压电薄膜元件制造技术

压电薄膜型元件包括接续地整体设在堆在陶瓷基片（１２）上构成的压电工作层，一个单一的平薄膜型下电极（１６），一压电层（１８）和包括多个交替设置的条形电极（２０ａ，２０ｂ）上的电极（２０）。下电极（１６）为第一电极，上电极（２０）为第二电极。第一、二电极及压电层（１８）构成第一压电工作装置，而第二电极及压电层（１８）构成第二压电工作装置。上述压电工作层上没堆着其它的压电层。这样压电薄膜型元件可充分利用压电工作段的工作性能，作用好，尺寸紧凑及可在低电压下工作。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电薄膜型元件的改进。更具体地，本专利技术提供了一种机构或结构，其可以改进元件把电能转为机械能也就是把电能转为机械位移，力或振动，或从后者转变为前者的工作特点。现时，在光学，精密制造等领域中，有要求使用位移元件来在亚微米数量级调节光道的长度或位置，还要求使用探测元件在把位移转成电变化后测出微小的位移。为了满足这些要求，已发展了用于致动器的压电/电致伸缩元件，它利用当电场加到铁电物质之类的压电材料上时引起的反的压电作用产生的位移，和用于传感器，其使用与上面反转的现象(压电作用)。在其中，例如作为扬声器，最好采用一种包括例如已知的单变体类型的压电/电致伸缩元件结构。在这种技术中，本申请人已经先建议了由陶瓷材料制成的压电(/电致伸缩)薄膜型元件，它可优选地用于各种应用中，例如在日本专利公开No.3-128681和5-49270中有说明。以前建议的压电薄膜型元件有下面的结构，也就是，元件包括一个陶瓷基片，其有至少一个窗口(空心空间)，并包括整体设的一个薄壁薄膜段以盖住及封住窗口而形成至少一个薄壁的壁段。在陶瓷基片的薄膜段的外表面上，元件还包括一个薄膜形的压电工作层，它包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电薄膜型元件，其结构包括一个陶瓷基片（２，１２），和一个薄膜型压电工作层，所述的工作层包括设在所述的陶瓷基片（２，１２）的至少一表面的至少一部分上成层状结构的单一压电层（８，１８），和分别整体设在沿所述的压电层（８，１８）的厚度方向的两侧的第一和第二电极（６，６，１０，２０），其中在所述的压电工作层上没有叠着其它的压电工作层；所述的压电薄膜型元件包括：使用单一的平薄膜型电极层形成的所述的第一电极（６，１６）；至少一部分使用多个条形电极形成的所述的第二电极（１０， ２０），由所述的第一和第二电极（６，１６，１０，２０）构成的第一压电工作装置；和由所述的压电层（８，１８）和所述...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：武内幸久，木村浩二，高桥正郎，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]