一种划片机底座及划片机制造技术

本发明专利技术提供的一种划片机底座及划片机，属于划片技术领域，包括：第一安装板，第一驱动装置，第二安装板，第二驱动装置，第三安装板，设置在第二安装板的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；第三驱动装置，驱动端通过传动结构与工作台连接。本发明专利技术通过电机转动带动钢带，牵引从动组件在正负90度范围内调节，正反转动可实现≤2

【技术实现步骤摘要】
一种划片机底座及划片机


[0001]本专利技术涉及划片
，具体涉及一种划片机底座及划片机。

技术介绍

[0002]主要针对砷化镓、磷化铟材质的光通讯芯片。晶圆在使用前需要进行切割。
[0003]在切割过程中，需要将晶圆放置在底座上，为了保证划切头的准确划切，需要对晶圆进行移动，以配合划切头的划切。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术提供一种划片机底座，包括:
[0005]第一安装板，通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上；
[0006]第一驱动装置，驱动端与所述第一安装板连接，用于驱动所述第一安装板进行滑动；
[0007]第二安装板，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板上；
[0008]第二驱动装置，驱动端与所述第二安装板连接，用于驱动所述第二安装板进行滑动；
[0009]第三安装板，设置在第二安装板的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；
[0010]第三驱动装置，驱动端通过传动结构与工作台连接。
[0011]作为优选方案，所述传动结构包括：
[0012]主动轮，与所述第三驱动装置的驱动端连接；
[0013]从动轮，与所述工作台连接；所述主动轮和所述从动轮之间通过钢带连接。
[0014]作为优选方案，所述主动轮的直径小于所述从动轮的直径。
[0015]作为优选方案，所述从动轮通过轴承与所述第三安装板连接。
[0016]作为优选方案，所述钢带的材质为弹簧钢；所述钢带的弹性模量为180
‑
220GPa。
[0017]作为优选方案，所述第三驱动装置为正反转电机。
[0018]作为优选方案，所述主动轮的材料为不锈钢；所述主动轮的表面喷涂有钨丝气体。
[0019]作为优选方案，所述电机与所述主动轮键连接。
[0020]作为优选方案，所述第一安装板的滑动方向与所述第二安装板的滑动方向垂直设置。
[0021]一种划片机，包括上述中任一项所述的划片机底座。
[0022]本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的晶圆划切中的缺陷，从而提供一种划片机底座。
[0023]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0024]1.本专利技术提供的一种划片机底座，包括第一安装板，通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上；第一驱动装置，驱动端与所述第一安装板连接，用于驱动所述第一安装
板进行滑动；第二安装板，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板上；第二驱动装置，驱动端与所述第二安装板连接，用于驱动所述第二安装板进行滑动；第三安装板，设置在第二安装板的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；第三驱动装置，驱动端通过传动结构与工作台连接。
[0025]当本装置需要进行X轴方向的移动时，第一驱动装置运转并带动第一安装板在X轴方向移动，使工作台沿X轴方向移动，当本装置需要Y轴方向移动时第二驱动装置运转，并带动第二安装板在Y轴方向移动，使工作台在Y轴方向移动，当需要将工作台进行旋转时，启动第三驱动装置，第三驱动装置能带动工作台进行旋转，所以能够满足工作台在水平面上的任意移动，以满足配合划切头的划切工作。
[0026]2.本专利技术提供的的一种划片机底座，所述主动轮和所述从动轮之间通过钢带连接；钢带的传动承载能力大，加卸载迅速，无时间滞后，无打滑；同时，相对于传统的同步轮或者皮带的方式，弹性形变小，弯曲性能好，易实现中心距、精密传动；无需润滑、耐油、耐低高温，结构简单，维修量大大降低，极大地提高了设备的传动可靠性。
[0027]3.本专利技术提供的的一种划片机底座，钢带由弹簧钢制造而成，弹性模量可达200GPa，并且具有弹性形变小、弯曲性能好的特点。并且还在主动轮表面喷涂钨丝气体，经过钨丝气体热喷涂增加使用的强度和耐磨性。
[0028]4.本专利技术提供的的一种划片机底座，通过在第三驱动装置的输出轴与主动轮之间通过键连接，当输出轴转动时，通过键的配合，能够保证主动轮同步转动，使用键连接能使本装置具有传动效率高的特点，并且保证了装置的精准性。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为本专利技术划片机底座的整体示意图。
[0031]图2为本专利技术划片机底座的第一安装板示意图。
[0032]图3为本专利技术划片机底座第二安装板示意图。
[0033]图4为本专利技术本专利技术划片机底座第三安装板示意图。
[0034]附图标记说明：
[0035]1、轴承；2、主动轮；3、第二滑块；4、钢带；5、第一驱动装置；6、第二安装板；7、第一安装板；8、第一联动块；9、第一滑块；10、第三驱动装置；11、第二驱动装置；12、第二联动块。
具体实施方式
[0036]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0037]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了
便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0038]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0039]此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0040]如图1所示，本专利技术提供的一种划片机底座，包括第一安装板7，通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上；第一驱动装置5，驱动端与所述第一安装板7连接，用于驱动所述第一安装板7进行滑动；第二安装板6，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板7上；第二驱动装置11，驱动端与所述第二安装板6连接，用于驱动所述第二安装板6进行滑动；第三安装板，设置在第二安装板6的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；第三驱动装置10，驱动端通过传动结构与工作台连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片机底座，其特征在于，第一安装板(7)，通过第一移动滑台可滑动的连接在作业平台上；第一驱动装置(5)，驱动端与所述第一安装板(7)连接，用于驱动所述第一安装板(7)进行滑动；第二安装板(6)，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板(7)上；第二驱动装置(11)，驱动端与所述第二安装板(6)连接，用于驱动所述第二安装板(6)进行滑动；第三安装板，设置在第二安装板(6)的上端；所述第三安装板上转动设置有工作台；所述工作台以自身的中心做旋转运动；第三驱动装置(10)，驱动端通过传动结构与工作台连接。2.根据权利要求1所述的划片机底座，其特征在于，所述传动结构包括：主动轮(2)，与所述第三驱动装置(10)的驱动端连接；从动轮，与所述工作台连接；所述主动轮(2)和所述从动轮之间通过钢带(4)连接。3.根据权利要求2所述的划片机底座，其特征在于，所述主动轮(2)的直径小于所述从动轮的...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯彩波，温子勋，张一暾，张文杰，马修远，刘亚洲，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：