垂直腔面发射激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种垂直腔面发射激光器，其具备：衬底，其具有包含第一区域以及第二区域的主表面；极柱，其设置在第一区域上，所述极柱包含设置在第一区域上的第一导电型的第一分布布拉格反射器、设置在第一分布布拉格反射器上的有源层、以及设置在有源层上的第二导电型的第二分布布拉格反射器；层叠体，其设置在主表面上，所述层叠体具备上表面，该上表面具有配置在第二区域上的至少一个凹部；树脂部，其配置在至少一个凹部内；以及电极焊盘，其设置在树脂部上并且与第一分布布拉格反射器以及第二分布布拉格反射器中的任一方电连接。第二分布布拉格反射器中的任一方电连接。第二分布布拉格反射器中的任一方电连接。

【技术实现步骤摘要】
垂直腔面发射激光器


[0001]本专利技术涉及垂直腔面发射激光器。

技术介绍

[0002]非专利文献1公开了为了降低由电极焊盘引起的电容而具备配置在电极焊盘之下的聚酰亚胺部的垂直腔面发射激光器。
[0003]现有技术文献
[0004]非专利文献
[0005]非专利文献1：A.N.Al
‑
Omari and K.L.Lear,"VCSELs with a self
‑
aligned contactand copper
‑
plated heatsink,"in IEEE Photonics Technology Letters,vol.17,no.9,pp.1767
‑
1769,Sept.2005,doi:10.1109/LPT.2005.851938.

