波形生成装置、波形生成方法以及带电粒子束照射装置制造方法及图纸

一种能够抵消在放大器的输出中产生的电压尖峰脉冲的波形生成装置、波形生成方法以及带电粒子束照射装置。波形生成装置具备：第一DA转换器，对输入数据进行数字模拟转换并输出；控制部，输出第一信号以及第二信号，该第一信号具有基于输入数据的指令值，该第二信号具有与第一信号的指令值的差分成为恒定的指令值；第二DA转换器，对第一信号进行数字模拟转换并输出；第三DA转换器，对第二信号进行数字模拟转换并输出；以及合成器，对第一DA转换器、第二DA转换器及第三DA转换器的输出进行合成。控制部在输入数据的规定的第一高位比特的值反转时，对第一信号的指令值进行变更，以使该第一高位比特或者与该第一高位比特不同的第二高位比特的值反转。二高位比特的值反转。二高位比特的值反转。

【技术实现步骤摘要】
波形生成装置、波形生成方法以及带电粒子束照射装置
[0001]相关申请
[0002]本申请享受以日本专利申请2021－016707号(申请日：2021年2月4日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的所有内容。


[0003]本专利技术涉及波形生成装置、波形生成方法以及带电粒子束照射装置。

技术介绍

[0004]伴随着LSI的高集成化，半导体器件的电路线宽与金属布线间距正逐年细微化。为了形成这种半导体器件的电路图案，采用了如下方法，即：使用缩小投影型曝光装置，使用ArF等激光将形成于石英上的高精度的原画图案缩小转印到晶圆上的方法(光刻)。近年来，为了形成更细微的图案，开始采用使用了极端紫外线的EUV光刻法。在EUV光刻法中，使用具有由多个材料构成的多层构造的掩模。在任一种掩模中，都在高精度的原画图案的制作中使用了所谓电子束光刻技术，即：通过电子束描绘装置选择性地将掩模坯上的抗蚀剂曝光而形成图案。
[0005]在电子束描绘中，将描绘对象的基板载置于工作台上，一边使工作台移动一边进行描绘。此时，进行使射束照射位置跟随工作台的移动的跟踪控制，以使射束的照射位置不会伴随着工作台的移动而偏移。输出跟踪控制用的偏转电压的跟踪放大器连续地动作，有时在输出中产生电压尖峰脉冲(glitch，电压的瞬间的急剧变动)。若产生电压尖峰脉冲，则有射束照射位置偏移、描绘精度恶化的问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术提供能够抵消在放大器的输出中产生的尖峰脉冲的波形生成装置、波形生成方法以及带电粒子束照射装置。
[0007]本专利技术的一方式的波形生成装置具备：第一DA转换器，对输入数据进行数字模拟转换并输出；控制部，输出第一信号以及第二信号，该第一信号具有基于所述输入数据的指令值，该第二信号具有与所述第一信号的指令值之间的差分成为恒定的指令值；第二DA转换器，对所述第一信号进行数字模拟转换并输出；第三DA转换器，对所述第二信号进行数字模拟转换并输出；以及合成器，对所述第一DA转换器的输出、所述第二DA转换器的输出以及所述第三DA转换器的输出进行合成，所述控制部在所述输入数据的规定的第一高位比特的值反转时，对所述第一信号的指令值进行变更，以使该第一高位比特或者与该第一高位比特不同的第二高位比特的值反转。
附图说明
[0008]图1是本专利技术的实施方式的波形生成装置的构成图。
[0009]图2的(a)是表示包含电压尖峰脉冲的DA转换器的输出的曲线图，图2的(b)是表示
位移抵消用的DA转换器的输出的曲线图，图2的(c)是表示电压尖峰脉冲波形的曲线图。
[0010]图3的(a)是表示包含电压尖峰脉冲的DA转换器的输出的曲线图，图3的(b)是表示抵消用电压尖峰脉冲波形的曲线图，图3的(c)是表示电压尖峰脉冲被抵消后的电压变化的曲线图。
[0011]图4是变形例的波形生成装置的构成图。
[0012]图5的(a)是表示包含电压尖峰脉冲的DA转换器的输出的曲线图，图5的(b)是表示位移抵消用的DA转换器的输出的曲线图，图5的(c)是表示电压尖峰脉冲波形的曲线图。
[0013]图6的(a)是表示包含电压尖峰脉冲的DA转换器的输出的曲线图，图6的(b)是表示抵消用电压尖峰脉冲波形的曲线图，图6的(c)是表示电压尖峰脉冲被抵消后的电压变化的曲线图。
[0014]图7是本专利技术的实施方式的描绘装置的构成图。
[0015]图8是说明各区域的图。
[0016]图9是跟踪放大器的概略构成图。
[0017]图10的(a)是表示DA转换器的输出波形的例子的图。
[0018]图10的(b)是表示抵消用电压尖峰脉冲波形的例子的图。
[0019]图10的(c)是表示合成抵消用电压尖峰脉冲波形之后的波形的例子的图。
[0020]图10的(d)是表示抵消用电压尖峰脉冲波形的例子的图。
[0021]图10的(e)是表示合成抵消用电压尖峰脉冲波形之后的波形的例子的图。
[0022]图11是另一实施方式的波形生成装置的构成图。
[0023]图12是另一实施方式的波形生成装置的构成图。
[0024]附图标记说明
[0025]60 控制部
[0026]62 DA转换器
[0027]64 合成器
[0028]70 抵消电压尖峰脉冲生成部
[0029]71～76 DA转换器
[0030]77～79 合成器
[0031]100 描绘装置
[0032]101 基板
[0033]120 偏转控制电路
[0034]132、134 DAC放大器
