【技术实现步骤摘要】
一种方形插片式石英舟
[0001]本技术涉及石英舟
，尤其涉及一种方形插片式石英舟。
技术介绍
[0002]石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石，一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%。石英玻璃具有优异的光学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线，红外线，石英玻璃电学性能极佳，在常温下，它的电阻相当于普通玻璃的10倍，对全部频率的介电损失很微小，绝缘耐压强度大。
[0003]现有的石英舟在插取硅片时，如果硅片与卡槽处于错位状态，此时插入硅片不仅会对硅片造成损坏而且会破坏石英舟，同时现有的石英舟的尺寸是固定的而目前主流硅片尺寸有5英寸、6英寸，不同尺寸的硅片需要更换不同型号的石英舟来存放，频繁更换不同型号的石英舟会加大生产成本。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是针对现有技术的不足之处，提供一种方形插片式石英舟，通过设置警示灯等结构，能够提醒操作人员硅片插入出现错位，避免强制插入造成硅片和石英舟出现损坏，通过设置活动板等结构，能够使得石英舟能够承载不同尺寸的硅片，提...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种方形插片式石英舟，其特征在于，包括：两个侧杆（7），所述侧杆（7）上设置有防护警示机构和限位机构；所述防护警示机构包括插接在侧杆（7）上的U型杆（3），所述U型杆（3）上固定连接有连接杆（2），所述连接杆（2）的两端固定连接有卡杆（9），所述卡杆（9）的顶部固定连接有定触片（13）和若干个复位弹簧（16），所述复位弹簧（16）的另一端固定连接有防护板（8），所述防护板（8）的底部固定连接有动触片（14），所述连接杆（2）上固定连接有两个对称分布的警示灯（15），所述警示灯（15）内设置有纽扣电池，所述警示灯（15）与纽扣电池电性连接，所述纽扣电池与所述定触片（13）电性连接；所述限位机构用于对侧杆（7）进行限位。2.根据权利要求1所述的一种方形插片式石英舟，其特征在于，所述限位机构包括固定连接在侧杆（7）两端的活动板（12），所述活动板（12）上转动连接有两个对称分布的转动杆（11），所述侧杆（7）的两端设置有顶杆（6），所述顶杆（6）上固定连接有两组对称分布的限位板（10），每组限位板（10）的数量为两个，所述限位板（10）上开设有限...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛文彬，刘克勇，
申请(专利权)人：浙江奥博石英科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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