声表面波器件制造技术

具有不平衡－平衡转换功能和阻抗转换功能并实现一个小型声表面波器件的一种声表面波滤波器。一个输入叉指形换能器和一个输出叉指形换能器排列在压电基片的声表面波传播路径上，假定输入或输出叉指形换能器的电极指的交叉宽度为Ｘ，所述输入或输出换能器包括两个分开的叉指形换能器，它们提供有交叉宽度约为Ｘ／２的电极指。两个分开的叉指形换能器串联，各电极指的电极从其引出并这样排列，使得与平衡端子对连接的两个输出端或输入端的信号具有１８０°相位差。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种声表面波器件，并特别涉及其中输入和输出中任何一个均具有平衡的或差动的端子对的一种声表面波器件。相关技术的描述声表面波器件作为一种滤波器，广泛用于以便携式电话或类似产品为代表的无线电设备的高频电路中。近年来，具有平衡或差动输入和输出的集成电路元件(IC)已经在这类无线电设备的高频电路中付诸使用。相反，使用传统声表面波器件的滤波器(下文中恰当地称为声表面波滤波器)，其输入/输出(I/O)端子不是平衡的。为了解决这个问题，在附图说明图1所示的实例中，当所述传统声表面波器件与混频电路IC3连接时，在声表面波滤波器1和混频电路IC3之间必须接入一个被称为平衡-不平衡变换器的不平衡-平衡变换部分，或者接入由独立的部分组成的变换电路2。此外，声表面波滤波器通常有50欧姆的输入/输出阻抗，另一方面，在很多情况下，具有平衡端子对的混频电路IC3等的阻抗高达大约100到200欧姆，因此这样的IC与声表面波滤波器连接要求有阻抗变换电路。然而，这又导致了无线电设备中所用电路部分数量的增加。此外，为了进一步小型化的需要，需要节省空间的设计。专利技术概要为此，本专利技术的目的是实现一种具有不平衡-平衡变换功能和阻抗变换功能的小型化声表面波器件。为实现上述目的，按照本专利技术的第一方面提供一种声表面波器件，它包括一个输入叉指形换能器和一个输出叉指形换能器，两者排列在压电基片的声表面波传播路径上，其中当输入或输出叉指形换能器电极指的声孔径宽度(aperture length)用X表示时，输出或输入叉指形换能器具有两个分开的叉指形换能器，它们具有这样的电极指，其中电极指的每个声孔径宽度大致用X/2表示，并且，其中所述两个分开的叉指形换能器串联，而各自的电极指的电极从两个分开的叉指形换能器引出，它们如此排列，使得连接到平衡端子对的两个输出和输入信号有180°相差。为实现上述目的，按照本专利技术的第二方面提供一种声表面波器件，它包括排列在压电基片声表面波传播路径上的多个叉指形换能器和排列在两侧的反射电极，其中多个叉指形换能器包括交替排列的第一类型叉指形换能器和第二类型叉指形换能器，其中当所述第一类型叉指形换能器电极指的声孔径宽度用X表示时，第二类型叉指形换能器中的每一个具有两个分开的叉指形换能器，它们具有这样的电极指，其中电极指的每个孔径宽度大致用X/2表示，其中所述第一类型叉指形换能器连接到不平衡输入或输出端子对，所述两个分开的叉指形换能器串联，而各自的电极指的电极从两个分开的叉指形换能器引出并连接到平衡端子对，所述两个分开的叉指形换能器各自的电极指如此排列，使得在平衡端子对的信号有180°相差。优选，在本专利技术的第一或第二方面，在所述两个分开的叉指形换能器中，在与平衡端子连接一侧电极指的位置相互滑移半波。优选，在本专利技术的第一或第二方面，所述两个分开的叉指形换能器的连接部分接地。优选，在本专利技术的第二方面，在所述多个叉指形换能器中，由三个叉指形换能器构成双模滤波器。优选，在本专利技术的第二方面，所述多个叉指形换能器是构成多电极滤波器的五个或五个以上叉指形换能器。声表面波器件具有两个或两个以上级联的滤波器，其中最外层滤波器由按照上述本专利技术第一或第二方面的声表面波器件构成，并具有输入或输出平衡端子对。优选，在两个或两个以上的滤波器为级联的情况中，借助构成各滤波器的叉指形换能器的多个连接部分在两个或两个以上的互滤波器之间进行级联连接，滤波器的相位在多个连接部分的各邻近连接部分中相反。优选，在以上本专利技术各方面中的任一方面，压电基片可以是旋转40°至44°的Y-X LiTaO3。更为优选地，在以上本专利技术各方面中的任一方面，压电基片是旋转66°至74°的Y-X LiNbO3。通过下面参照各附图的描述，本专利技术的特征将变得更清楚。