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本发明提供一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置，方法包括：根据预设的亚表面标准缺陷参数创建虚拟透明样品；利用仿真激光作用于虚拟透明样品的亚表面，获得虚拟透明样品亚表面标准缺陷对应的近场光场分布数据；根据近场光场分布数据确定对应的...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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