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]上述聚酰亚胺部通过将形成于半导体层叠体的上表面上的聚酰亚胺层中的、配置在电极焊盘之下的部分以外的部分去除而形成。因此，聚酰亚胺部具有从半导体层叠体的上表面突出的台面形状。
[0008]本专利技术提供一种能够抑制树脂部从层叠体的上表面突出、或者能够减少树脂部从层叠体的上表面突出的量的垂直腔面发射激光器。
[0009]用于解决问题的手段
[0010]本公开的一个侧面所涉及的垂直腔面发射激光器具备：衬底，其具有包含第一区域以及第二区域的主表面；极柱，其设置在所述第一区域上，所述极柱包含设置在所述第一区域上的第一导电型的第一分布布拉格反射器、设置在所述第一分布布拉格反射器上的有源层、以及设置在所述有源层上的第二导电型的第二分布布拉格反射器；层叠体，其设置在所述主表面上，所述层叠体具备上表面，该上表面具有配置在所述第二区域上的至少一个凹部；树脂部，其配置在所述至少一个凹部内；以及电极焊盘，其设置在所述树脂部上并且与所述第一分布布拉格反射器以及所述第二分布布拉格反射器中的任一方电连接。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本公开，提供了一种能够抑制树脂部从层叠体的上表面突出、或者能够减少树脂部从层叠体的上表面突出的量的垂直腔面发射激光器。
附图说明
[0013]图1是示意性地表示一个实施方式所涉及的垂直腔面发射激光器的俯视图。
[0014]图2是沿着图1的II
‑
II线的剖视图。
[0015]图3是沿着图1的III
‑
III线的剖视图。
[0016]图4是示意性地表示一个实施方式所涉及的垂直腔面发射激光器的一部分的俯视
图。
[0017]图5是将图2的一部分放大而表示的剖视图。
[0018]图6是示意性地表示一个实施方式所涉及的垂直腔面发射激光器的制造方法的一个工序的剖视图。
[0019]图7是示意性地表示一个实施方式所涉及的垂直腔面发射激光器的制造方法的一个工序的剖视图。
[0020]图8是示意性地表示一个实施方式所涉及的垂直腔面发射激光器的制造方法的一个工序的剖视图。
[0021]图9是示意性地表示一个实施方式所涉及的垂直腔面发射激光器的制造方法的一个工序的剖视图。
[0022]图10是示意性地示出根据其他实施例所涉及的垂直腔面发射激光器的一部分的俯视图。
[0023]图11是示意性地表示第一实验例的垂直腔面发射激光器的一部分的俯视图。
[0024]图12是示意性地表示第二实验例的垂直腔面发射激光器的一部分的俯视图。
[0025]图13是示意性地表示第三实验例的垂直腔面发射激光器的一部分的俯视图。
[0026]图14是示意性地表示第四实验例的垂直腔面发射激光器的一部分的俯视图。
[0027]图15是示意性地表示第五实验例的垂直腔面发射激光器的一部分的俯视图。
[0028]图16是表示在第一实验例至第五实验例的垂直腔面发射激光器中由电极焊盘引起的电容的曲线图。
具体实施方式
[0029][本公开的实施方式的说明][0030]一个实施例所涉及的垂直腔面发射激光器：衬底，其具有包含第一区域以及第二区域的主表面；极柱，其设置在所述第一区域上，所述极柱包含设置在所述第一区域上的第一导电型的第一分布布拉格反射器、设置在所述第一分布布拉格反射器上的有源层、以及设置在所述有源层上的第二导电型的第二分布布拉格反射器；层叠体，其设置在所述主表面上，所述层叠体具备上表面，该上表面具有配置在所述第二区域上的至少一个凹部；树脂部，其配置在所述至少一个凹部内；以及电极焊盘，其设置在所述树脂部上并且与所述第一分布布拉格反射器以及所述第二分布布拉格反射器中的任一方电连接。
[0031]根据上述垂直腔面发射激光器，由于树脂部配置在至少一个凹部内，因此能够抑制树脂部从层叠体的上表面突出，或者能够减少树脂部从层叠体的上表面突出的量。
[0032]也可以是，所述至少一个凹部为多个凹部。在该情况下，能够减小配置在各凹部内的树脂部的体积。因此，能够减小因树脂部的收缩而在树脂部与层叠体之间产生的应力。
[0033]也可以是，上述垂直腔面发射激光器还具备将相邻的所述多个凹部相互分隔的分隔壁，在从与所述衬底的所述主表面正交的方向观察的情况下，所述分隔壁呈圆环形状。在该情况下，能够在分隔壁与树脂部之间抑制应力集中于特定部位。
[0034]也可以是，上述垂直腔面发射激光器还具备将相邻的所述多个凹部相互分隔的分隔壁，所述分隔壁与所述层叠体连接。在该情况下，由于分隔壁由层叠体支承，因此分隔壁难以倾倒。
[0035]也可以是，所述分隔壁在所述分隔壁的上表面具有1μm以上的宽度。在该情况下，能够使分隔壁变厚，因此分隔壁难以倾倒。
[0036]也可以是，所述分隔壁具有相对于所述衬底的所述主表面倾斜的侧面，从所述主表面起通过所述分隔壁的内部到所述侧面为止的角度小于90
°
。在该情况下，能够减小在分隔壁的侧面与树脂部之间产生的应力。
[0037]也可以是，上述垂直腔面发射激光器还包含设置在所述主表面上的接触层，所述接触层从所述第一区域延伸至所述第二区域，所述接触层与所述第一分布布拉格反射器连接，所述电极焊盘与所述第二分布布拉格反射器电连接。在该情况下，能够降低电极焊盘与接触层之间的电容。
[0038][本公开的实施方式的详细内容][0039]以下，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。在附图的说明中，对相同或等同的要素使用相同的附图标记，并省略重复的说明。
[0040]图1是示意性地表示一个实施方式所涉及的垂直腔面发射激光器的俯视图。图2是沿着图1的II
‑
II线的剖视图。图3是沿着图1的III
‑
III线的剖视图。图4是示意性地表示一个实施方式所涉及的垂直腔面发射激光器的一部分的俯视图。图1至图4所示的垂直腔面发射激光器(VCSEL：Vertica本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种垂直腔面发射激光器，其中，所述垂直腔面发射激光器具备：衬底，其具有包含第一区域以及第二区域的主表面；极柱，其设置在所述第一区域上，所述极柱包含设置在所述第一区域上的第一导电型的第一分布布拉格反射器、设置在所述第一分布布拉格反射器上的有源层、以及设置在所述有源层上的第二导电型的第二分布布拉格反射器；层叠体，其设置在所述主表面上，所述层叠体具备上表面，该上表面具有配置在所述第二区域上的至少一个凹部；树脂部，其配置在所述至少一个凹部内；以及电极焊盘，其设置在所述树脂部上并且与所述第一分布布拉格反射器以及所述第二分布布拉格反射器中的任一方电连接。2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其中，所述至少一个凹部为多个凹部。3.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其中，所述垂直腔面发射激光器还具备将相邻的所述多个凹部相互分隔的分隔壁，在从与所述衬底的所述主表面正交的方向观察的情况下，所述分隔壁呈圆环形状。4.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其中，所述垂直腔面发射激光器还具备多个分隔壁，所述多个分隔壁各自将相邻的所述多个凹部相互分隔，在从与所述衬底的所述主表面正交的方向观察的情况下，所述多个分隔壁各自呈圆环形状，在从与所述衬底的所述主表面正交的方向观察的情况下，所述多个分隔壁配置为同心圆状。5.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其中，所述垂直腔面发射激光器还具备将相邻的所述多个凹部相互分隔的分隔壁，所述分隔壁与所述层叠体连接。6.根据权利要求5所述的垂直腔面发射激光器，其中，所述分隔壁沿着所述衬底的所述主表面延伸，所述分隔壁的两端与所述层叠体连接。7.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其中，所述垂直腔面发射激光器还具备多个分隔壁，所述多个分隔壁各自将相邻的所述多个凹部...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上大辅，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：