一种用于晶圆的旋干机制造技术

本实用新型专利技术公开了晶圆加工技术领域的一种用于晶圆的旋干机，包括外壳，所述外壳的内壁固定安装有内筒，所述内筒的内部转动连接有放料工装，所述外壳内腔的底部设置有驱动机构，所述外壳内腔的左侧设置有烘干机构，本实用新型专利技术将晶圆工件放在内胆内部的放料槽中，并且通过挡盖将内胆固定在外罩中，当驱动机构带动外罩转动的时候，内胆也会同步跟随旋转，通过离心力的作用将晶圆上的水分充分甩出，并且在甩水的过程中，烘干机构能够持续不断的向内胆处喷射高温气体，用来进一步加快晶圆表面水分的蒸发，而且由于内胆为旋转装，因此气体能够对晶圆的任何位置进行干燥，进而避免产生水渍残留现象，因此非常值得推广。因此非常值得推广。因此非常值得推广。

A rotary dryer for wafer

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的旋干机


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体为一种用于晶圆的旋干机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]在晶圆加工的过程中需要进行切割打磨等工序，在切割打磨的过程中，晶圆的表面会附着大量的污渍，因此在加工完成后需要对晶圆的表面进行清洗除污，而且在清洗过后需要进行干燥，目前的干燥方式是采用烘干机进行干燥，这种方式的干燥效率较低，因为在干燥的过程中缺少对晶圆位置进行调节的结构，导致烘干角度单一，容易使晶圆的边缘处产生水渍残留，进而影响后续的加工。
[0004]基于此，本技术设计了一种用于晶圆的旋干机，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于晶圆的旋干机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆的旋干机，包括外壳，所述外壳的内壁固定安装有内筒，所述内筒的内部转动连接有放料工装；
[0007]所述外壳内腔的底部设置有驱动机构，所述外壳内腔的左侧设置有烘干机构；
[0008]所述内筒的底部连通有排水管，所述排水管的底部贯穿到外壳的下方。
[0009]优选的，所述放料工装包括外罩，所述外罩的背面固定安装有转杆，所述转杆的背面贯穿到内筒的外部，所述转杆的背面与外壳的内壁转动连接，所述外罩的正面贯穿到外壳的外部，所述外罩的表面与外壳的内壁转动连接，所述外罩的正面插入有内胆，所述内胆的正面开设有放料槽。
[0010]优选的，所述驱动机构包括电机，所述电机固定安装在外壳内腔的底部，所述电机的输出轴固定安装有主动轮，所述主动轮的表面绕设有皮带，所述主动轮通过皮带传动连接有从动轮，所述从动轮固定安装在转杆的表面。
[0011]优选的，所述外罩的正面螺纹连接有挡盖，所述挡盖封堵在放料槽的正面。
[0012]优选的，所述烘干机构包括隔热箱，所述隔热箱固定安装在外壳内腔的左侧，所述隔热箱的内部固定安装有换热管，所述隔热箱的内腔的前后位置均固定安装有电加热器，所述换热管的一端连通有输送管，所述输送管的另一端连通有喷气板，所述喷气板的底部延伸到内筒的内部，所述外壳内腔的左侧固定安装有抽气机，所述抽气机的排气端与换热管的另一端连通。
[0013]优选的，所述换热管为蛇形设置，所述电加热器设置有两个，两个所述电加热器分布在换热管的前后位置。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术将晶圆工件放在内胆内部的放料槽中，并且通过挡盖将内胆固定在外罩中，当驱动机构带动外罩转动的时候，内胆也会同步跟随旋转，通过离心力的作用将晶圆上的水分充分甩出，并且在甩水的过程中，烘干机构能够持续不断的向内胆处喷射高温气体，用来进一步加快晶圆表面水分的蒸发，而且由于内胆为旋转装，因此气体能够对晶圆的任何位置进行干燥，进而避免产生水渍残留现象，因此非常值得推广。
[0015]通过挡盖的设置，能够对内胆内部的物料进行封堵，防止物料在旋转的过程中掉落，而且挡盖为可拆卸设计，为内胆的拿取和安装提供方便，通过换热管为蛇形设置能够增加气体的流经路程，进而提升气体在管道中的存留时间，使电加热器能够充分对气体进行加热，而且该装置中的电加热器设置有两个，能够进一步提升气体加热效率。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术隔热箱左视剖面图；
