一种铜钠溅射靶材及制备装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及新材料技术领域，具体为一种铜钠溅射靶材及制备装置和方法，包括主仓、混料机构、加压冷却机构和真空机构，所述主仓的一端通过转轴连接有门板，所述主仓的内部设置有保温隔热垫，所述第一固定件的中部设置有螺纹杆，所述螺纹杆的一端通过螺纹连接有螺纹转盘，所述门板的一侧固定连接有密封垫，所述主仓的一端设置有控制柜。本装置工序较少，原料采集方便且成本较低，进而适用于大批量的生产，本装置操作简单方便，可减少用户的工作量，在混粉的同时进行抽真空可进一步的节约工作时间，进而的提高生产效率，降低用户的生产成本，同时本装置便于用户的控制，用户在使用中可实时进行控制，安全性较高。安全性较高。安全性较高。

【技术实现步骤摘要】
一种铜钠溅射靶材及制备装置和方法


[0001]本专利技术涉及新材料
，具体为一种铜钠溅射靶材及制备装置和方法。

技术介绍

[0002]溅射靶材应用于薄膜太阳能电池，太阳能电池具备绿色环保、高效、低成本、耐久等特点，现在广泛应用铜Cu、铟In、镓Ga及硒Se薄膜电池（）CIGS薄膜电池），该种电池材料中，含有稀有贵重材料铟In、镓Ga，专利CN1保温隔热垫（2）石墨模具（5）转件（15）84A公开了一种CIGS太阳能光电四元溅镀溅射靶材及其制法：一、将铜与铟混合，经热融、固化及研磨而预制成铜/铟合金粉末，二、将铜与镓混合，经热融、固化及研磨而预制成铜/镓合金粉末，三、再将铜/铟合金粉末、铜/镓合金材料及硒材料粉末充分混合而备制成加工材料粉末，四、再将加工材料粉末填充于模具内，通过一般的加热升温热融及加压程序，快速成型包括有铜Cu、铟In、镓Ga及硒Se的溅射靶材，该专利技术的工艺，工序多，时间较长；目前现有部分溅射靶材的制备装置在使用中，工序较多，操作较为繁琐，且时间较长，并且用户的工作量较大，进而导致降低用户的生产效率，增大用户的生产成本。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种铜钠溅射靶材及制备装置和方法，以解决上述
技术介绍
中提出的现有部分溅射靶材的制备装置在使用中，工序较多，操作较为繁琐，且时间较长，并且用户的工作量较大，进而导致降低用户的生产效率，增大用户的生产成本的问题，通过本方案可减少生产工序，从而适用于大批量的生产，操作简单方便，可减少用户的工作量，在混粉的同时进行抽真空可进一步的节约工作时间，进而的提高生产效率，降低用户的生产成本。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种铜钠溅射靶材及制备装置和方法，包括铜钠溅射靶材，所述铜钠溅射靶材主要成分为铜离子和钠离子，所述铜离子主要由高纯铜粉提供，所述钠离子主要由钠盐提供；所述高纯铜粉的纯度为百分之九十九点九九，所述高纯铜粉的粉末粒径为二百五十目；所述钠盐纯度为百分之九十九点九九，所述钠盐的粉末粒径为一百目；所述铜钠溅射靶材的钠离子含量在2
±
0.1wt%，所述钠盐在热压过程中会分解和流失，所述钠盐的钠离子含量一般配比为靶材的3
‑
4wt%。
[0005]优选的，所述钠盐包括碳酸钠、硫酸钠、亚硒酸钠、硝酸钠等钠盐的一种或几种。
[0006]该装置包括主仓、混料机构、加压冷却机构和真空机构，所述主仓的一端通过转轴连接有门板，所述主仓的内部设置有保温隔热垫，且保温隔热垫的外表面与主仓的内壁相贴合，所述主仓的内部设置有底座，且底座的底端与主仓的内壁固定连接，所述底座的顶端设置有石墨模具，所述石墨模具的顶端滑动连接有热压板，所述石墨模具的两端皆固定连接有拉环，所述石墨模具的底端开设有两组滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑轨，且滑轨
