温控测试系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控测试系统及方法，温控测试系统包括制冷装置和循环装置，制冷装置包括蒸发器，循环装置包括水箱、泵体和加热器，蒸发器的放热通道的出口通过第一连通组件分别与水箱的进口和泵体的进口切换连通，泵体的出口通过第二连通组件分别与泵体的进口和蒸发器的放热通道的进口切换连通，泵体的出口、加热器、负载和在蒸发器的放热通道的进口依次连通。通过本发明专利技术可实现多种温控测试方案的自由切换，可在前期实现多种管路走向进行测试，验证设备是否满足设计需求，针对不同的客户需求进行测试，找到满足客户需求的最佳方案。满足客户需求的最佳方案。满足客户需求的最佳方案。

【技术实现步骤摘要】
温控测试系统及方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种温控测试系统及方法。

技术介绍

[0002]半导体温控装置作为生产半导体的辅助设备，在晶圆的制程工艺中要求保持恒定的温度输出，同时对于升降温的控温曲线也有要求。由于设备在实际设计和生产中最终控温效果和预期不一致，现有技术中的测试平台无法在前期实现多种管路走向进行测试，难以满足全面验证设备是否满足设计需求的要求。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种温控测试系统及方法，用以解决现有技术中测试平台无法在前期实现多种管路走向进行测试，难以满足全面验证设备是否满足设计需求的要求的缺陷，实现多种温控测试方案的自由切换，可在前期实现多种管路走向进行测试，验证设备是否满足设计需求，针对不同的客户需求进行测试，找到满足客户需求的最佳方案的效果。
[0004]本专利技术提供一种温控测试系统，包括制冷装置和循环装置，所述制冷装置包括蒸发器，所述循环装置包括水箱、泵体和加热器，所述蒸发器的放热通道的出口通过第一连通组件分别与所述水箱的进口和所述泵体的进口切换本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温控测试系统，其特征在于：包括制冷装置和循环装置，所述制冷装置包括蒸发器，所述循环装置包括水箱、泵体和加热器，所述蒸发器的放热通道的出口通过第一连通组件分别与所述水箱的进口和所述泵体的进口切换连通，所述泵体的出口通过第二连通组件分别与所述泵体的进口和所述蒸发器的放热通道的进口切换连通，所述泵体的出口、所述加热器、负载和所述蒸发器的放热通道的进口依次连通。2.根据权利要求1所述的温控测试系统，其特征在于：所述第一连通组件包括第一主管路、设有第一阀体的第一支管路和设有第二阀体的第二支管路，所述第一主管路一端与所述蒸发器的放热通道的出口连通，另一端与所述第一支管路和所述第二支管路均连通，所述第一支管路和所述第二支管路的另一端分别与所述水箱的进口和所述泵体的进口连通。3.根据权利要求2所述的温控测试系统，其特征在于：所述第二连通组件包括第二主管路、设有第三阀体的第三支管路和设有第四阀体的第四支管路，所述第二主管路一端与所述水箱的出口连通，另一端与所述第三支管路和所述第四支管路均连通，所述第三支管路和所述第四支管路的另一端分别与所述水箱的出...

【专利技术属性】
技术研发人员：常鑫，曹小康，芮守祯，何茂栋，冯涛，李文博，张伟，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：