[0035]136 DAC放大器(跟踪放大器)
[0036]138 加法器
[0037]200 电子束
[0038]208 主偏转器
[0039]209 副偏转器
具体实施方式
[0040]以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0041]图1示出本专利技术的实施方式的波形生成装置的构成。如图1所示，波形生成装置具备控制部60、DA转换器62(第一DA转换器)、合成器64以及抵消电压尖峰脉冲生成部70。
[0042]DA转换器62经由控制部60接收具有数字信号的指令值的输入数据，并转换为模拟信号。DA转换器62进行与接收到的指令值成比例的输出。在指令值的二进制数表示下，将对输出加权最大的比特称作最高位比特，将对输出加权最小的比特称作最低位比特。该指令值连续地变化。
[0043]在指令值的变化伴随着高位比特反转时，在DA转换器62的输出中产生较大的电压尖峰脉冲。例如在2进制数8比特表示(偏置二进制)的指令值从“00111111”(以下，对二进制数加上括号)变化为“01000000”时，或者从“01000000”变化为“00111111”时，高位第2比特反转。此时，在DA转换器62的输出中产生较大的电压尖峰脉冲。一般来说，关于电压尖峰脉冲，存在越是高位比特越会产生某种程度较大的电压尖峰脉冲的趋势。
[0044]控制部60监视输入数据，在指令值的变化伴随着高位比特反转时，使抵消电压尖峰脉冲生成部70生成抵消用电压尖峰脉冲波形。对于包含电压尖峰脉冲的DA转换器62的输出，用合成器64减去由抵消电压尖峰脉冲生成部70生成的抵消用电压尖峰脉冲波形，抵消在DA转换器62的输出中出现的电压尖峰脉冲。
[0045]另外，在指令值从“00000001”变化为“00000010”那样的不伴随高位比特的反转时(仅低位比特反转时)，在DA转换器62的输出中(几乎)不会产生电压尖峰脉冲，因此无需生成抵消用电压尖峰脉冲。
[0046]抵消电压尖峰脉冲生成部70具有并联设置的DA转换器71以及DA转换器74、合成器77。这里，设为在指令值的高位第1比特反转时在DA转换器62的输出中产生较大的电压尖峰脉冲来进行说明。
[0047]从控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波形生成装置，其特征在于，具备：第一DA转换器，对输入数据进行数字模拟转换并输出；控制部，输出第一信号以及第二信号，该第一信号具有基于所述输入数据的指令值，该第二信号具有与所述第一信号的指令值之间的差分成为恒定的指令值；第二DA转换器，对所述第一信号进行数字模拟转换并输出；第三DA转换器，对所述第二信号进行数字模拟转换并输出；以及合成器，对所述第一DA转换器的输出、所述第二DA转换器的输出以及所述第三DA转换器的输出进行合成，所述控制部在所述输入数据的规定的第一高位比特的值反转时，对所述第一信号的指令值进行变更，以使该第一高位比特或者与该第一高位比特不同的第二高位比特的值反转。2.根据权利要求1所述的波形生成装置，其特征在于，所述合成器包含第一减法器与第二减法器，该第一减法器从所述第二DA转换器的输出中减去所述第三DA转换器的输出，该第二减法器从所述第一DA转换器的输出中减去所述第一减法器的输出。3.根据权利要求1所述的波形生成装置，其特征在于，所述第一信号的指令值与所述第二信号的指令值相差一个最低位比特。4.根据权利要求1所述的波形生成装置，其特征在于，具有多个所述第二DA转换器，输入到各第二DA转换器中的所述第一信号的指令值的反转的比特不同，或者反转的比特相同且比反转的比特更高位的比特的值不同。5.根据权利要求4所述的波形生成装置，其特征在于，所述多个第二DA转换器以相互不同的放大率放大信号并输出。6.一种波形生成方法，其特征在于，具备如下工序：使用第一DA转换器对输入数据进行数字模拟转换并输出电压的工序；向第二DA转换器输入第一信号并进行数字模拟转换并输出的工序，所述第一信号具有基于所述输入数据的指令值；以及向第三DA转换器输入第二信号并进行数字模拟转换并输出的工序，所述第二信号具有与所述第一信号的指令值之间的差分成为恒定的指令值，在所述输入数据的规定的第一高位比特的值反转时，对所述第一信号的指令值进行变更，以使该第一高位比特或者与该第一高位比特不同的第二高位比特的值反转，将所述第一DA转换器的输出、所述第二DA转换器的输出、以及所述第三DA转换器的输出合成，获得使所述第一DA转换器的输出中包含的电压尖峰脉冲减少了的信号。7.根据权利要求6所述的波形生成方法，其特征在于，使用第一减法器从所述第二DA转换器的输出中减去所述第三DA转换器的输出，使用第二减法器从所述第一DA转换器的输出中减去所述第一减法器的输出而获得使所述电压尖峰脉冲减少了的信号。8.根据权利要求6所述的波形生成方法，其特征在于，所述第一信号的指令值与所述第二信号的指令值相差一个最低位比特。
9.根据权利要求6所述的波形生成方法，其特征在于，向多个所述第二DA转换器的每一个所述第二DA转换器输入第一信号，并进行数字模拟转换并输出，该第一信号具有反转的比特不...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田迪彦，峰彰谦，河原邦昭，
申请(专利权)人：纽富来科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：