一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置，方法包括：根据预设的亚表面标准缺陷参数创建虚拟透明样品；利用仿真激光作用于虚拟透明样品的亚表面，获得虚拟透明样品亚表面标准缺陷对应的近场光场分布数据；根据近场光场分布数据确定对应的目标远场光强分布数据；根据目标远场光强分布数据及对应的亚表面标准缺陷参数创建透明样品亚表面标准缺陷数据库；如此，可根据所需要的标准缺陷参数创建对应的虚拟透明样品，相比于现有技术中标准样品的制作，样品制作效率较高；并且本申请是利用仿真数据确定最终的目标远场光强分布数据，减小人为实验误差，提高标准缺陷库的准确度。缺陷库的准确度。缺陷库的准确度。

【技术实现步骤摘要】
一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置


[0001]本申请涉及光学检测
，尤其涉及一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置。

技术介绍

[0002]对于透明的光学元件来说(比如窗口片)，在传统的研磨抛光加工中，不可避免地会引入亚表面层的气泡、划痕、微裂纹等结构性缺陷，这些缺陷会严重降低光学元件在高功率激光使用环境下的激光损伤阈值。
[0003]相关技术中，一般是通过准备多种标准缺陷的样品，利用激光共聚焦显微镜、光学显微镜等方法，通过实验分析获取缺陷信息，建立亚表面标准缺陷数据库，以能根据数据库快速确定出某个光学元件亚表面缺陷的类型。
[0004]但是现有技术中需要制备大量的标准样品，而标准样品加工难度大、时间长、成本高并且检测设备探测分辨率低，检测效率低，而且实验过程中容易引入人为误差，无法确保样品亚表面标准缺陷数据库的准确度及创建效率。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的问题，本专利技术实施例提供了一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置，以解决或者部分解决现有技术中在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法，其特征在于，所述方法包括：根据预设的亚表面标准缺陷参数创建虚拟透明样品；所述亚表面标准缺陷参数包括：缺陷类型、缺陷大小、缺陷深度及材料；所述虚拟透明样品的亚表面设置有亚表面标准缺陷；利用仿真激光作用于所述虚拟透明样品的亚表面，获得所述虚拟透明样品亚表面标准缺陷对应的近场光场分布数据；根据所述近场光场分布数据确定对应的目标远场光强分布数据；根据所述目标远场光强分布数据及对应的亚表面标准缺陷参数创建透明样品亚表面标准缺陷数据库。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据亚表面标准缺陷参数创建虚拟透明样品，包括：创建虚拟透明样品；根据亚表面标准缺陷参数，在所述虚拟透明样品亚表面设置对应的亚表面标准缺陷。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据预设的亚表面标准缺陷参数创建虚拟透明样品之后，方法还包括：根据仿真需求设置光吸收边界条件类型。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用仿真激光作用于所述虚拟透明样品的亚表面，获得所述虚拟透明样品亚表面标准缺陷对应的近场光场分布数据，包括：将所述仿真激光经过所述虚拟透明样品的亚表面标准缺陷后发生衍射，获得近场衍射数据；对所述近场衍射数据进行处理，获得所述虚拟透明样品亚表面标准缺陷对应的近场光场分布数据。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述近场光场分布数据确定对应的目标远场光场分布数据，包括：根据公式将所述近场光场分布数据转换为远场光场分布数据U
f
(x
f
,y
f
)；对所述远场光场分布数据进行取模，获得所述目标远场光强分布数据；所述目标远场光强分布数据为远场光强分布图像；其中，所述F表示傅里叶变换，所述j为傅里叶变换的虚数，所述λ为仿真激光的波长，所述f为物镜的焦距，所述虚拟透明样品与所述物镜的前焦面之间存在预设的距离，所述U0(x0,y0)为所述近场光场分布数据。6.如权利要求1所述的方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘立拓，王娜，宋晓娇，王盛阳，石俊凯，霍树春，陈晓梅，周维虎，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
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