夹盘循环移动机构制造技术

本申请涉及用于承载晶片的金属托盘移动的领域，尤其是涉及一种夹盘循环移动机构，其包括包括机座、第一移盘组件及第二移盘组件，机座设有面对面配置的第一导座及第二导座，第一移盘组件安装于第一导座，包括第一移动模组、第一载座、第一升降模组及第一夹盘组，其中第一夹盘组可呈水平状或下降倾斜状经第一移动模组带动于第一导座内移动，第二移盘组件安装于第二导座，包括第二移动模组、第二载座、第二升降模组及第二夹盘组，第二夹盘组也可呈水平状或下降倾斜状于经第二移动模组带动于第二导座内移动，借此让第一夹盘组及第二夹盘组在移动过程中交错避开，缩短等待或闲置时间，有利于提高晶片的移载效率。有利于提高晶片的移载效率。有利于提高晶片的移载效率。

Chuck circulating moving mechanism

【技术实现步骤摘要】
夹盘循环移动机构


[0001]本申请涉及用于承载晶片的金属托盘移动的领域，尤其是涉及一种用于夹持金属托盘的夹盘循环移动机构。

技术介绍

[0002]在对晶片进行高压及三温（例如高温、室温及低温）的测试时，必须使用金属托盘承载多个晶片，在完成测试后金属托盘上的晶片必须移载至能承载数目更多的塑胶托盘上，以便后续的收集、移载及运送。在晶片移载过程中，必须频繁地将已放晶片的金属托盘从第一料架取下沿水平方向移动至定点，再由取放机构将晶片填满塑胶托盘，然后再将已移出晶片后空的金属托盘沿水平方向移动至第二料架进行收集。但若是每次皆由单一组移载机构将一个个金属托盘依次进行满载的移位、缷载、至空盘收集等程序，容易耗费太多等待或闲置时间，对移载效率来说无法有效提升，但是如果设置多组移载机构，容易占据机台过多空间，不利于其他必要设备的设置，因此如何在机台上有限空间内，安装多组移载设备且不会相互干扰以提升移载效率，是急需解决的问题。

