集成电路板材摇摆装置制造方法及图纸

一种集成电路板材摇摆装置。所述集成电路板材摇摆装置包括承载装置、驱动装置以及侦测装置。所述承载装置经配置以承载集成电路板材。所述驱动装置连接至所述承载装置。所述驱动装置经配置以驱动承载装置进行摇摆运动。所述侦测装置经配置以侦测所述承载装置的摇摆运动并产生侦测结果。运动并产生侦测结果。运动并产生侦测结果。

Integrated circuit board swinging device

【技术实现步骤摘要】
集成电路板材摇摆装置


[0001]本申请是有关一种装置，详细来说，是有关于一种集成电路板材摇摆装置。

技术介绍

[0002]在现有技术中，必须对集成电路板材进行药水喷洒作业以便后续的工艺程序。然而，由于必须避免药味的外泄，对集成电路板材进行药水喷洒的机台的腔室必须进行密封处理。如此一来，当承载并摇动集成电路板材的装置发生故障时，使用者在腔室外并无法即时的得知。通常必须等到药水喷洒作业完成后才能进行确认。若是装置在作业过程中就出现异常却没办法即时排除，将会造成大量的集成电路板材报废，花费成本巨大。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请的目的之一在于提供一种集成电路板材摇摆装置来解决上述问题。
[0004]依据本申请的一实施例，提供一种集成电路板材摇摆装置。所述集成电路板材摇摆装置包括承载装置、驱动装置以及侦测装置。所述承载装置经配置以承载集成电路板材。所述驱动装置连接至所述承载装置。所述驱动装置经配置以驱动承载装置进行摇摆运动。所述侦测装置经配置以侦测所述承载装置的摇摆运动并产生侦测结果。
[0005]依据本申请的一实施例，所述侦测结果经配置以在所述承载装置的摇摆运动不符合预设状态时指示所述承载装置的摇摆运动异常。
[0006]依据本申请的一实施例，所述预设状态包括所述承载装置的摇摆幅度和摇摆频率。
[0007]依据本申请的一实施例，所述侦测结果经配置以通过声音、光和显示屏显示来指示所述承载装置的摇摆运动异常。
[0008]依据本申请的一实施例，所述侦测装置包括定位装置与传感器，所述定位装置连接于所述承载装置，所述传感器经配置以侦测所述定位装置的运动以产生所述侦测结果。
[0009]依据本申请的一实施例，所述定位装置包括不锈钢金属块。
[0010]依据本申请的一实施例，所述传感器包括磁传感器。
[0011]依据本申请的一实施例，所述集成电路板材摇摆装置还包括腔体，所述腔体经配置以容纳所述承载装置、所述驱动装置以及所述侦测装置。所述腔体的壁上开设有装设槽。所述侦测装置嵌入所述装设槽。
[0012]依据本申请的一实施例，所述驱动装置包括马达以及过载侦测装置。所述过载侦测装置经配置以侦测所述马达的运转电流是否异常。
[0013]依据本申请的一实施例，所述集成电路板材摇摆装置还包括喷嘴。所述喷嘴经配置以对所述集成电路板材喷洒药水。
[0014]通过本申请提出的集成电路板材摇摆装置可以有效地避免集成电路板材大量报废，大幅降低成本。
附图说明
[0015]附图是用来提供对本申请的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本申请，但并不构成对本申请的限制。在附图中：
[0016]图1演示依据本申请一实施例的集成电路板材摇摆装置的方块示意图。
[0017]图2演示依据本申请一实施例的集成电路板材摇摆装置的示意图。
具体实施方式
[0018]以下揭示内容提供了多种实施方式或例示，其能用以实现本揭示内容的不同特征。下文所述之组件与配置的具体例子系用以简化本揭示内容。当可想见，这些叙述仅为例示，其本意并非用于限制本揭示内容。举例来说，在下文的描述中，将一第一特征形成于一第二特征上或之上，可能包括某些实施例其中所述的第一与第二特征彼此直接接触；且也可能包括某些实施例其中还有额外的组件形成于上述第一与第二特征之间，而使得第一与第二特征可能没有直接接触。此外，本揭示内容可能会在多个实施例中重复使用组件符号和/或标号。此种重复使用乃是基于简洁与清楚的目的，且其本身不代表所讨论的不同实施例和/或组态之间的关系。
