本实用新型专利技术公开了一种可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置，可使硅片旋转的清洗架包括架体、驱动电机、硅片花篮；架体包括纵向设置的顶架、垂直向设置的设有内孔的连接管、纵向设置的硅片花篮架，连接管的底端设有底板；所述连接管的内孔的横截面呈长方形；硅片花篮架上纵向设有两平行的转动棍，连接管底端前侧面的左、右两端各纵向设有转动棍安装孔，两转动棍插入分别插入一转动棍安装孔内；各转动棍的连接管内孔内设有链轮，两链轮通过第二传动链条相连，第二传动链条所在平面垂直于两转动棍；硅片花篮架上安装有硅片花篮。本实用新型专利技术装置可以在硅片花篮内放置不同尺寸的硅片进行旋转清洗，特别适用于小批量、多种尺寸的硅片的清洗。多种尺寸的硅片的清洗。多种尺寸的硅片的清洗。
The utility model relates to a cleaning rack that can rotate silicon wafers. A silicon wafer cleaning device using the cleaning rack
【技术实现步骤摘要】
一种可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置
[0001]本技术属于半导体硅片清洗领域，涉及可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置。
技术介绍
[0002]在半导体器件生产中，大约有20％的工序与硅片清洗有关。硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等不同工序加工后，表面已经受到严重的污染，清洗的目的就是为了去除硅片表面颗粒、金属离子以及有机物等污染。
[0003]目前硅片清洗主要是以化学清洗为主，化学清洗是指利用各种化学试剂和有机溶剂与吸附在被清洗物体表面上的杂质及油污发生化学反应或溶解作用，或伴以超声、加热、抽真空等物理措施，使杂质从被清除物体的表面脱附，然后用大量高纯热、冷去离子水冲洗，从而获得洁净表面的过程。化学清洗又可以分为湿法化学清洗和干法化学清洗，其中湿法化学清洗技术在硅片表面清洗中仍处于主导地位。
[0004]当清洗液和硅片接触时，在硅片表面存在着一层非常薄的水膜，由于分子间引力的作用，这一层水膜相对于硅片是静止不动的，也被称为边界层。边界层的存在，对于硅片的清洗效果有着非常重要的影响。对于那些直径小于边界层厚度的颗粒，只能依靠颗粒自身慢慢地扩散通过边界层，进入水流中，然后被水流带离硅片表面，这些颗粒很难在清洗过程中被去除。边界层厚度取决于液体的粘度，液体和硅片表面的相对速度等。减小边界层厚度已经成为提高清洗效率的一个重要挑战。
[0005]在湿法化学清洗中，需要采用清洗花篮来盛放硅片，再将清洗花篮放入清洗液中。现有的清洗花篮放入到清洗液后都是固定不动的，为了能够减小边界层的厚度只能够加快水流速度，就需要不断提高设备功率，造成了电量的大量损耗。此外，还存在化学清洗的清洗液对驱动装置的腐蚀比较严重造成驱动装置的寿命比较短的问题，对不小批量、不同同尺寸的硅片清洗通用性差的问题。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置。
[0007]本技术采用的技术方案如下。
[0008]一种可使硅片旋转的清洗架，其特征在于：包括架体、驱动电机、硅片花篮；架体包括纵向设置的顶架、垂直向设置的设有内孔的连接管、纵向设置的硅片花篮架，连接管的底端与硅片花篮架的后端相连，连接管的顶端与顶架相连，驱动电机设置在顶架上连接管的正上方；连接管的底端设有底板；所述连接管的内孔的横截面呈长方形。
[0009]硅片花篮架上纵向设有两平行的转动棍，连接管底端前侧面的左、右两端各纵向设有转动棍安装孔，两转动棍分别插入一转动棍安装孔内；各转动棍的连接管内孔内设有链轮，两链轮通过第二传动链条相连，第二传动链条所在平面垂直于两转动棍。
[0010]驱动电机的后端设有主动轮，两转动棍中，其中一转动棍的连接管内孔内设有设有被动轮，驱动电机上设有主动轮，主动轮、被动轮所在平面垂直于两转动棍。
[0011]主动轮与从动轮通过第一传动链条相连；第一传动链条的下端位于连接管的内孔内。
[0012]各转动棍与连接管内孔之间设有第一密封套；
[0013]顶架的连接管前侧面正上方设有垂直于两转动棍的隔板，顶架上隔板的后侧设有第一空腔，顶架上隔板的前侧设有第二空腔；连接管的顶端与所述第一空腔的底面连通。
[0014]隔板上设有垂直于隔板的电机轴安装孔，驱动电机安装在第二空腔；驱动电机纵向设有驱动轴，驱动电机的驱动轴穿过所述电机轴安装孔，主动轮安装在驱动轴上且位于的第一空腔内；第一传动链条的上端位于第一空腔内；电机轴安装孔与驱动电机的驱动轴之间设有第二密封套。
[0015]硅片花篮架上安装有硅片花篮，硅片花篮上设有若干垂直于两硅片两转动棍的硅片插槽，当硅片花篮内的硅片插槽上放置有若干圆形的硅片时，各硅片的底端与两转动棍的径向外周表面接触。
[0016]作为优选技术方案，所述硅片花篮包括左架板、右架板，左架板的前端与右架板的前端之间、左架板的后端与右架板的后端之间通过连接板相连；左架板、右架板上分别设有若干硅片插槽；左架板、右架板的底面平齐且位于连接板底面的下方。
