本发明专利技术公开了一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程，其包括包括混料机和冷等静压机，混料机设有混料罐，冷等静压机设有工作缸，混料机与冷等静压机之间设有导轨，导轨滑动连接有输送板，导轨连接有第一液压缸，输送板上设有橡胶套，工作缸内固设有外壳，橡胶套上端设有开口，导轨固定连接有支撑架，支撑架上设有封口组件和吊装组件，封口组件连接有封闭开口的夹板，夹板包括左板和右板，吊装组件包括第二液压缸、第一竖杆和电磁夹块，第二液压缸固设于支撑架上，第二液压缸输出端与第一竖杆固定连接，第一竖杆与电磁夹块固定连接，电磁夹块与夹板相配合。本申请具有节省人力和时间成本，提高钼铌合金靶材生产效率的效果。提高钼铌合金靶材生产效率的效果。提高钼铌合金靶材生产效率的效果。
A low oxygen molybdenum niobium alloy target production line and its process flow
【技术实现步骤摘要】
一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程
[0001]本专利技术涉及合金靶材生产领域，尤其是涉及一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程。
技术介绍
[0002]钼铌合金板靶材具有高熔点，高温强度、高温韧性等优点，并且还具有抗热性能和导热导电性能较好，热膨胀系数小的特点。钼铌合金靶材在液晶显示、电极发光显示、荧光显示和触摸屏等领域被广泛使用。在钼铌合金靶材的生产过程中，钼铌合金的含氧量会影响氧化物的生成，氧化物会对钼铌合金靶材的使用性能造成不良影响，再生产时需要降低钼铌合金靶材中的含氧量。
[0003]相关技术可参考公告号为CN104550979B的中国专利公开了一种钼铌合金靶材板的制备方法，将钼粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布的钼粉；将铌粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布的铌粉；分别将钼粉与铌粉混合得到三种粒度分布的钼铌合金粉；将钼铌合金粉末压制成坯料，置于中频炉中氢气烧结，即得到钼铌合金靶材板。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为，使用上述制备方法生产钼铌合金靶材时，将钼铌合金粉制成坯料过程中，需要操作人员将混合后的钼铌合金粉倒入容器，装有钼铌合金粉的容器质量较大，操作人员再手动将容器移动至冷等静压机中，此过程中装有钼铌合金粉的容器较重，且钼铌合金粉的温度较高，将容器移动至冷等静压机时需要花费较多的人力物力和时间，导致钼铌合金靶材的生产效率不佳。
技术实现思路
[0005]为了提高钼铌合金靶材的生产效率，本申请提供一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程。
[0006]第一方面，本申请提供一种低氧钼铌合金靶材生产线，采用如下的技术方案：一种低氧钼铌合金靶材生产线，包括混料机和冷等静压机，所述混料机设有混料罐，混料罐设有排料管，冷等静压机设有工作缸，混料机与冷等静压机之间设有导轨，导轨滑动连接有输送板，导轨连接有驱动输送板移动的第一液压缸，输送板上设有与排料管相配合的橡胶套，工作缸内固设有与橡胶套相配合的外壳，橡胶套上端设有开口，导轨固定连接有支撑架，支撑架上设有封口组件和吊装组件，封口组件连接有封闭开口的夹板，夹板包括左板和右板，左板与右板卡接，吊装组件包括第二液压缸、第一竖杆和电磁夹块，第二液压缸固设于支撑架上，第二液压缸输出端与第一竖杆固定连接，第一竖杆与电磁夹块固定连接，电磁夹块与夹板相配合。
[0007]通过采用上述技术方案，将铌粉与钾金属的卤化物混合后得到混合粉，再将混合粉与真空烧结后的钼粉放入混料罐中制得钼铌合金粉。橡胶套置于输送板上，将钼铌合金粉倒入橡胶套内，第一液压缸带动输送板和橡胶套移动至支撑架下方，封口组件的左板与
