一种压力控制方法、系统、终端及存储介质技术方案

本申请涉及半导体加工设备技术领域，尤其是涉及一种压力控制方法、系统、终端及存储介质，旨在解决现有技术通过改变电磁阀的数量来实现压力的变化，容易在反复的电磁阀装卸操作中造成人力的浪费，同时容易导致产品的测试效率低的问题的问题，其技术方案是一种压力控制算法，包括：获取针对当前批次的待测产品预执行的压力测试流程；获取待测产品当前的第一测试压力，基于所述第一测试压力获取由第一测试压力跃升至下一梯级的第二测试压力所需的第一压力差；将所述第一测试压力与第一压力差组合为输入参数，并输入预设的模糊控制器中，获取所述模糊控制器输出的控制参数，本申请具有提高对产品进行压力测试的过程中压力控制的效率的效果。效率的效果。效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种压力控制方法、系统、终端及存储介质


[0001]本申请涉及半导体加工设备
，尤其是涉及一种压力控制方法、系统、终端及存储介质。

技术介绍

[0002]半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电以及大功率电源转换等领域都有广泛的应用。半导体产品中，部分对产品质量要求比较高的产品（例如车用、手机等的配套晶片）需要经过测试工序进行反复测试。其中，为了测试产品的功能能否达到稳定，需要通过压力测试，对产品施加反复变化的不同压力。
[0003]目前，在半导体产品的压力测试过程中，为了满足多个不同测试压力的测试条件，需要根据所需的压力值配置对应数量的电磁阀，对每个电磁阀设置好对应的压力后，得到所需的测试压力，从而进行测试。
[0004]在实现本申请的过程中，专利技术人发现上述技术至少存在以下问题：通过改变电磁阀的数量来实现压力的变化，容易在反复的电磁阀装卸操作中造成人力的浪费，同时容易导致产品的测试效率低的问题。

