、电磁铁、使铁粉吸附在基板上的上料装置，所述夹持装置包括固定在磁控溅射设备内且呈水平设置的两安装板，两所述安装板上均连接有驱动气缸，所述驱动气缸活塞杆端部固定有用于将基板侧壁夹紧的抵接板。
[0009]通过采用上述技术方案，靶材安装到磁控溅射设备中，基板放置到两抵接板之间，驱动气缸启动，抵接板朝着靠近基板方向运动，并抵紧在基板的侧壁，从而实现基板在磁控溅射设备内的安装，便于基板的安装和便于对基板表面进行镀膜处理可选的，所述安装板上设置有用于翻转基板的旋转机构，所述旋转机构包括固定在安装板上的安装块，所述驱动气缸转动连接在安装块上，所述驱动气缸外壁套接有旋转齿轮，所述旋转齿轮轴线与驱动气缸活塞杆轴线重合，所述安装板上表面滑移设置有与旋转齿轮啮合的驱动齿条，所述安装板上固定有带动驱动齿条运动的滑动气缸。
[0010]通过采用上述技术方案，当基板其中一表面完成镀膜后，工作人员可使电磁铁朝着远离基板的方向运动，并作用于旋转机构，使滑动气缸带动驱动齿条运动，驱动齿条带动旋转齿轮转动，旋转齿轮带动驱动气缸转动，从而便于两驱动气缸带动基板转动，进而便于对基板另一个表面进行镀膜处理。
[0011]可选的，所述抵接板为呈竖直设置且长度方向平行于驱动齿条的矩形板，所述矩形板沿驱动齿条长度方向的两侧壁开设有滑动槽，所述滑动槽沿驱动齿条长度方向延伸，所述滑动槽内穿设有滑动杆，所述滑动槽内固定有推动滑动杆朝向滑动槽内运动的滑动弹簧，滑动杆背离滑动弹簧的一侧固定有垂直于滑动杆并抵接于基板侧壁的限位杆。
[0012]通过采用上述技术方案，抵接杆抵接在基板相对的两侧壁上，限位杆抵接在基板另外两侧相对的侧壁上，便于对基板进行限位，同时便于格挡片在基板上表面的安装，限位杆和抵接板对格挡片起限位作用。
[0013]可选的，所述定位装置包括固定在磁控溅射设备内固定有支撑架，所述支撑架上转动连接有转动盘，转动盘横截面呈正多边形，若干靶材固定安装在转动盘对应的侧壁上，所述转动盘上设置有连接对应靶材的连接机构和驱动转动盘转动、并使对应靶材正对于基板的步进电机。
[0014]通过采用上述技术方案，步进电机启动，带动转动盘转动，使需要使用的靶材正对于基板，便于对基板进行镀膜，同时便于靶材的更换。
[0015]可选的，所述转动盘侧壁开设有连接槽，靶材位于所述连接槽内，所述连接机构包括滑移设置在连接槽内并使靶材抵紧在连接槽内壁的抵接杆，所述转动盘内部中空，所述连接槽沿抵接杆运动方向开设有驱动槽，所述抵接板上固定有穿设在驱动槽内的驱动杆，所述连接机构还包括设置在转动盘内并使若干驱动杆同步运动的驱动组件。
[0016]通过采用上述技术方案，将需要使用到的靶材安装到对应的连接槽内，工作人员可作用于驱动组件，使驱动组件带动驱动杆运动，驱动杆在运动的过程中带动抵接杆运动，使抵接杆与连接槽内壁共同作用，将靶材夹紧，实现若干板材的安装定位。
[0017]可选的，所述驱动组件包括转动连接在转动盘内的驱动盘，所述驱动盘上固定有若干与驱动杆对应并推动驱动杆滑移的驱动板，所述驱动盘一端开设有转动槽，所述转动盘上螺纹连接有穿设在转动槽内并带动驱动盘转动的转动杆，所述转动盘内壁固定有拉动对应驱动杆朝着远离靶材方向运动的连接弹簧。
[0018]通过采用上述技术方案，工作人员使转动杆转动，转动杆带动驱动盘转动，使驱动板推动驱动杆运动，从而使连接在驱动杆上的抵接杆与驱动槽内壁共同作用并将靶材夹紧，由于转动杆螺纹连接在转动盘上，可有效的减小当工作人员松手后，转动杆反向转动的可能。
[0019]可选的，所述驱动杆上连接有垂直于驱动杆的伸缩件，所述伸缩件包括固定在驱动杆上的伸缩筒、穿设在伸缩筒内的伸缩杆和设置在伸缩筒内并推动伸缩杆朝向伸缩筒外运动的伸缩弹簧，所述驱动板抵接在所述伸缩杆端部。
[0020]通过采用上述技术方案，伸缩件的设置，满足不同靶材尺寸的需求，伸缩弹簧起一定的缓冲作用，减小因不同靶材尺寸不同而导致尺寸较大的板材被损坏的可能。