的底端皆与底座固定连接，所述底座的两端皆设置有电热元件，所述主仓的中部设置有测温传感器，所述底座的一端固定连接有抵板，且抵板的一侧与石墨模具相贴合，所述门板的一端固定连接有第一固定件，所述主仓的一端设置有第二固定件，且第二固定件与第一固定件靠近，所述第二固定件的中部设置有转件，且转件的两端皆通过轴承与第二固定件的内壁相连接，所述第一固定件的中部设置有螺纹杆，且螺纹杆的一端与转件的中部固定连接，所述螺纹杆的一端通过螺纹连接有螺纹转盘，且螺纹转盘的一端与第一固定件的一侧相贴合，所述门板的一侧固定连接有密封垫，且密封垫的一侧与主仓相贴合，所述主仓的一端设置有控制柜，且控制柜的控制端与外界电源电性连接，所述热压板、电热元件和测温传感器的控制端皆与控制柜电性连接。
[0007]优选的，所述混料机构包括侧件、底板、定位轨道、混料罐、密封盖、下料管、阀门、转动轴、第一齿轮、电机、第二齿轮和齿带，所述主仓的一端设置有侧件，所述侧件的底端设置有底板，所述底板的顶端固定连接有两组定位轨道，所述侧件的顶端设置有混料罐，所述混料罐的一端通过转轴连接有密封盖，所述混料罐的另一端连接有下料管，所述下料管的中部设置有阀门，所述混料罐的两端皆固定连接有转动轴，一组所述转动轴的一端通过轴承与侧件的内壁相连接，另一组所述转动轴的一端延伸至侧件的外部，一组所述转动轴的一端固定连接有第一齿轮，所述侧件的一端设置有电机，所述电机的输出端固定连接有第二齿轮，所述侧件的一侧设置有齿带，且齿带的内壁与第一齿轮和电机相啮合，所述混料罐与转动轴的夹角为四十五度，所述电机的控制端与控制柜电性连接，便于用户的混料。
[0008]优选的，所述加压冷却机构包括液压架、液压杆、压力板、滑动杆、冷却管和水泵，所述主仓的顶端固定连接有液压架，所述液压架的顶端设置有液压杆，所述液压架的中部设置有压力板，且压力板的顶端与液压杆的输出端固定连接，所述压力板底端的四个面角皆固定连接有滑动杆，且滑动杆的底端皆穿过主仓延伸至其内部，所述滑动杆的底端皆与热压板固定连接，所述滑动杆皆与主仓滑动连接，所述滑动杆与主仓之间皆通过密封件进行密封，所述主仓的内部设置有冷却管，且冷却管的一端延伸至主仓的一端，所述冷却管的另一端延伸至主仓的另一端，所述冷却管的一端连接有水泵，便于用户的加压和保压，同时提高用户使用的安全性。
[0009]优选的，所述冷却管呈螺旋状，所述压力板和水泵的控制端皆与控制柜电性连接，螺旋状的冷却管增大接触面，便于降温。
[0010]优选的，所述真空机构包括真空仓、第一真空度压力传感器、第二真空度压力传感器、真空泵、第一连接管、单向阀、第二连接管、第一电磁阀、进气管和第二电磁阀，所述主仓的底端开设有真空仓，所述真空仓顶端的内壁设置有第一真空度压力传感器，所述主仓的中部设置有第二真空度压力传感器，所述主仓的中部设置有真空泵，所述真空泵的一端连接有第一连接管，且第一连接管的一端与真空仓相连接，所述第一连接管的中部设置有单向阀，所述真空仓的中部连接有第二连接管，且第二连接管的一端与主仓相连接，所述第二连接管的中部设置有第一电磁阀，所述主仓的一端连接有进气管，所述进气管的中部设置有第二电磁阀，便于用户抽真空。
[0011]优选的，所述第一真空度压力传感器和第二真空度压力传感器的控制端皆与控制柜电性连接，所述真空泵、第一电磁阀和第二电磁阀的控制端皆与控制柜电性连接，便于用户的使用。
[0012]该装置运行方法：步骤一：混料，用户将按照一定的配比将钠盐和高纯铜粉加入至混料罐中，通过密封盖将混料罐密封，用户通过控制柜控制电机工作，通过齿带可使得转动轴和混料罐进行转动，混料罐的两端不断以转动轴为中心轴进行转动，此时钠盐和高纯铜粉不断的在混料罐内部进行左右移动，进而的可使得钠盐和高纯铜粉进行充分混合；步骤二：抽真空，用户控制真空泵工作，通过真空泵和第一连接管将真空仓的内部抽至真空状态，用户可通过第一真空度压力传感器和控制柜控制真空仓内部的真空度；步骤三：加料，混料结束后，用户将石墨模具放在底板的顶端，通过定位轨道可对石墨模具进行定位，用户在石墨模具的内部铺设一层石墨纸，然后用户打开阀门，混料罐内部的混合物通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铜钠溅射靶材，其特征在于，包括铜钠溅射靶材，所述铜钠溅射靶材主要成分为铜离子和钠离子，所述铜离子主要由高纯铜粉提供，所述钠离子主要由钠盐提供；所述高纯铜粉的纯度为百分之九十九点九九，所述高纯铜粉的粉末粒径为二百五十目；所述钠盐纯度为百分之九十九点九九，所述钠盐的粉末粒径为一百目；所述铜钠溅射靶材的钠离子含量在2
±
