树脂制接头、流路块以及流体控制装置制造方法及图纸

树脂制接头(1)包括具有流路(50)的接头主体(10)、套筒(20)、以及将管子固定在接头主体上的活接头螺母(30)，接头主体具有内周面呈弯曲状的主体部(11)、和从主体部的端部突出的平坦部(12)，平坦部具有外筒部(13)和被布置在外筒部的径向内侧的内筒部(14)，内筒部的端部比外筒部的端部更靠近主体部侧。在外筒部的内周面与内筒部的外周面之间形成有平行于外筒部和内筒部的轴心方向延伸的槽部(15)，管子在套筒的压入部(21)被压入到槽部中的状态下被固定在接头主体上。定在接头主体上。定在接头主体上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】树脂制接头、流路块以及流体控制装置


[0001]本专利技术涉及一种树脂制接头、流路块以及流体控制装置。

技术介绍

[0002]树脂制接头是连接作为半导体制造装置、医药品制造装置等的流路所使用的管子的部件之一例。
[0003]随着半导体制造装置等的小型化的发展，安装在装置内部的部件的集成度也上升。因此，为了将管子紧凑地连接起来，利用的是肘型树脂制接头。
[0004]专利文献1中公开了一种肘型树脂制接头100，如图15所示，形成在内部的流路110在角部120呈大致直角。然而，在这种构造的流路110中流动的流体与角部120的内壁碰撞而成为紊流，从而产生压力损失。因此，如图16所示，如果将角部120处的流路设为曲率半径较大的弯曲状，则能使流体平滑地在流路110内流动，由此就能够降低压力损失。
[0005]专利文献1：日本公开专利公报特开2011－208659号公报

