一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统技术方案

本申请涉及一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统中：所述氢气管路（300）的一端与所述进气总管路（210）相连，且所述氢气管路（300）上设置有第一流量控制阀（310），所述氮气管路（400）的一端与所述进气总管路（210）相连，且所述氮气管路（400）上设置有第二流量控制阀（410），所述进气总管路（210）与所述烧结炉体（100）相连通，所述出气总管路（220）的一端与所述烧结炉体（100）相连通，另一端连接有所述点火燃烧器（500），且所述出气总管路（220）上设置有气动球阀（221）。上述方案能够解决因石墨高温挥发而影响氮化铝粉末的品质，导致氮化铝粉末品质差的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统


[0001]本申请涉及氮化铝陶瓷烧结设备
，特别是涉及一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统。

技术介绍

[0002]氮化铝陶瓷具有高的热导率，相对较低的介电常数和介电损耗，与硅匹配的热膨胀系数、无毒、绝缘等一系列优异性能，被认为是新一代高性能陶瓷基片、电子封装等散热器件的首选材料。氮化铝粉末是制备氮化铝陶瓷的原料，它的性质，如纯度、粒度、氧含量及其他杂质含量对制备出的氮化铝陶瓷的热导率以及后续烧结、成型工艺有重要影响。要获得性能优良的氮化铝陶瓷材料，必须先制备出高纯度、细粒度、窄的粒度分布、性能稳定的氮化铝粉末。
[0003]氮化铝粉末的制备方法主要有碳热还原法。其中利用碳热还原法制备的氮化铝粉末具有纯度高、粒度细、粒度分布窄等特点，适用于流延成型、注射成型等成型工艺。现有技术中，碳热还原法制备氮化铝粉末常用石墨炉进行烧结，采用石墨做发热体、石墨碳毡做保温炉衬，此烧结炉结构，石墨高温下挥发极大，严重的影响氮化铝粉末的品质，导致氮化铝粉末品质差。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有技术中碳热还原法制备氮化铝粉末常用石墨炉进行烧结，采用石墨做发热体、石墨碳毡做保温炉衬，此烧结炉结构，石墨高温下挥发极大，严重的影响氮化铝粉末品质的问题，提供一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统，能够解决因石墨高温挥发而影响氮化铝粉末的品质，导致氮化铝粉末品质差的问题。
[0005]一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统，包括烧结炉体、进气总管路、出气总管路、氢气管路、氮气管路和点火燃烧器，其中：所述氢气管路的一端与所述进气总管路相连，且所述氢气管路上设置有第一流量控制阀，所述氮气管路的一端与所述进气总管路相连，且所述氮气管路上设置有第二流量控制阀，所述进气总管路与所述烧结炉体相连通，所述出气总管路的一端与所述烧结炉体相连通，另一端连接有所述点火燃烧器，且所述出气总管路上设置有气动球阀。
[0006]优选地，所述氮气管路上设置有第一旁路管路和第一阀门，所述第一旁路管路的两端均与所述氮气管路相连，且所述第一阀门和所述第二流量控制阀位于所述第一旁路管路的两端之间，所述第一旁路管路上设置有第二阀门。
[0007]优选地，所述氢气管路上设置有第二旁路管路、第三阀门和氢气加湿装置，所述第二旁路管路的两端均与所述氢气管路相连，且所述第三阀门和所述氢气加湿装置均位于所述第二旁路管路的两端之间，所述第二旁路管路上设置有第四阀门，所述第一流量控制阀位于所述第二旁路管路的出口处与所述进气总管路之间。
[0008]优选地，所述出气总管路上设置有油过滤装置，且所述油过滤装置位于所述点火
燃烧器与所述气动球阀之间。
[0009]优选地，所述出气总管路设置有第三旁路管路和低压逆止阀，所述第三旁路管路的两端均与所述出气总管路相连，所述低压逆止阀位于所述第三旁路管路的两端之间，所述第三旁路管路上设置有高压逆止阀，所述油过滤装置位于所述点火燃烧器与所述第三旁路管路的出口处之间。
[0010]优选地，所述气动球阀的气缸进气口与外部气源相连，所述烧结炉体内设置有气压检测装置，所述气压检测装置与所述外部气源电连接。
[0011]优选地，所述气缸进气口与所述烧结炉体相连通，所述气缸出气口与所述出气总管路相连，且设置有逆止阀。
[0012]优选地，所述点火燃烧器包括燃烧部和气体缓存部，所述出气总管路与所述气体缓存部相连，所述燃烧部与所述气体缓存部相连。
[0013]优选地，所述气缸进气口处设置有气体过滤装置。
[0014]本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：