技术实现思路

[0003]为了在机台上有限空间的情况下提升晶片的移载效率，本申请提供一种夹盘循环移动机构。
[0004]本申请提供的一种夹盘循环移动机构采用如下的技术方案：一种夹盘循环移动机构，包括：机座，包括两个面对面配置的第一导座及第二导座，所述第一导座上缘设有朝下的第一导引壁，所述第二导座上缘设有朝下的第二导引壁；第一移盘组件，安装于所述第一导座，包括第一移动模组、第一载座、第一升降模组及第一夹盘组；所述第一移动模组安装于所述第一导座外壁，并控制所述第一载座于所述第一导座内侧进行线性移动；所述第一载座上设有可上下移动的第一滑座，所述第一夹盘组底部枢接于所述第一滑座；所述第一升降模组用于控制所述第一滑座升降，在操作所述第一升降模组驱动所述第一滑座上升至最高点时，所述第一夹盘组面对所述第一导座的一侧会与所述第一导引壁接触使所述第一夹盘组呈水平状；在操作所述第一升降模组驱动所述第一滑座下降至最低点时，所述第一夹盘组的位置也会同时下降且呈倾斜状；第二移盘组件，安装于所述第二导座，包括第二移动模组、第二载座、第二升降模组及第二夹盘组；所述第二移动模组安装于所述第二导座外壁，并控制所述第二载座于所述第二导座内侧进行线性移动；所述第二载座上设有可上下移动的第二滑座，所述第二夹盘组底部枢接于所述第二滑座；所述第二升降模组用于控制所述第二滑座升降，在操作所述第二升降模组驱动所述第二滑座上升至最高点时，所述第二夹盘组面对所述第二导座的一侧会与所述第二导引壁接触使所述第二夹盘组呈水平状；在操作所述第二升降模组驱动所述第二滑座下降至最低点时，所述第二夹盘组的位置会同时下降且呈倾斜状。
[0005]通过采用上述技术方案，便于使第一夹盘组和第二夹盘组在不同高度的空间交错循环运作，例如在第一夹盘组上的金属托盘在进行晶片移载时，第二夹盘组则可以是将空盘至定点、可以是下降、也可以是移动至另一个待命位置，借此在前一个金属托盘上完成所晶片移载作业后，另一满载的金属托盘也能快速移至定点后进行搬运，从而减少设备等待或闲置的时间，提升了晶片的移载效率。
[0006]在一个具体的可实施方案中，所述机座于所述第一导座所在位置两侧另设有两个第一槽沟，于所述第二导座所在位置两侧另设有两个第二槽沟；两个所述第一槽沟供所述第一载座通过并作为所述第一载座移动的通道，两个所述第二槽沟供所述第二载座通过并作为所述第二载座移动的通道。
[0007]通过采用上述技术方案，便于第一载座和第二载座的连接及安装，有利于减小整体设备的体积。
[0008]在一个具体的可实施方案中，所述第一移动模组是由第一螺杆、第一伺服马达及第一移动块的结构所构成，所述第二移动模组是由第二螺杆、第二伺服马达及第二移动块的结构所构成。
[0009]在一个具体的可实施方案中，所述第一升降模组用于驱动一第一导轨于所述第一导座内侧升降，所述第一滑座面对所述第一导座方向设有第一导轮，所述第一导轮位于所述第一导轨内且能在所述第一导轨内移动，所述第一导轨面对所述第一导引壁的一侧另具有第一平壁；所述第一夹盘组面对所述第一导座的一侧设有第一滚轮，在操作所述第一升降模组驱动所述第一导轨升至最高点时，所述第一滑座也升至最高点，此时所述第一滚轮位于所述第一导引壁与所述第一平壁之间且让所述第一夹盘组呈水平状。
[0010]通过采用上述技术方案，第一导轮是位于第一导轨内移动，能够确保第一载座在水平移动时，第一滑座也能平稳地水平移动。而第一滚轮位于第一导引壁与第一平壁之间的设计，能够在有外力与第一夹盘组接触的情况下，也能够第一夹盘组呈水平状，保证其稳定运作。
[0011]在一个具体的可实施方案中，所述第一升降模组包括第一气压缸和第一滑动座，所述第一滑动座上设有第一斜轨，所述第一斜轨上设有能滑行的第一固定块，所述第一固定块固定连接于所述第一导轨，所述第一导轨安装于所述第一导座内壁且能上下升降，在操作所述第一气压缸带动所述第一滑动座水平移动时，利用所述第一斜轨使所述第一固定块及所述第一导轨同步升降。
[0012]通过采用上述技术方案，第一斜轨与第一固定块配合，能够带动第一导轨同步进行升降，实现对第一导轨的升降驱动。
[0013]在一个具体的可实施方案中，所述第二升降模组用于驱动一第二导轨于所述第二导座内侧升降，所述第二滑座面对所述第二导座方向设有第二导轮，所述第二导轮位于所述第二导轨内且能在所述第二导轨内移动，所述第二导轨面对所述第二导引壁的一侧另具有第二平壁；所述第二夹盘组面对所述第二导座的一侧设有第二滚轮，在操作所述第二升降模组驱动所述第二导轨升至最高点时，所述第二滑座也升至最高点，此时所述第二滚轮位于所述第二导引壁与所述第二平壁之间且让所述第二夹盘组呈水平状。
[0014]通过采用上述技术方案，与第一升降模组一样，如此的结构设置能够使得第二滑座也能平稳地水平移动，并且能够在有外力与第二夹盘组接触的情况下，使第二夹盘组保
持水平状。