[0019]再者，在此处使用空间上相对的词汇，譬如「之下」、「下方」、「低于」、「之上」、「上方」及与其相似者，可能是为了方便说明图中所绘示的一组件或特征相对于另一或多个组件或特征之间的关系。这些空间上相对的词汇其本意除了图中所绘示的方位之外，还涵盖了装置在使用或操作中所处的多种不同方位。可能将所述设备放置于其他方位(如，旋转90度或处于其他方位)，而这些空间上相对的描述词汇就应该做相应的解释。
[0020]虽然用以界定本申请较广范围的数值范围与参数皆是约略的数值，此处已尽可能精确地呈现具体实施例中的相关数值。然而，任何数值本质上不可避免地含有因个别测试方法所致的标准偏差。在此处，「约」通常系指实际数值在一特定数值或范围的正负10％、5％、1％或0.5％之内。或者是，「约」一词代表实际数值落在平均值的可接受标准误差之内，视本申请所属
中具有通常知识者的考虑而定。当可理解，除了实验例之外，或除非另有明确的说明，此处所用的所有范围、数量、数值与百分比(例如用以描述材料用量、时间长短、温度、操作条件、数量比例及其他相似者)均经过「约」的修饰。因此，除非另有相反的说明，本说明书与附随权利要求书所揭示的数值参数皆为约略的数值，且可视需求而更动。至少应将这些数值参数理解为所指出的有效位数与套用一般进位法所得到的数值。在此处，将数值范围表示成由一端点至另一端点或介于二端点之间；除非另有说明，此处所述的数值范围皆包括端点。
[0021]图1演示依据本申请一实施例的集成电路板材摇摆装置1的方块示意图。在某些实施例中，集成电路板材摇摆装置1经配置以在对集成电路板材喷洒药水时摇摆集成电路板材，以使得药水均匀喷洒在集成电路板材上。在某些实施例中，集成电路板材摇摆装置1包括承载装置11、驱动装置12以及侦测装置13。在某些实施例中，承载装置11经配置以承载集成电路板材。在某些实施例中，驱动装置 12连接至承载装置11。在某些实施例中，驱动装置12经配置以驱动承载装置11 进行摇摆运动。在某些实施例中，侦测装置13经配置以侦测承载装置的摇摆运动并产生侦测结果。
[0022]图2演示依据本申请一实施例的集成电路板材摇摆装置2的俯视视图。在某些实施
例中，集成电路板材摇摆装置2可以用以实现图1实施例的集成电路板材摇摆装置1。在某些实施例中，集成电路板材摇摆装置2包括承载装置21、驱动装置22以及侦测装置23。在某些实施例中，承载装置21呈现板状结构。在某些实施例中，承载装置21经配置以承载集成电路板材。在某些实施例中，驱动装置 22连接至承载装置21。在某些实施例中，驱动装置22驱动承载装置21进行摇摆运动。在某些实施例中，驱动装置22驱动承载装置21沿Y轴方向来回进行摇摆运动。
[0023]在某些实施例中，侦测装置23经配置以侦测承载装置21的摇摆运动并产生侦测结果。在某些实施例中，侦测装置23产生的侦测结果经配置以在承载装置21的摇摆运动不符合预设状态时指示承载装置21的摇摆运动异常。在某些实施例中，预设状态包括承载装置21的摇摆幅度和摇摆频率。在某些实施例中，侦测结果经配置以通过声音、光和显示屏显示来指示承载装置21的摇摆运动异常。当侦测装置23在侦测承载装置21的摇摆运动后发现承载装置21的摇摆幅度和摇摆频率不同于系统预设值，例如摇摆幅度过小或摇摆频率过慢等，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路板材摇摆装置，其特征在于，包括：承载装置，经配置以承载集成电路板材；驱动装置，连接至所述承载装置，所述驱动装置经配置以驱动承载装置进行摇摆运动；以及侦测装置，经配置以侦测所述承载装置的摇摆运动并产生侦测结果。2.如权利要求1所述的集成电路板材摇摆装置，其特征在于，所述侦测结果经配置以在所述承载装置的摇摆运动不符合预设状态时指示所述承载装置的摇摆运动异常。3.如权利要求2所述的集成电路板材摇摆装置，其特征在于，所述预设状态包括所述承载装置的摇摆幅度和摇摆频率。4.如权利要求2所述的集成电路板材摇摆装置，其特征在于，所述侦测结果经配置以通过声音、光和显示屏显示来指示所述承载装置的摇摆运动异常。5.如权利要求1所述的集成电路板材摇摆装置，其特征在于，所述侦测装置包括定位装置与传感器，所述定...

【专利技术属性】
技术研发人员：任敬飞，张宝军，夏相，
申请(专利权)人：日月光半导体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：