温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及新材料技术领域，具体为一种铜钠溅射靶材及制备装置和方法，包括主仓、混料机构、加压冷却机构和真空机构，所述主仓的一端通过转轴连接有门板，所述主仓的内部设置有保温隔热垫，所述第一固定件的中部设置有螺纹杆，所述螺纹杆的一端通过螺纹连接有...
该专利属于江苏迪纳科精细材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏迪纳科精细材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。