右板卡接将开口封闭，再由第二液压缸带动第一竖杆下移，进而电磁夹块卡在夹板上，电磁夹块通电后将夹板和橡胶套吊起，再通过第二液压缸输出端伸长，将橡胶套放入工作缸的外壳内。不需要操作人员手动对橡胶套进行搬移到工作缸内，节省了人力和时间成本，有利于提高钼铌合金靶材的生产效率。
[0008]可选的，所述支撑架固定连接有竖板，竖板转动连接有齿轮，第一竖杆固定连接有与齿轮相啮合的第一齿条，封口组件包括锥形块、两个滚轮、第一转杆和第二转杆，锥形块上端部固定连接有第二竖杆，第二竖杆固定连接有与齿轮相啮合的第二齿条，支撑架开设有与第二竖杆相配合的限位槽，锥形块两侧设有与滚轮相配合的倾斜部，第一转杆上端部与滚轮转动连接，第一转杆下端部开设有与左板相配合的第一卡槽；第二转杆上端部与另一个滚轮转动连接，第二转杆下端部开设有与右板相配合的第二卡槽；支撑架固定连接有支撑板，第一转杆和第二转杆均与支撑板转动连接，第一转杆和第二转杆之间固设有弹簧。
[0009]通过采用上述技术方案，封口组件在对橡胶套的开口进行封口处理时，第二液压缸带动第一竖杆上移，在齿轮的传动作用下，第二竖杆带动锥形块下移，倾斜部与滚轮抵触使得第一转杆绕支撑板转动，第二转杆绕支撑板转动；进而第一卡槽与第二卡槽逐渐靠近，左板与右板相互靠近卡接，将橡胶套开口封闭，锥形部再继续下移，使得左板和右板对橡胶套开口处进行夹紧，提高对橡胶套开口的封口和密封效果，不需要人工进行封口，且封口较为快捷，有利于节省人力和生产时间。
[0010]可选的，所述倾斜部开设有与滚轮相配合的定位槽。
[0011]通过采用上述技术方案，锥形块与滚轮抵触时，滚轮位于定位槽内，定位槽对滚轮进行限位，防止锥形块下移过程中滚轮发生偏斜，有利于保障对橡胶套开口的封口效果。
[0012]可选的，所述左板上端部沿长度方向固设有若干磁块，右板上端部开设有若干与磁块相配合的磁槽。
[0013]通过采用上述技术方案，磁块与磁槽相互吸附，便于保障左板与右板正对，加快左板与右板对橡胶套开口的封口速度，提高封口效果。
[0014]可选的，所述输送板设有定位套板，定位套板设有与橡胶套相配合的限位腔。
[0015]通过采用上述技术方案，定位套板便于对橡胶套进行限位，防止橡胶套随输送板移动过程中发生倾倒，便于保障橡胶套的使用效果。
[0016]可选的，所述输送板下端部固设有第一电机，第一电机输出轴固定连接有菱形块，菱形块两个锐角端分别转动连接有连接杆，输送板滑动连接有第一滑板和第二滑板，其中一个连接杆的与第一滑板下端部转动连接，另外一个连接杆与第二滑板下端部转动连接，定位套板包括相互配合的第一套板和第二套板，第一套板与第一滑板固定连接，第二套板与第二滑板固定连接。
[0017]通过采用上述技术方案，电磁夹块将橡胶套吊起放入工作缸过程中，第一电机输出端转动，带动菱形块转动带动两个连接杆移动，进而菱形块转动可带动第一滑板和第二滑板相互靠近或远离，设置第一电机、菱形块和两个连接杆，便于将橡胶套穿过输送板放入工作缸内。
[0018]可选的，所述混料罐设有加料口，混料机固设有第二电机，第二电机输出轴固定连接有位于混料罐内的搅拌轴，搅拌轴沿长度方向固设有若干固定环，相邻的固定环之间设有螺旋搅拌片。
[0019]通过采用上述技术方案，混合粉与钼粉在混料罐中进行混合时，第二电机带动搅拌轴转动，使得所有螺旋搅拌片对混合粉与钼粉进行搅拌，有利于提高钼铌合金粉的均匀性与充分性。
[0020]可选的，所述螺旋搅拌片固设有与混料罐内壁相配合的刮料板。
[0021]通过采用上述技术方案，螺旋搅拌片转动过程中，刮料板与混料罐内壁贴合，便于将混料罐内壁上的物料刮下，有利于进一步提高混合粉与钼粉的混合充分性。
[0022]第二方面，本申请提供一种低氧钼铌合金靶材的工艺流程，采用如下的技术方案：一种低氧钼铌合金靶材的工艺流程，包括：S1；将钼粉放在真空烧结炉中进行热处理以降低钼粉的氧含量，处理温度为1000
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1300℃，时间为0.5