[0015]在一个具体的可实施方案中，所述第二升降模组包括第二气压缸和第二滑动座，所述第二滑动座上设有第二斜轨，所述第二斜轨上设有能够滑行的第二固定块，所述第二固定块固定连接于所述第二导轨，所述第二导轨安装于所述第二导座内壁且能上下升降，当所述第二气压缸带动所述第二滑动座水平移动时，利用所述第二斜轨使所述第二固定块及所述第二导轨同步升降。
[0016]通过采用上述技术方案，第二斜轨与第二固定块的配合，实现了对第二导轨的上下升降驱动。
[0017]在一个具体的可实施方案中，所述第一夹盘组及所述第二夹盘组皆包括一载盘及可在该载盘上移动的多个夹持件，所述夹持件分布在所述载盘的顶面四周，所述夹持件底部另设有推轮；当所述推轮被向外推动时所述夹持件也同步向外移动，使得所述夹持件由夹持状态变为开启状态。
[0018]在一个具体的可实施方案中，所述第一夹盘组及所述第二夹盘组中央区域皆具有一开口，所述机座于所述第一导座及所述第二导座两侧上各设有第一料架及第二料架，另外所述机座底部另安装有第一顶升模组及第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹盘循环移动机构，其特征在于，包括：机座(10)，包括两个面对面配置的第一导座(11)及第二导座(12)，所述第一导座(11)上缘设有朝下的第一导引壁(111)，所述第二导座(12)上缘设有朝下的第二导引壁(121)；第一移盘组件(2)，安装于所述第一导座(11)，包括第一移动模组(21)、第一载座(22)、第一升降模组(23)及第一夹盘组(24)；所述第一移动模组(21)安装于所述第一导座(11)外壁，并控制所述第一载座(22)于所述第一导座(11)内侧进行线性移动；所述第一载座(22)上设有可上下移动的第一滑座(221)，所述第一夹盘组(24)底部枢接于所述第一滑座(221)；所述第一升降模组(23)用于控制所述第一滑座(221)升降，在操作所述第一升降模组(23)驱动所述第一滑座(221)上升至最高点时，所述第一夹盘组(24)面对所述第一导座(11)的一侧会与所述第一导引壁(111)接触使所述第一夹盘组(24)呈水平状；在操作所述第一升降模组(23)驱动所述第一滑座(221)下降至最低点时，所述第一夹盘组(24)的位置也会同时下降且呈倾斜状；第二移盘组件(3)，安装于所述第二导座(12)，包括第二移动模组(31)、第二载座(32)、第二升降模组(33)及第二夹盘组(34)；所述第二移动模组(31)安装于所述第二导座(12)外壁，并控制所述第二载座(32)于所述第二导座(12)内侧进行线性移动；所述第二载座(32)上设有可上下移动的第二滑座(321)，所述第二夹盘组(34)底部枢接于所述第二滑座(321)；所述第二升降模组(33)用于控制所述第二滑座(321)升降，在操作所述第二升降模组(33)驱动所述第二滑座(321)上升至最高点时，所述第二夹盘组(34)面对所述第二导座(12)的一侧会与所述第二导引壁(121)接触使所述第二夹盘组(34)呈水平状；在操作所述第二升降模组(33)驱动所述第二滑座(321)下降至最低点时，所述第二夹盘组(34)的位置会同时下降且呈倾斜状。2.根据权利要求1所述的夹盘循环移动机构，其特征在于，所述机座(10)于所述第一导座(11)所在位置两侧另设有两个第一槽沟(101)，于所述第二导座(12)所在位置两侧另设有两个第二槽沟(102)；两个所述第一槽沟(101)供所述第一载座(22)通过并作为所述第一载座(22)移动的通道，两个所述第二槽沟(102)供所述第二载座(32)通过并作为所述第二载座(32)移动的通道。3.根据权利要求1所述的夹盘循环移动机构，其特征在于，所述第一移动模组(21)是由第一螺杆(211)、第一伺服马达(212)及第一移动块(213)的结构所构成，所述第二移动模组(31)是由第二螺杆(311)、第二伺服马达(312)及第二移动块(313)的结构所构成。4.根据权利要求1所述的夹盘循环移动机构，其特征在于，所述第一升降模组(23)用于驱动一第一导轨(25)于所述第一导座(11)内侧升降，所述第一滑座(221)面对所述第一导座(11)方向设有第一导轮(222)，所述第一导轮(222)位于所述第一导轨(25)内且能在所述第一导轨(25)内移动，所述第一导轨(25)面对所述第一导引壁(111)的一侧另具有第一平壁(251)；所述第一夹盘组(24)面对所述第一导座(11)的一侧设有第一滚轮(241)，在操作所述第一升降模组(23)驱动所述第一导轨(25)升至最高点时，所述第一滑座(221)也升至最高点，此时所述第一滚轮(241)位于所述第一导引壁(111)与所述第一平壁(251)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈盈宏，黎昊昇，阙石男，
申请(专利权)人：苏州艾方芯动自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：