[0021]可选的，所述上料装置包括固定在其中一所述安装板上表面的升降气缸，升降气缸呈竖直设置，升降气缸连杆的端部固定有呈水平设置的连接板，电磁铁固定在连接板下表面，其中一所述安装板下表面固定有连接架，连接架上固定有平行于安装板的辅助板，辅助板上固定有垂直于驱动齿条的伸缩气缸，所述伸缩气缸端部固定有呈水平设置的底板，所述底板上固定有呈竖直设置的上料气缸，所述上料气缸连杆端部固定有内部装有铁粉且上端呈开口设置的上料盒。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种颜色介质膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、磁控溅射设备内安装有电磁铁(3)，将需要的靶材(2)和待镀膜的基板(1)安装到磁控溅射设备中，电磁铁(3)位于基板(1)背离靶材(2)的一侧；S2、在基板(1)背离靶材(2)的端面安装其中一格挡片(4)，格挡片(4)上开设有若干通孔(5)，若干格挡片(4)为一组，同一组格挡片(4)上的若干通孔(5)互补；S3、将装有铁粉的上料盒(6)套在基板(1)上，并使基板(1)背离格挡片(4)的表面没于铁粉中，启动电磁铁(3)，使电磁铁(3)将铁粉吸附在基板(1)上；S4、取下上料盒(6)，铁粉吸附正对于通孔(5)位置的基板(1)上，并使多余的铁粉回收至上料盒(6)中；S5、磁控溅射设备启动，对未吸附有铁粉的基板(1)表面进行镀膜；S6、关闭磁控溅射设备和电磁铁(3)，更换靶材(2)，并更换开设有不同通孔(5)的格挡片(4)；S7、并重复步骤S3至S5；S8、重复步骤S6至S7，直到基板(1)表面镀上一层所需要的膜；S9、翻转基板(1)，并重复上述步骤S2至S8，直到基板(1)两侧均形成所需的膜。2.根据权利要求1所述的一种颜色介质膜制备方法的制备设备，其特征在于：包括磁控溅射设备、设置在磁控溅射设备内并用于夹持基板(1)的夹持装置、用于夹持靶材(2)的定位装置、电磁铁(3)、使铁粉吸附在基板(1)上的上料装置，所述夹持装置包括固定在磁控溅射设备内且呈水平设置的两安装板(7)，两所述安装板(7)上均连接有驱动气缸(9)，所述驱动气缸(9)活塞杆端部固定有用于将基板(1)侧壁夹紧的抵接板(10)。3.根据权利要求2所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述安装板(7)上设置有用于翻转基板(1)的旋转机构，所述旋转机构包括固定在安装板(7)上的安装块(8)，所述驱动气缸(9)转动连接在安装块(8)上，所述驱动气缸(9)外壁套接有旋转齿轮(11)，所述旋转齿轮(11)轴线与驱动气缸(9)活塞杆轴线重合，所述安装板(7)上表面滑移设置有与旋转齿轮(11)啮合的驱动齿条(13)，所述安装板(7)上固定有带动驱动齿条(13)运动的滑动气缸(12)。4.根据权利要求3所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述抵接板(10)为呈竖直设置且长度方向平行于驱动齿条(13)的矩形板，所述矩形板沿驱动齿条(13)长度方向的两侧壁开设有滑动槽(14)，所述滑动槽(14)沿驱动齿条(13)长度方向延伸，所述滑动槽(14)内穿设有滑动杆(15)，所述滑动槽(14)内固定有推动滑动杆(15)朝向滑动槽(14)内运动的滑动弹簧(16)，滑动杆(15)背离滑动弹簧(16)的一侧固定有垂直于滑动杆(15)并抵接于基板(1)侧壁的限位杆(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶利松，
申请(专利权)人：浙江合特光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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