断线检测系统技术方案

本申请涉及线切割技术领域，尤其是涉及一种断线检测系统，包括：设置于线辊侧上方的断线检测装置以及线张紧装置，且断线检测装置以及线张紧装置沿着线辊的长度方向间隔设置；断线检测装置包括支撑构件以及设置于支撑构件的摆动构件、弹性复位构件、感测构件和压紧构件；其中，弹性复位构件的一端与支撑构件相连接，弹性复位构件的另一端与摆动构件相抵接；摆动构件与支撑构件转动连接，且摆动构件形成有辅助安装部；线张紧装置用于固定检测线的一部分，且检测线的另一部分能够经由辅助安装部延伸至压紧构件处，并且由压紧构件压紧。可见，本检测系统能够针对断线进行实时检测，提高了设备的稳定性和安全性。设备的稳定性和安全性。设备的稳定性和安全性。

【技术实现步骤摘要】
断线检测系统


[0001]本申请涉及线切割
，尤其是涉及一种断线检测系统。

技术介绍

[0002]目前，市场中对于脆硬材料切割一般采用金刚线多线切割设备,断线检测是多线切割设备是否正常运行的检测系统，传统断线检测系统是将切割用的金刚线整体作为一根导线(金刚线外裹绝缘层)串联在检测回路中，形成电路回路，根据回路是否持续有电流通过作为检测的标准。其缺点如下：(1)检测系统带电工作，其他传感器会造成干扰，产生误动作；(2)参与切割的金刚线总计达几十公里长，并且线径很小，导致回路电阻非常大，消耗能源大；(2)金刚线产生的热量，会影响晶圆片的切割质量；(3)由于金刚线长时间切割，会出现由于外绝缘层脱落而短路现象发生，导致控制的电参数失效；(4)多线切割设备的工作环境比较恶劣，在切割晶棒时需要浇注大量切削液，由于是磨削加工，切削过程中会产生大量粉尘，从而形成泥浆，这些不利的因素会降低检测系统中的关键部件例如电刷失效，进而导致检测错误。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种断线检测系统，在一定程度上解决了现有技术中存在的急需一种能够对多线切割设备工作过程中断线进行安全、可靠检测的装置的技术问题。
[0004]本申请提供了一种断线检测系统，包括：设置于线辊侧上方的断线检测装置以及线张紧装置，且所述断线检测装置以及所述线张紧装置沿着所述线辊的长度方向间隔设置；所述断线检测装置包括支撑构件以及设置于所述支撑构件的摆动构件、弹性复位构件、感测构件和压紧构件；
[0005]其中，所述弹性复位构件的一端与所述支撑构件相连接，所述弹性复位构件的另一端与所述摆动构件相抵接；所述摆动构件与所述支撑构件转动连接，且所述摆动构件形成有辅助安装部；
[0006]所述线张紧装置用于固定检测线的一部分，且所述检测线的另一部分能够经由所述辅助安装部延伸至所述压紧构件处，并且由所述压紧构件压紧；
[0007]当所述线辊的切割线断开时，所述切割线能够沿着所述线辊的切线方向甩开并打断所述检测线，所述检测线能够带动所述摆动构件在所述弹性复位构件的带动下摆动复位，以使得所述感测构件探测到所述摆动构件的位置的改变，从而检测到所述切割线发生断裂。
[0008]在上述技术方案中，进一步地，所述断线检测系统还包括轴件，所述摆动构件通过所述轴件与所述支撑构件转动连接，且所述摆动构件与所述支撑构件之间形成有容纳空间；
[0009]所述弹性复位构件为扭簧，所述扭簧套设于所述轴件上，且位于所述容纳空间；
[0010]所述扭簧的一端抵靠于所述支撑构件所形成的第一抵靠部上，所述扭簧的另一端
抵靠于所述摆动构件所形成的第二抵靠部上；所述感测构件的感测部设置于所述容纳空间。
[0011]在上述任一技术方案中，进一步地，所述断线检测装置还包括设置于所述支撑构件的第一引线构件，所述第一引线构件形成有第一引线通孔。
[0012]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第一引线构件包括相连接的连接板部以及引线板部，且所述连接板部与所述引线板部形成钝角；所述引线板部形成有所述第一引线通孔。
[0013]在上述任一技术方案中，进一步地，所述辅助安装部包括相连接的连接螺杆部以及牵引环部；其中，所述连接螺杆部与所述支撑构件螺纹连接；所述牵引环部用于穿设所述检测线。
[0014]在上述任一技术方案中，进一步地，所述断线检测装置还包括设置于所述支撑构件的第二引线构件，且所述第二引线构件形成有第二引线通孔。
[0015]在上述任一技术方案中，进一步地，所述压紧构件包括压紧柱以及锁紧螺母；其中，所述压紧柱的顶部形成有螺纹连接柱；所述锁紧螺母与所述螺纹连接柱螺纹相连接。
