一种二元废酸的再生利用方法技术

本发明专利技术涉及一种二元废酸的再生利用方法，所述再生利用方法包括如下步骤：(1)对二元废酸加酸液进行处理，之后经固液分离得到氟化铝沉淀和一次净化液；(2)将步骤(1)得到的一次净化液进行蒸馏，得到二次净化液和所述酸液；(3)将步骤(2)得到的所述二次净化液进行纳滤处理，得到二元酸液和磷硫二元酸蚀刻液。本发明专利技术提供的再生利用方法通过采用特定的处理过程实现了对铝蚀刻中产生的二元废酸的再生利用。实现了对铝蚀刻中产生的二元废酸的再生利用。实现了对铝蚀刻中产生的二元废酸的再生利用。

【技术实现步骤摘要】
一种二元废酸的再生利用方法


[0001]本专利技术涉及资源二次利用领域，具体涉及一种二元废酸的再生利用方法。

技术介绍

[0002]目前，在电子设备制备领域通常需要对用到的铝材料进行蚀刻处理，以保证产品的性能。
[0003]如CN106148960A公开了一种铝蚀刻的方法，通过调节干蚀刻制程中蚀刻腔体内的温度和压力条件，使得氯化铝保持气体状态，减少氯化铝颗粒的生成，抽气后蚀刻腔体内氯化铝的残留量很小，从而降低蚀刻腔体内含铝化合物的含量，减少含铝颗粒物的产生；或者通过在干蚀刻制程之后氟
‑
氯置换制程之前，增加气体冲洗步骤，降低蚀刻腔体内含铝化合物的含量，减少含铝颗粒物的产生；又或者通过在干蚀刻制程之前增加蚀刻腔体的清洁步骤，降低蚀刻腔体内含铝化合物的含量，减少含铝颗粒物的产生，以上三种方法均可减少蚀刻腔体内含铝颗粒物的含量，使得干蚀刻制程中颗粒物掉落于待蚀刻膜层上的概率减少，解决了线路蚀刻残留和短路的问题，提高产品良率。
[0004]CN102206821A公开了一种铝合金蚀刻、调整组合物，该铝合金蚀刻、调整组合物分为A和B两种组份，其中A组份是蚀刻液，B组份是调整液；所述A组份包括三氯化铁、磷酸、pH调节剂、缓蚀剂和消泡剂；所述B组份包括磷酸和硫酸，还提供了一种铝合金蚀刻方法，在20
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40℃时将铝合金基材放在蚀刻液中进行蚀刻，然后将铝合金放在60
‑
80℃的调整液中进行调整。采用两步酸性蚀刻体系很好的解决了蚀刻液在蚀刻时产生大量的黑灰不易除去、表面粗糙、边缘存在毛刺、侧蚀严重的缺点的缺陷。
[0005]而通常在蚀刻过程中会形成含酸的废蚀刻液，其中，针对材料蚀刻的废液中会含有大量铝离子，导致实现绿色回收比较困难。