[0015]本申请实施例公开的一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统中，在烧结炉烧制氮化铝粉末的过程时，通过控制第一流量控制阀和第二流量控制阀控制通入烧结炉体内氮气和氢气的比例，其中氮气作为烧制过程中的反应气体，氢气作为烧制过程中的保护气体，通过氢气带走烧结炉体内高温挥发物质，且氢气排出后通过点火燃烧器燃烧消耗，避免氢气直接排放到大气中。通过在烧结炉体中通入氢气作为烧制过程中的保护气体，以通过流通的氢气带走烧结炉体内高温挥发物质，避免烧结炉体因高温挥发的物质影响氮化铝粉末的烧制效果，进而保证氮化铝粉末的品质。同时，通过第一流量控制阀和第二流量控制阀控制通入烧结炉体内氮气和氢气的比例，以使烧制过程中的工艺效果好，从而也能够提高氮化铝粉末的品质。
[0016]可见，本申请实施例公开的技术方案能够解决因石墨高温挥发而影响氮化铝粉末的品质，导致氮化铝粉末品质差的问题。
附图说明
[0017]图1为本申请实施例公开的一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统的示意图。
[0018]其中：烧结炉体100、进气总管路210、出气总管路220、气动球阀221、第三旁路管路222、低压逆止阀223、高压逆止阀224、油过滤装置225、气缸226、气体过滤装置227、氢气管路300、第一流量控制阀310、第二旁路管路320、第三阀门330、氢气加湿装置340、第四阀门350、氮气管路400、第二流量控制阀410、第一旁路管路420、第一阀门430、第二阀门440、点火燃烧器500。
具体实施方式
[0019]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。
[0020]需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上
或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“底端”、“顶端”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0021]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0022]请参考图1，本申请实施例公开一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统，包括烧结炉体100、进气总管路210、出气总管路220、氢气管路300、氮气管路400和点火燃烧器500，其中：
[0023]氢气管路300的一端与进气总管路210相连，且氢气管路300上设置有第一流量控制阀310，氮气管路400的一端与进气总管路210相连，且氮气管路400上设置有第二流量控制阀410，进气总管路210与烧结炉体100相连通，出气总管路220的一端与烧结炉体100相连通，另一端连接有点火燃烧器500，且出气总管路220上设置有气动球阀221。
[0024]在烧结炉烧制氮化铝粉末的过程中，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统，其特征在于，包括烧结炉体（100）、进气总管路（210）、出气总管路（220）、氢气管路（300）、氮气管路（400）和点火燃烧器（500），其中：所述氢气管路（300）的一端与所述进气总管路（210）相连，且所述氢气管路（300）上设置有第一流量控制阀（310），所述氮气管路（400）的一端与所述进气总管路（210）相连，且所述氮气管路（400）上设置有第二流量控制阀（410），所述进气总管路（210）与所述烧结炉体（100）相连通，所述出气总管路（220）的一端与所述烧结炉体（100）相连通，另一端连接有所述点火燃烧器（500），且所述出气总管路（220）上设置有气动球阀（221）。2.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统，其特征在于，所述氮气管路（400）上设置有第一旁路管路（420）和第一阀门（430），所述第一旁路管路（420）的两端均与所述氮气管路（400）相连，且所述第一阀门（430）和所述第二流量控制阀（410）位于所述第一旁路管路（420）的两端之间，所述第一旁路管路（420）上设置有第二阀门（440）。3.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷烧结炉的气路系统，其特征在于，所述氢气管路（300）上设置有第二旁路管路（320）、第三阀门（330）和氢气加湿装置（340），所述第二旁路管路（320）的两端均与所述氢气管路（300）相连，且所述第三阀门（330）和所述氢气加湿装置（340）均位于所述第二旁路管路（320）的两端之间，所述第二旁路管路（320）上设置有第四阀门（350），所述第一流量控制阀（310）位于所述第二旁路管路（320）的出...

【专利技术属性】
技术研发人员：石义，李钰，李飞，
申请(专利权)人：宁夏西谷六方机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：