一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针组模块制造技术

本发明专利技术涉及一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针组模块，探针装置台和样品台之间通过螺栓固定连接；通过螺栓固定连接装置台上部和装置台下部，装置台上部和装置台下部对应设有正方形顶点分布的四个探针留置孔，弹簧探针固定设置在探针留置孔内；样品台主体上设有正方形的样品放置框，样品放置框的顶点上设有圆角形的探针放置框，探针放置框与探针留置孔的位置相对应。本发明专利技术改变了现有技术对石墨烯薄膜材料的表面破坏现状且不可再次使用的问题，可实现在不同测试原理或不同仪器上测试，对材料电学性质对比确定准确值。本发明专利技术使用操作简单，流程简洁，将样品制作为符合范德堡法测试的要求后将探针装置台和样品台上下结构相连即可保证稳定连接。相连即可保证稳定连接。相连即可保证稳定连接。

【技术实现步骤摘要】
一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针组模块


[0001]本专利技术涉及石墨烯电性检测装置
，尤其涉及一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针组模块。

技术介绍

[0002]石墨烯薄膜材料由于其出色的电学性质，在相关行业中具有很大的潜力。测量其电阻率及其他相关电学性质成为衡量石墨烯薄膜材料合格测试最重要的一环。由于不同层数石墨烯薄膜材料具有不同厚度，且不同层数对石墨烯材料其相关电学性质具有很大影响，根据不同厚度选择其最适宜的检测方式才能使测量结果准确可靠。
[0003]目前用以测量石墨烯薄膜材料电阻率及相关电学性质的方法多以导电银胶、焊连方法等具有对材料有一定破坏及连接效果不好的特点的连接方式，且导电银胶及焊连方式因对薄膜表面具有破坏作用所以只可使用一次无法再次利用，而且因为其连接不稳定不能确定是否充分连接，导致测量结果不准确、不可靠、不可重复利用其余方式验证。
[0004]采用焊连或银胶连接时，会导致对基底或材料的损坏。采用银胶连接样品制作周期长，连接状态不稳定不可靠。不能精准控制压力，对所有厚度不同，基底不同，整体强度不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针组模块，其特征在于，包括探针装置台(1)、样品台(2)和弹簧探针(3)，所述探针装置台(1)和样品台(2)之间通过螺栓固定连接；所述探针装置台(1)包括通过螺栓固定连接装置台上部(101)和装置台下部(102)，所述装置台上部(101)和装置台下部(102)对应设有正方形顶点分布的四个探针留置孔(104)，所述弹簧探针(3)固定设置在探针留置孔(104)内；所述样品台(2)包括样品台主体(201)，所述样品台主体(201)上设有正方形的样品放置框(202)，所述样品放置框(202)的顶点上设有圆角形的探针放置框(203)，所述探针放置框(203)与探针留置孔(104)的位置相对应。2.根据权利要求1所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针组模块，其特征在于，所述弹簧探针(3)包括同轴设置的探针针轴(304)、探针套筒(303)、探针弹簧(302)和探针顶端封盖(301)，所述探针套筒(303)包括套筒腔体和套筒限位部，所述套筒限位部设置在套筒腔体的底端，所述探针弹簧套设在套筒腔体内；所述探针针轴(304)包括针轴本体、针轴卡接部和针轴端部，所述针轴卡接部设置在针轴本体的上部，所述针轴本体的上部套设在套筒腔体内且所述针轴卡接部卡设在套筒限位部之上，所述针轴端部设置在针轴本体的底端且与样品放置框(202)内的石墨烯薄膜样品接触；所述探针顶端封盖(301)设置在套筒腔体的顶端，所述探针弹簧(302)的一端与探针顶端封盖(301)相抵，所述探针弹簧(302)的另一端与探针针轴(304)的顶端平面相抵。3.根据权利要求2所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针组模块，其特征在于，所述探针顶端封盖(301)包括封盖本体、封盖顶端和封盖连接部，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金森林，曹俊伟，任玲玲，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：