技术实现思路

[0005]为了提高对产品进行压力测试的过程中压力控制的效率，本申请提供一种压力控制方法、系统、终端及存储介质。
[0006]第一方面，本申请提供的一种压力控制方法，采用如下的技术方案：一种压力控制方法，包括方法包括以下步骤：获取针对当前批次的待测产品预执行的压力测试流程，所述压力测试流程至少包括梯度设置的测试压力；获取待测产品当前的第一测试压力，基于所述第一测试压力获取由第一测试压力跃升至下一梯级的第二测试压力所需的第一压力差；将所述第一测试压力与第一压力差组合为输入参数，并输入预设的模糊控制器中，获取所述模糊控制器输出的控制参数，所述控制参数至少包括压力控制流量以及控制持续时间；基于所述控制参数控制受控系统执行压力测试。
[0007]通过采用上述技术方案，在对产品进行压力测试时，当需要调整产品的测试压力时，可以先获取产品当前所处的压力，根据当前压力和到下一压力等级的压力差，通过模糊控制器计算出控制参数，通过模糊控制器得到的控制参数可以通过调整参数数值的方式控制压力，取代了通过控制电磁阀的数量来调节压力，进而减免了装卸电磁阀的操作工序，有助于提高产品压力测试的效率，同时也有助于获得更大的压力测试范围，进而进一步提高产品的质量。
[0008]在一个具体的可实施方式中，所述获取针对当前批次的待测产品预执行的压力测试流程，所述压力测试流程至少包括梯度设置的测试压力之后，还包括：获取所述待测产品的产品信息，所述产品信息至少包括产品尺寸以及产品型号；构建所述产品信息与压力测试流程之间的映射关系，并存储至预设的压力测试流程库。
[0009]通过采用上述技术方案，不同的产品对应有不同的压力测试流程，将产品和压力测试流程之间建立映射关系，有助于快速获取与产品有关联的压力测试流程，取代了由人工进行输入，有助于提高产品的压力测试的效率。
[0010]在一个具体的可实施方式中，所述方法还包括：进行产品测试前，获取所述待测产品的第一产品信息；在所述压力测试流程库中检索与第一产品信息匹配的产品信息；若存在与所述第一产品信息匹配的产品信息，则直接调用与产品信息匹配的压力测试流程。
[0011]通过采用上述技术方案，对产品的产品信息进行识别和检索，并自动匹配与其对应的压力测试流程，有助于取代由工程师手动输入或手动搜索，进而有助于提高压力测试的智能化程度，同时有助于提高产品压力测试工作的效率。
[0012]在一个具体的可实施方式中，所述获取待测产品当前的第一测试压力，基于所述第一测试压力获取由第一测试压力跃升至下一梯级的第二测试压力所需的第一压力差之前，还包括：基于梯度设置的所述测试压力，获取相邻梯级的所述测试压力之间的压力差，所述压力差由跃升后的后级测试压力与跃升前的前级测试压力做差获取；将所述压力差和与压力差对应的前级测试压力关联。
[0013]通过采用上述技术方案，在获取产品的压力测试流程之后，将压力测试流程中各个压力等级之间的压力差计算出来，有助于使得智能终端获取当前的测试压力之后，直接根据测试压力来获取压力差，取代了每次检测之后都需要经过计算才可以得到压力差，有助于提高产品压力测试工作的效率。
[0014]在一个具体的可实施方式中，所述方法还包括：获取所述待测产品受测的第三测试压力；当所述第三测试压力低于预设的环境压力下限时，增大所述压力控制流量；当所述第三测试压力高于预设的环境压力上限时，降低所述压力控制流量。
[0015]通过采用上述技术方案，在压力测试的过程中，对测试环境进行监测，当测试环境内的压力超出安全运行的上限和下限时，通过控制压力控制流量的大小可以调节环境压力，有助于降低环境压力超出安全范围，导致造成事故情况发生的可能性。
[0016]在一个具体的可实施方式中，所述方法还包括：按照预设的检测周期获取测试环境气压，获取每个所述检测周期中的环境气压均值；若当前检测周期中的第一环境气压均值与前一检测周期中的第二环境气压均值之间的误差查过预设的泄露阈值，则更新控制参数。
[0017]通过采用上述技术方案，对环境压力进行监测，当环境压力发生明显偏差时，智能
地判断出测试环境中可能存在的气体泄露情况，进而更新控制参数，控制参数更新后新的控制参数可以保持产品的受测压力，有助于保证产品在不同的测试环境中进行测试的稳定性。
[0018]第二方面，本申请提供一种压力控制系统，采用如下的技术方案：一种压力控制系统，所述系统包括：流程识别模块，用于获取针对当前批次的待测产品预执行的压力测试流程，所述压力测试流程至少包括梯度设置的测试压力；差值获取模块，用于获取待测产品当前的第一测试压力，基于所述第一测试压力获取由第一测试压力跃升至下一梯级的第二测试压力所需的第一压力差；模糊运算模块，用于将所述第一测试压力与第一压力差组合为输入参数，并输入预设的模糊控制器中，获取所述模糊控制器输出的控制参数，所述控制参数至少包括压力控制流量以及控制持续时间；测试执行模块，用于基于所述控制参数控制受控系统执行压力测试。
[0019]通过采用上述技术方案，在对产品进行压力测试时，当需要调整产品的测试压力时，可以先获取产品当前所处的压力，根据当前压力和到下一压力等级的压力差，通过模糊控制器计算出控制参数，通过模糊控制器得到的控制参数可以通过调整参数数值的方式控制压力，取代了通过控制电磁阀的数量来调节压力，进而减免了装卸电磁阀的操作工序，有助于提高产品压力测试的效率，同时也有助于获得更大的压力测试范围，进而进一步提高产品的质量。
[0020]第三方面，本申请提供一种智能终端，采用如下的技术方案：一种智能终端，所述智能终端包括处理器和存储器，所述存储器中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、所述至少一段程序、所述代码集或指令集由所述处理器加载并执行以实现如第一方面任一所述的一种压力控制方法。
[0021]通过采用上述技术方案，智能终端中的处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力控制方法，其特征在于：包括方法包括以下步骤：获取针对当前批次的待测产品预执行的压力测试流程，所述压力测试流程至少包括梯度设置的测试压力；获取待测产品当前的第一测试压力，基于所述第一测试压力获取由第一测试压力跃升至下一梯级的第二测试压力所需的第一压力差；将所述第一测试压力与第一压力差组合为输入参数，并输入预设的模糊控制器中，获取所述模糊控制器输出的控制参数，所述控制参数至少包括压力控制流量以及控制持续时间；基于所述控制参数控制受控系统执行压力测试。2.根据权利要求1所述一种压力控制方法，其特征在于：所述获取针对当前批次的待测产品预执行的压力测试流程，所述压力测试流程至少包括梯度设置的测试压力之后，还包括：获取所述待测产品的产品信息，所述产品信息至少包括产品尺寸以及产品型号；构建所述产品信息与压力测试流程之间的映射关系，并存储至预设的压力测试流程库。3.根据权利要求2所述的一种压力控制方法，其特征在于：所述方法还包括：进行产品测试前，获取所述待测产品的第一产品信息；在所述压力测试流程库中检索与第一产品信息匹配的产品信息；若存在与所述第一产品信息匹配的产品信息，则直接调用与产品信息匹配的压力测试流程。4.根据权利要求1所述的一种压力控制方法，其特征在于：所述获取待测产品当前的第一测试压力，基于所述第一测试压力获取由第一测试压力跃升至下一梯级的第二测试压力所需的第一压力差之前，还包括：基于梯度设置的所述测试压力，获取相邻梯级的所述测试压力之间的压力差，所述压力差由跃升后的后级测试压力与跃升前的前级测试压力做差获取；将所述压力差和与压力差对应的前级测试压力关联。5.根据权利要求1所述的一种压力控制方法，其特征在于：所述方法还包括：获取所述待测...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗新铭，阙石男，
申请(专利权)人：苏州艾方芯动自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：