[0019]图3为本技术外壳左视剖面图；
[0020]图4为本技术外罩和内胆的左视剖面图；
[0021]图5为本技术内胆的立体图。
[0022]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0023]1、外壳；2、内筒；3、放料工装；31、外罩；32、转杆；33、内胆；4、驱动机构；41、电机；42、主动轮；43、从动轮；5、烘干机构；51、隔热箱；52、换热管；53、电加热器；54、输送管；55、喷气板；56、抽气机；6、挡盖。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例一
[0026]请参阅附图，本技术提供一种技术方案：一种用于晶圆的旋干机，包括外壳1，外壳1的内壁固定安装有内筒2，内筒2的内部转动连接有放料工装3；
[0027]外壳1内腔的底部设置有驱动机构4，外壳1内腔的左侧设置有烘干机构5；
[0028]内筒2的底部连通有排水管，排水管的底部贯穿到外壳1的下方。
[0029]具体的，放料工装3包括外罩31，外罩31的背面固定安装有转杆32，转杆32的背面贯穿到内筒2的外部，转杆32的背面与外壳1的内壁转动连接，外罩31的正面贯穿到外壳1的外部，外罩31的表面与外壳1的内壁转动连接，外罩31的正面插入有内胆33，内胆33的正面
开设有放料槽，首先工人将晶圆填放在放料槽中，并且将内胆33整个插入到外罩31内部，最后将挡盖6旋转在外罩31前方，并且将挡盖6充分紧固，由于内胆33和外罩31的表面均为网状设置，在高速旋转的过程中，晶圆表面的水渍会被充分甩出，而且烘干机构5喷出的热气也会吹送到晶圆表面，以加快水分蒸发。
[0030]具体的，驱动机构4包括电机41，电机41固定安装在外壳1内腔的底部，电机41的输出轴固定安装有主动轮42，主动轮42的表面绕设有皮带，主动轮42通过皮带传动连接有从动轮43，从动轮43固定安装在转杆32的表面，电机41的输出轴带动主动轮42旋转，主动轮42通过皮带带动从动轮43旋转，从动轮43带动转杆32旋转，通过转杆32来带动外罩31和内胆33旋转，驱动机构4能够为外罩31的旋转提供动力，使其带动晶圆高速旋转，在离心力的作用下，晶圆表面的水渍会被甩出，进而提升干燥效率，而且在晶圆旋转状态下能够避免水渍残留。
[0031]具体的，烘干机构5包括隔热箱51，隔热箱51固定安装在外壳1内腔的左侧，隔热箱51的内部固定安装有换热管52，隔热箱51的内腔的前后位置均固定安装有电加热器53，换热管52的一端连通有输送管54，输送管54的另一端连通有喷气板55，喷气板55的底部延伸到内筒2的内部，外壳1内腔的左本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的旋干机，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内壁固定安装有内筒(2)，所述内筒(2)的内部转动连接有放料工装(3)；所述外壳(1)内腔的底部设置有驱动机构(4)，所述外壳(1)内腔的左侧设置有烘干机构(5)；所述内筒(2)的底部连通有排水管，所述排水管的底部贯穿到外壳(1)的下方。2.根据权利要求1所述的用于晶圆的旋干机，其特征在于：所述放料工装(3)包括外罩(31)，所述外罩(31)的背面固定安装有转杆(32)，所述转杆(32)的背面贯穿到内筒(2)的外部，所述转杆(32)的背面与外壳(1)的内壁转动连接，所述外罩(31)的正面贯穿到外壳(1)的外部，所述外罩(31)的表面与外壳(1)的内壁转动连接，所述外罩(31)的正面插入有内胆(33)，所述内胆(33)的正面开设有放料槽。3.根据权利要求2所述的用于晶圆的旋干机，其特征在于：所述驱动机构(4)包括电机(41)，所述电机(41)固定安装在外壳(1)内腔的底部，所述电机(41)的输出轴固定安装有主动轮(42)，所述主动轮(42)的表面绕设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张小春，吴端，刘鹏，叶信广，
申请(专利权)人：晶芯半导体黄石有限公司，
类型：新型
国别省市：