0.1wt%，所述钠盐在热压过程中会分解和流失，所述钠盐的钠离子含量一般配比为靶材的3
‑
4wt%。2.根据权利要求1所述的一种铜钠溅射靶材，其特征在于：所述钠盐包括碳酸钠、硫酸钠、亚硒酸钠、硝酸钠等钠盐的一种或几种。3.一种用于权利要求1
‑
2中任意一项所述的一种铜钠溅射靶材的制备装置，其特征在于，包括主仓（1）、混料机构、加压冷却机构和真空机构，所述主仓（1）的一端通过转轴连接有门板（3），所述主仓（1）的内部设置有保温隔热垫（2），且保温隔热垫（2）的外表面与主仓（1）的内壁相贴合，所述主仓（1）的内部设置有底座（4），且底座（4）的底端与主仓（1）的内壁固定连接，所述底座（4）的顶端设置有石墨模具（5），所述石墨模具（5）的顶端滑动连接有热压板（6），所述石墨模具（5）的两端皆固定连接有拉环（7），所述石墨模具（5）的底端开设有两组滑槽（8），所述滑槽（8）的内部滑动连接有滑轨（9），且滑轨（9）的底端皆与底座（4）固定连接，所述底座（4）的两端皆设置有电热元件（10），所述主仓（1）的中部设置有测温传感器（11），所述底座（4）的一端固定连接有抵板（12），且抵板（12）的一侧与石墨模具（5）相贴合，所述门板（3）的一端固定连接有第一固定件（13），所述主仓（1）的一端设置有第二固定件（14），且第二固定件（14）与第一固定件（13）靠近，所述第二固定件（14）的中部设置有转件（15），且转件（15）的两端皆通过轴承与第二固定件（14）的内壁相连接，所述第一固定件（13）的中部设置有螺纹杆（16），且螺纹杆（16）的一端与转件（15）的中部固定连接，所述螺纹杆（16）的一端通过螺纹连接有螺纹转盘（17），且螺纹转盘（17）的一端与第一固定件（13）的一侧相贴合，所述门板（3）的一侧固定连接有密封垫（18），且密封垫（18）的一侧与主仓（1）相贴合，所述主仓（1）的一端设置有控制柜（45），且控制柜（45）的控制端与外界电源电性连接，所述热压板（6）、电热元件（10）和测温传感器（11）的控制端皆与控制柜（45）电性连接。4.根据权利要求3所述的一种铜钠溅射靶材的制备装置，其特征在于：所述混料机构包括侧件（19）、底板（20）、定位轨道（21）、混料罐（22）、密封盖（23）、下料管（24）、阀门（25）、转动轴（26）、第一齿轮（27）、电机（28）、第二齿轮（29）和齿带（30），所述主仓（1）的一端设置有侧件（19），所述侧件（19）的底端设置有底板（20），所述底板（20）的顶端固定连接有两组定位轨道（21），所述侧件（19）的顶端设置有混料罐（22），所述混料罐（22）的一端通过转轴连接有密封盖（23），所述混料罐（22）的另一端连接有下料管（24），所述下料管（24）的中部设置有阀门（25），所述混料罐（22）的两端皆固定连接有转动轴（26），一组所述转动轴（26）的一端通过轴承与侧件（19）的内壁相连接，另一组所述转动轴（26）的一端延伸至侧件（19）的外部，一组所述转动轴（26）的一端固定连接有第一齿轮（27），所述侧件（19）的一端设置有电机（28），所述电机（28）的输出端固定连接有第二齿轮（29），所述侧件（19）的一侧设置有齿带（30），且齿带（30）的内壁与第一齿轮（27）和电机（28）相啮合，所述混料罐（22）与转动轴（26）的夹角为四十五度，所述电机（28）的控制端与控制柜（45）电性连接。
5.根据权利要求3所述的一种铜钠溅射靶材的制备装置，其特征在于：所述加压冷却机构包括液压架（31）、液压杆（32）、压力板（33）、滑动杆（34）、冷却管（43）和水泵（44），所述主仓（1）的顶端固定连接有液压架（31），所述液压架（31）的顶端设置有液压杆（32），所述液压架（31）的中部设置有压力板（33），且压力板（33）的顶端与液压杆（32）的输出端固定连接，所述压力板（33）底端的四个面角皆固定连接有滑动杆（34），且滑动杆（34）的底端皆穿过主仓（1）延伸至其内部，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，扈百直，李俊涛，
申请(专利权)人：江苏迪纳科精细材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：