[0016]在上述任一技术方案中，进一步地，所述线张紧装置的数量为三个，且三个所述线张紧装置以及所述断线检测装置呈方形分布，其中所述断线检测装置以及靠近所述断线检测装置设置的一个所述线张紧装置设置于所述线辊的一侧的斜上方，其中另外两个所述线张紧装置设置于所述线辊的相对的另一侧的斜上方。
[0017]在上述任一技术方案中，进一步地，所述线张紧装置包括支架以及设置于所述支架的第三引线构件，所述第三引线构件形成有第三引线通孔。
[0018]在上述任一技术方案中，进一步地，所述支架包括可拆卸连接的支撑板件以及辅助安装板件，其中所述支撑板件具有弯折状结构。
[0019]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0020]本申请提供的断线检测系统，能够针对断线进行实时检测，提高了设备的稳定性和安全性，此外，改进传统带电检测系统，进而消除了由于检测系统带电运行干扰其他设备工作的问题。
[0021]检测与切割隔离进行，互不干涉，进而消除了金刚线中由于电流通过发热，进而影响产品的切割精度的问题，解决了检测部件受设备使用环境影响出现失灵或误判的问题，而且有助于降低能耗。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本申请实施例提供的断线检测系统的结构示意图；
[0024]图2为本申请实施例提供的断线检测系统的又一结构示意图；
[0025]图3为本申请实施例提供的断线检测装置的结构示意图；
[0026]图4为本申请实施例提供的断线检测装置的另一结构示意图；
[0027]图5为本申请实施例提供的断线检测装置的又一结构示意图；
[0028]图6为本申请实施例提供的断线检测装置的又一结构示意图；
[0029]图7为本申请实施例提供的断线检测装置的又一结构示意图；
[0030]图8为本申请实施例提供的第二线张紧装置的结构示意图；
[0031]图9为本申请实施例提供的第二线张紧装置的另一结构示意图；
[0032]图10为本申请实施例提供的第一线张紧装置的结构示意图；
[0033]图11为本申请实施例提供的第一线张紧装置的另一结构示意图。
[0034]附图标记：
[0035]1‑
第一线张紧装置，11
‑
支架，111
‑
支撑板件，112
‑
辅助安装板件，113
‑
第四引线通孔，12
‑
第三引线构件，2
‑
第二线张紧装置，3
‑
第三线张紧装置，4
‑
断线检测装置，41
‑
支撑构件，42
‑
摆动构件，43
‑
弹性复位构件，44
‑
感测构件，45
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压紧构件，451
‑
压紧柱，452
‑
锁紧螺母本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种断线检测系统，其特征在于，包括：设置于线辊侧上方的断线检测装置以及线张紧装置，且所述断线检测装置以及所述线张紧装置沿着所述线辊的长度方向间隔设置；所述断线检测装置包括支撑构件以及设置于所述支撑构件的摆动构件、弹性复位构件、感测构件和压紧构件；其中，所述弹性复位构件的一端与所述支撑构件相连接，所述弹性复位构件的另一端与所述摆动构件相抵接；所述摆动构件与所述支撑构件转动连接，且所述摆动构件形成有辅助安装部；所述线张紧装置用于固定检测线的一部分，且所述检测线的另一部分能够经由所述辅助安装部延伸至所述压紧构件处，并且由所述压紧构件压紧；当所述线辊的切割线断开时，所述切割线能够沿着所述线辊的切线方向甩开并打断所述检测线，所述检测线能够带动所述摆动构件在所述弹性复位构件的带动下摆动复位，以使得所述感测构件探测到所述摆动构件的位置的改变，从而检测到所述切割线发生断裂。2.根据权利要求1所述的断线检测系统，其特征在于，所述断线检测系统还包括轴件，所述摆动构件通过所述轴件与所述支撑构件转动连接，且所述摆动构件与所述支撑构件之间形成有容纳空间；所述弹性复位构件为扭簧，所述扭簧套设于所述轴件上，且位于所述容纳空间；所述扭簧的一端抵靠于所述支撑构件所形成的第一抵靠部上，所述扭簧的另一端抵靠于所述摆动构件所形成的第二抵靠部上；所述感测构件的感测部设置于所述容纳空间。3.根据权利要求1所述的断线检测系统，其特征在于，所述断线检测装置还包括设置于所述支撑构件的第一引线构件，所述第一引线构件形成有第一引线通孔。4.根据权利要求3所述的断线...

【专利技术属性】
技术研发人员：周建军，杨晓静，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：