附图简述图1是用于说明传统声表面波器件连接到具有平衡输入端的IC电路的情况的视图；图2是用于说明作为本专利技术目的的声表面波器件连接到具有平衡输入端的IC电路的情况的视图；图3是示出按照本专利技术第一实施例的声表面波器件的视图；图4是构成声表面波器件的视图，其中图3中示出电极结构排列在压电基片11上；图5是示出另一个端子结构的实施例的视图；图6是用于说明按照图3实施例的工作的视图；图7是示出对图3所示的电极结构的改进的视图；图8是指出通过形成图7的电极结构，在平衡输出端子对OUT1，OUT2之间的相位差的改进的数据；图9是示出声表面波器件的透视图的视图，其中图8的电极结构形成在压电基片11上；图10是示出一种配置的视图，即IDT 201和IDT 202的连接部分通过其它配置而不是图9的电极213接地；图11是示出按照本专利技术第二实施例的声表面波器件的视图；图12是示出按照本专利技术第三实施例的声表面波器件的视图；图13是示出按照本专利技术第四实施例的声表面波器件的视图；图14是示出按照本专利技术第五实施例的声表面波器件的视图；图15是示出按照本专利技术第六实施例的声表面波器件的视图；图16是实施例的一种配置，该实施例相对于图15的实施例改进了平衡输出端子对OUT1，OUT2中信号间的相位差；图17是示出按照本专利技术第七实施例的声表面波器件的视图；图18是示出按照本专利技术第八实施例的声表面波器件的视图；图19是示出按照本专利技术第九实施例的声表面波器件的视图；以及图20是改进图19实施例中平衡输出端子对OUT1，OUT2之间的相位差的一个实施例。优选实施例的描述下文中，将参照附图来说明本专利技术的各实施例。顺便提一句，下面各实施例的描述是为了理解本专利技术而进行的，本专利技术的保护范围不限于所述各实施例、各附图以及对其进行的描速。图2是示出按照本专利技术的作为声表面波滤波器的声表面波器件10的适合的实例的视图，所述声表面波器件10引到类似图1的混频电路IC3。按照本专利技术的声表面波滤波器具有不平衡-平衡变换功能和阻抗变换功能。这样，有可能把混频电路IC3的平衡输入设置成输入阻抗。因此，有可能不使用单独的不平衡-平衡变换功能和阻抗变换功能电路，而这种电路在图1中是必需的。因此，有可能实现器件小型化。图3示出按照本专利技术第一实施例的声表面波器件10的电极结构，它用在图2的一个实例中。图3中，单一的输入叉指形换能器(IDT)100和输出叉指形换能器(IDT)200排列在形成于压电基片上的声表面波传播路径上，这一点随后将详细描述。在输入IDT 100一侧的第一叉指形电极指101连接到信号输入端IN，而反向的第二叉指形电极指102接地。第一电极指101和第二电极指102重叠的宽度X就是输入IDT 100的声孔径宽度。另一方面，输出IDT 200有第一和第二分开的叉指形换能器(IDT)201、202，它们的声孔径宽度X1、X2在输入IDT 100的声孔径宽度X范围内大致为声孔径宽度X的一半。第一分开的IDT 201的一个电极指和第二分开的IDT 202的一个电极指分别连接到平衡输出端子对OUT1、OUT2，而且进一步第一和第二分开的换能器IDT 201、202的另外的电极指分别这样配置，以便它们以具有公共连接端的方式连接。在此，特别地，第一和第二IDT 201、202的电极指如此配置，使得其位置在电极指的位置相互滑移一个周期，也就是1/2声表面波波长。图4是构成声表面波器件的视图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声表面波器件，它包括一个输入叉指形换能器和一个输出叉指形换能器，两者排列在压电基片声表面波传播路径上，其中 当所述输入或输出叉指形换能器电极指的声孔径宽度用Ｘ表示时，所述输出或输入叉指形换能器具有两个分开的叉指形换能器，每个换能器具有这样的电极指，其中电极指的每个声孔径宽度大致用Ｘ／２表示，并且其中 所述两个分开的叉指形换能器串联，而各自的电极指的电极从所述两个分开的叉指形换能器引出，而且如此排列，使得连接到平衡端子对的两个输出或输入信号有１８０°相差。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：远藤刚，川内治，上田政则，田岛基行，
申请(专利权)人：富士通媒体装置株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]