技术实现思路

[0006]鉴于现有技术中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种二元废酸的再生利用方法，以解决蚀刻过程中所产生的二元废酸无法被有效利用的问题。
[0007]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0008]本专利技术提供了一种二元废酸的再生利用方法，所述再生利用方法包括如下步骤：
[0009](1)对二元废酸加酸液进行处理，之后经固液分离得到氟化铝沉淀和一次净化液；
[0010](2)将步骤(1)得到的一次净化液进行蒸馏，得到二次净化液和所述酸液；
[0011](3)将步骤(2)得到的所述二次净化液进行纳滤处理，得到二元酸液和磷硫二元酸蚀刻液。
[0012]本专利技术提供的再生利用方法通过采用特定的处理过程实现了对铝蚀刻中产生的二元废酸的再生利用，具有工艺简单,运行成本低,废酸再生利用率高,副产氟化铝产品等优点。
[0013]本专利技术中，步骤(2)所得酸液可以返回步骤(1)中进行再次处理。
[0014]本专利技术中，纳滤处理产生的浓水返回作为二元废酸进行循环迭代处理。
[0015]作为本专利技术优选的技术方案，所述酸液包括氢氟酸溶液。
[0016]作为本专利技术优选的技术方案，所述氢氟酸溶液的质量浓度为1
‑
10％，例如可以是1％、1.5％、2％、2.5％、3％、3.5％、4％、4.5％、5％、5.5％、6％、6.5％、7％、7.5％、8％、8.5％、9％、9.5％或10％等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0017]作为本专利技术优选的技术方案，所述蒸馏的温度为90
‑
120℃，例如可以是90℃、92℃、94℃、96℃、98℃、100℃、102℃、104℃、106℃、108℃、110℃、112℃、114℃、116℃、118℃或120℃等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0018]作为本专利技术优选的技术方案，所述蒸馏的压力为20
‑
30kPa，例如可以是20kPa、20.5kPa、21kPa、21.5kPa、22kPa、22.5kPa、23kPa、23.5kPa、24kPa、24.5kPa、25kPa、25.5kPa、26kPa、26.5kPa、27kPa、27.5kPa、28kPa、28.5kPa、29kPa、29.5kPa或30kPa等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0019]作为本专利技术优选的技术方案，所述纳滤处理中所用滤膜的Zeta电位为
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80mV～
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70mV，例如可以是
‑
80mV、
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79.5mV、
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79mV、
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78.5mV、
‑
78mV、
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77.5mV、
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77mV、
‑
76.5mV、
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76mV、
‑
75.5mV、
‑
75mV、
‑
74.5mV、
‑
74mV、
‑
73.5mV、
‑
73mV、
‑
72.5mV、
‑
72mV、
‑
71.5mV、
‑
71mV、
‑
70.5mV或
‑
70mV等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0020]作为本专利技术优选的技术方案，所述滤膜的孔径为8
‑
10nm，例如可以是8nm、8.1nm、8.2nm、8.3nm、8.4nm、8.5nm、8.6nm、8.7nm、8.8nm、8.9nm、9nm、9.1nm、9.2nm、9.3nm、9.4nm、9.5nm、9.6nm、9.7nm、9.8nm、9.9nm或10nm等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0021]作为本专利技术优选的技术方案，所述纳滤中的压力为80
‑
100bar，例如可以是80bar、81bar、82bar、83bar、84bar、85bar、86bar、87bar、88bar、89bar、90bar、91bar、92bar、93bar、94bar、95bar、96bar、97bar、98bar、99bar或100bar等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0022]作为本专利技术优选的技术方案，所述纳滤中的膜通量为6
‑
7L/(m2·
h)，例如可以是6L/(m2·
h)、6.1L/(m2·
h)、6.2L/(m2·
h)、6.3L/(m2·
h)、6.4L/(m2·
h)、6.5L/(m2·
h)、6.6L/(m2·
h)、6.7L/(m2·
h)、6.8L/(m2·
h)、6.9L/(m2·
h)或7L/(m2·
h)等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二元废酸的再生利用方法，其特征在于，所述再生利用方法包括如下步骤：(1)对二元废酸加酸液进行处理，之后经固液分离得到氟化铝沉淀和一次净化液；(2)将步骤(1)得到的一次净化液进行蒸馏，得到二次净化液和所述酸液；(3)将步骤(2)得到的所述二次净化液进行纳滤处理，得到二元酸液和磷硫二元酸蚀刻液。2.如权利要求1所述的再生利用方法，其特征在于，所述酸液包括氢氟酸溶液。3.如权利要求2所述的再生利用方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液的质量浓度为1
‑
10％。4.如权利要求1
‑
3任一项所述的再生利用方法，其特征在于，所述蒸馏的温度为90
‑
120℃。5.如权利要求1
‑
4任一项所述的再生利用方法，其特征在于，所述蒸馏的压力为20
‑
30kPa。6.如权利要求1
‑
5任一项所述的再生利用方法，其特征在于，所述纳滤处理中所用滤膜的Zeta电位为
‑
80mV～
‑
70mV。7.如权利要求6所述的再生利用方法，其特征在于，所述滤膜的孔径为8
‑
10nm。8.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：郎超，
申请(专利权)人：盛隆资源再生无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：