技术实现思路

[0006]－专利技术要解决的技术问题－
[0007]在以注射成型来形成在内部形成有流路的树脂制接头100的情况下，通常通过以下方法形成树脂制接头100。首先，将形状与流路形状相对应的中心销布置在模具的模腔中，在该状态下，将熔融后的树脂注入模腔内。在注入的树脂固化后，拔出中心销，由此形成树脂制接头100。
[0008]然而，在如图16所示的构造的树脂制接头100中，形成流路的内周面包括在角部120弯曲的部位130和在端部侧呈平坦面的部位140，弯曲的部位130和呈平坦面的部位140同时存在。因此，布置在模具的模腔内的中心销，其外周面也具有与接头100的角部120的形状相对应的弯曲部位和与端部侧形状相对应的平坦的部位，弯曲部位和平坦的部位同时存在。
[0009]因此，如果中心销的弯曲部位的曲率半径较大，则在拔出中心销时，中心销的弯曲部位会被在接头100的端部侧成为平坦面的部位140的内周面卡住，因而无法拔出中心销。此外，还存在下述的问题，即：即使曲率半径较小，如果强行拔出中心销，则也会划伤在树脂制接头100的端部侧成为平坦面的部位140的内周面。
[0010]本公开正是鉴于上述问题而完成的，其目的在于：提供一种具有弯曲状的流路且压力损失较小的树脂制接头。
[0011]－用以解决技术问题的技术方案－
[0012]本公开所涉及的树脂制接头包括接头主体、套筒、以及活接头螺母(union nut)，所述接头主体具有流路且由树脂制成，所述套筒具有能够压入接头主体中的压入部和能够压入管子内的连结部，所述活接头螺母为了将已压入有连结部的管子固定在接头主体上而被安装在接头主体的外周。
[0013]接头主体具有内周面呈弯曲状的主体部、和从该主体部的端部突出的平坦部，平坦部具有彼此共有同一轴心的外筒部和内筒部，该内筒部布置在该外筒部的径向内侧，内筒部的轴心方向端部比外筒部的轴心方向端部更靠近主体部侧，在外筒部的内周面与内筒部的外周面之间形成有平行于外筒部和内筒部的轴心方向延伸的槽部，管子在套筒的压入部已被压入槽部的状态下被固定在接头主体上。
[0014]－专利技术的效果－
[0015]根据本专利技术，能够提供一种具有弯曲状的流路且压力损失小的树脂制接头。
附图说明
[0016]图1是示意地示出本专利技术的第一实施方式中的树脂制接头的结构的剖视图；
[0017]图2是示意地示出接头主体的结构的剖视图；
[0018]图3是示意地示出套筒的结构的剖视图；
[0019]图4是示意地示出活接头螺母的结构的剖视图；
[0020]图5是将图1的箭头A所示的部分放大后的剖视图；
[0021]图6是说明通过注射成型形成接头主体的方法的图；
[0022]图7是将接头主体的槽部附近放大后的放大图；
[0023]图8是示出降低密封性能的偏差的其他结构的剖视图；
[0024]图9是示出降低密封性能的偏差的其他结构的剖视图；
[0025]图10是示意地示出本专利技术的第二实施方式中的树脂制接头的结构的剖视图；
[0026]图11是示意地示出本专利技术的第三实施方式中的流路块的结构的图，图11的(A)是立体图，图11的(B)是沿着图11的(A)的XIB－XIB线剖开的剖视图；
[0027]图12的(A)、(B)是示出将流路块和U字块组合而构成接头的例子的图；
[0028]图13是示意地示出本专利技术的第三实施方式中的流路块的其他结构的图，图13的(A)是立体图，图13的(B)是沿着图13的(A)的XIIIB－XIIIB线剖开的剖视图；
[0029]图14是示意地示出本专利技术的第四实施方式中的流体控制装置的结构的剖视图；
[0030]图15是示出以往的肘型树脂制接头的结构的剖视图；
[0031]图16是示出以往的肘型树脂制接头的结构的剖视图。
具体实施方式
[0032]下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。需要说明的是，本专利技术并不限定于以下的实施方式。在不脱离发挥本专利技术的效果的范围的范围内，能够进行适当变更。
[0033](第一实施方式)
[0034]图1是示意地示出本专利技术的第一实施方式的树脂制接头(以下，也简称为“接头”)的结构的剖视图。需要说明的是，图1示出已将管子连接到接头上的状态。
[0035]如图1所示，本实施方式中的接头1包括：具有呈弯曲状的流路50的接头主体10；能够压入接头主体10中的套筒20；以及为了将管子40固定在接头主体10上而安装在接头主体10的外周的活接头螺母30。
[0036]接头主体10由通过注射成型来形成的树脂制成。本实施方式中的树脂例如能够使用PFA(四氟乙烯
·
全氟烷基乙烯基醚共聚物)、PVDF(聚偏二氟乙烯)、ETFE(四氟乙烯
·
乙
烯共聚物)等氟树脂。套筒20和活接头螺母30也能够使用例如PFA、PVDF、ETFE、PTFE(聚四氟乙烯)等氟树脂形成。需要说明的是，树脂不限定于氟树脂，能够使用聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚酰胺、聚缩醛(polyacetal)、聚醚醚酮、聚苯硫醚、以及聚酰亚胺等，并能根据使用领域、用途、以及管子40的材质等适当地变更。
[0037]图2是示意地示出接头主体10的结构的剖视图。
[0038]如图2所示，接头主体10具有内周面呈弯曲状的主体部11以及从主体部11的端部B－B、C－C分别突出来的平坦部12。在主体部11的内侧形成有流路50。需要说明的是，在本实施方式中，接头主体10的连接管子40侧的两端部的结构相同，因此仅对一端部进行说明。
[0039]平坦部12具有彼此共有同一轴心Ja的外筒部13和内筒部14。内筒部14布置在外筒部13的径向内侧。内筒部14的轴心Ja方向端部14c比外筒部13的轴心Ja方向端部13c更靠近主体部11侧(换句话说，轴心Ja方向端部13c比轴心Ja方向端部14c从端部B－B、C－C突出得多)。在外筒部13的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种树脂制接头，其包括接头主体、套筒、以及活接头螺母，所述树脂制接头的特征在于：所述接头主体具有流路且由树脂制成，所述套筒具有能够压入所述接头主体中的压入部和能够压入管子内的连结部，所述活接头螺母为了将已压入有所述连结部的所述管子固定在所述接头主体上而被安装在所述接头主体的外周，所述树脂制接头的特征在于：所述接头主体具有内周面呈弯曲状的主体部和从该主体部的端部突出的平坦部，所述平坦部具有彼此共有同一轴心的外筒部和内筒部，该内筒部布置在该外筒部的径向内侧，所述内筒部的轴心方向端部比所述外筒部的轴心方向端部更靠近所述主体部侧，在所述外筒部的内周面与所述内筒部的外周面之间形成有平行于所述外筒部和所述内筒部的轴心方向延伸的槽部，所述管子在所述套筒的压入部已被压入所述槽部的状态下，被固定在所述接头主体上。2.根据权利要求1所述的树脂制接头，其特征在于：所述内筒部的内周面与所述主体部的内周面以相等曲率弯曲。3.根据权利要求1所述的树脂制接头，其特征在于：所述内筒部的内周面平行于该内筒部的轴心方向延伸。4.根据权利要求3所述的树脂制接头，其特征在于：所述主体部在该主体部的端部侧具有伸出部，该伸出部的内周面与所述内筒部的内周面相连，且平行于该内筒部的轴心方向延伸，由所述内筒部的内周面和所述伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：小池智幸，阪本浩树，樋口慎悟，大前清敬，足立智大，
申请(专利权)人：日本皮拉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：