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6h；S2；将铌金属粉与钾金属的卤化物均匀混合得到混合粉；S3；将步骤一中得到钼粉与步骤二得到的混合粉放入混料机的混料罐中混合，混合结束后将制得的钼铌合金粉倒入输送板上的橡胶套内，第一液压缸带动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种低氧钼铌合金靶材生产线，包括混料机（1）和冷等静压机（2），其特征在于：所述混料机（1）设有混料罐（3），混料罐（3）设有排料管（4），冷等静压机（2）设有工作缸（5），混料机（1）与冷等静压机（2）之间设有导轨（6），导轨（6）滑动连接有输送板（7），导轨（6）连接有驱动输送板（7）移动的第一液压缸（8），输送板（7）上设有与排料管（4）相配合的橡胶套（9），工作缸（5）内固设有与橡胶套（9）相配合的外壳，橡胶套（9）上端设有开口，导轨（6）固定连接有支撑架（11），支撑架（11）上设有封口组件（12）和吊装组件（13），封口组件（12）连接有封闭开口的夹板（14），夹板（14）包括左板（15）和右板（16），左板（15）与右板（16）卡接，吊装组件（13）包括第二液压缸（17）、第一竖杆（18）和电磁夹块（19），第二液压缸（17）固设于支撑架（11）上，第二液压缸（17）输出端与第一竖杆（18）固定连接，第一竖杆（18）与电磁夹块（19）固定连接，电磁夹块（19）与夹板（14）相配合。2.根据权利要求1所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述支撑架（11）固定连接有竖板（20），竖板（20）转动连接有齿轮（21），第一竖杆（18）固定连接有与齿轮（21）相啮合的第一齿条（22），封口组件（12）包括锥形块（23）、两个滚轮（24）、第一转杆（25）和第二转杆（26），锥形块（23）上端部固定连接有第二竖杆（27），第二竖杆（27）固定连接有与齿轮（21）相啮合的第二齿条（28），支撑架（11）开设有与第二竖杆（27）相配合的限位槽（29），锥形块（23）两侧设有与滚轮（24）相配合的倾斜部（30），第一转杆（25）上端部与滚轮（24）转动连接，第一转杆（25）下端部开设有与左板（15）相配合的第一卡槽（31）；第二转杆（26）上端部与另一个滚轮（24）转动连接，第二转杆（26）下端部开设有与右板（16）相配合的第二卡槽（32）；支撑架（11）固定连接有支撑板（33），第一转杆（25）和第二转杆（26）均与支撑板（33）转动连接，第一转杆（25）和第二转杆（26）之间固设有弹簧（34）。3.根据权利要求2所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述倾斜部（30）开设有与滚轮（24）相配合的定位槽（35）。4.根据权利要求1所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述左板（15）上端部沿长度方向固设有若干磁块（36），右板（16）上端部开设有若干与磁块（36）相配合的磁槽（37）。5.根据权利要求1所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述输送板（7）设有定位套板（38），定位套板（38）设有与橡胶套（9）相配合的限位腔。6.根据权利要求5所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述输送板（7）下端部固设有第一电机（39），...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈占洋，陈兴友，
申请(专利权)人：山东格美钨钼材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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