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本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控测试系统及方法，温控测试系统包括制冷装置和循环装置，制冷装置包括蒸发器，循环装置包括水箱、泵体和加热器，蒸发器的放热通道的出口通过第一连通组件分别与水箱的进口和泵体的进口切换连通，泵体的出口通过...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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