[0017]作为优选技术方案，连接管的内孔横截面的长边横向设置。
[0018]作为优选技术方案，各转动棍的连接管以外部分的径向外周表面设有橡胶套。设有橡胶套，不会损伤硅片。
[0019]作为优选技术方案，第二空腔顶端设有玻璃门。设有玻璃门，便于观察电机状态，
[0020]作为优选技术方案，顶架上第一空腔的前侧面设有若干通风孔。
[0021]硅片清洗装置，包括清洗装置机架、升降装置、上述任意一可使硅片旋转的清洗架、清洗槽，可使硅片旋转的清洗架的顶架的后端安装在升降装置上，升降装置安装在清洗装置机架上，清洗槽安装在清洗装置机架的硅片花篮架的正下方。
[0022]作为优选技术方案，所述升降装置为电动直线驱动器。
[0023]作为优选技术方案，硅片花篮架上设有开口向上的硅片花篮卡槽，硅片花篮插入硅片花篮卡槽内。
[0024]硅片清洗装置，包括顶面为水平面的可转动环状输送装置，可转动环状输送装置上连接有若干升降装置，升降装置的底端连接有上述任意一可使硅片旋转的清洗架，部分可使硅片旋转的清洗架下方各设有清洗槽，其优点是可以流水作业。
[0025]本技术可使硅片旋转的清洗架的有益效果是：在驱动电机的作用下，可以使硅片在硅片花篮内旋转，当硅片花篮进入清洗槽时，清洗液与硅片相对运动，清晰得比较彻底；转动棍的驱动装置位于连接管的内孔内，第一密封套的存在，防止清洗液进入连接管内，隔板、第二密封套，防止清洗液挥发组分进入第二空腔，延长了驱动电机的使用寿命；硅片花篮架纵向设置在连接管底端，操作空间大，只要把硅片花篮插入硅片花篮卡槽即完成安装，清洗完成后只要把硅片花篮拔出硅片花篮卡槽即可，安装硅片花篮方便；两转动棍位于硅片花篮底端，可以在硅片花篮内放置不同尺寸的硅片，均可以旋转清洗，特别适用于小批量、多种尺寸的硅片的清洗。
附图说明
[0026]图1是本技术可使硅片旋转的清洗架一较佳实施例的立体结构示意图。
[0027]图2是图1的B部分的局部放大图。
[0028]图3是图1的C部分的局部放大图。
[0029]图4是图3的D部分的局部放大图。
[0030]图5是图3的E部分的局部放大图。
[0031]图6是图1所示可使硅片旋转的清洗架沿A
‑
A
’
的剖视图。
[0032]图7是图6的F部分的局部放大图。
[0033]图8是图1所示可使硅片旋转的清洗架的右视图。
[0034]图9是图1所示可使硅片旋转的清洗架的正视图。
[0035]图10是图9所示可使硅片旋转的清洗架沿G
‑
G
’
的剖视图。
[0036]图11是图10的I部分的局部放大图。
[0037]图12是图10的H部分的局部放大图。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可使硅片旋转的清洗架，其特征在于：包括架体、驱动电机（2）、硅片花篮（7）；架体包括纵向设置的顶架（9）、垂直向设置的设有内孔（15）的连接管（10）、纵向设置的硅片花篮架（1），连接管（10）的底端与硅片花篮架（1）的后端相连，连接管（10）的顶端与顶架（9）相连，驱动电机（2）设置在顶架（9）上连接管（10）的正上方；连接管（10）的底端设有底板（11）；所述连接管（10）的内孔（15）的横截面呈长方形；硅片花篮架（1）上纵向设有两平行的转动棍（4），连接管（10）底端前侧面的左、右两端各纵向设有转动棍安装孔，两转动棍（4）分别插入一转动棍安装孔内；各转动棍（4）的连接管（10）内孔（15）内设有链轮（12），两链轮（12）通过第二传动链条（5）相连，第二传动链条（5）所在平面垂直于两转动棍（4）；驱动电机（2）的后端设有主动轮（13），两转动棍（4）中，其中一转动棍（4）的连接管（10）内孔（15）内设有设有被动轮（14），驱动电机（2）上设有主动轮（13），主动轮（13）、被动轮（14）所在平面垂直于两转动棍（4）；主动轮（13）与从动轮通过第一传动链条（6）相连；第一传动链条（6）的下端位于连接管（10）的内孔（15）内；各转动棍（4）与连接管（10）内孔（15）之间设有第一密封套（16）；顶架（9）的连接管（10）前侧面正上方设有垂直于两转动棍（4）的隔板（17），顶架（9）上隔板（17）的后侧设有第一空腔（18），顶架（9）上隔板（17）的前侧设有第二空腔（19）；连接管（10）的顶端与所述第一空腔（18）的底面连通；隔板（17）上设有垂直于隔板（17）的电机轴安装孔，驱动电机（2）安装在第二空腔（19）；驱动电机（2）纵向设有驱动轴（20），驱动电机（2）的驱动轴（20）穿过所述电机轴安装孔，主动轮（13）安装在驱动轴（20）上且位于的第一空腔（18）内；第一传动链条（6）的上端位于第一空腔（18）内；电机轴安装孔与驱动电机（2）的驱动轴（20）之间设有第二密封套（21）；硅片花篮架（1）上安装有硅片花篮（7），硅片花篮（7）上设有若干垂直于两硅片两转动棍（4）的硅片插槽（22），当...
【专利技术属性】
技术研发人员：马玉水，
申请(专利权)人：山东联盛电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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