一种防晶圆污染保护提篮制造技术

本实用新型专利技术公开了晶圆转移移动领域内的一种防晶圆污染保护提篮，包括两块相互平行的侧立座板，两块所述保护挡板的底部设置有两根左右对应的固定支撑条，固定支撑条的前后两端分别与两块保护挡板相固定，固定支撑条的上侧设置有限位面，所述保护挡板上部的左右两侧均开设有边角槽，两个所述侧立座板上均铰接有一限位挡杆，限位挡杆外周套设有减磨保护套，限位挡杆的前后两端均设置有L形安装部，两个安装部分别与侧立座板的前后两侧相铰接，前侧的所述安装部上固定连接有转动把手，保护挡板上对应螺纹套设置有固定座，固定螺栓穿过螺纹套与对应固定座螺纹连接。本实用新型专利技术开关限位挡杆时不会碰撞产生金属颗粒，不影响晶圆或者IC的产品品质。的产品品质。的产品品质。

A protective basket against wafer contamination

【技术实现步骤摘要】
一种防晶圆污染保护提篮


[0001]本技术属于晶圆转移移动领域，特别涉及一种防晶圆污染保护提篮。

技术介绍

[0002]现有技术中，有一种晶圆清洗提篮，其专利申请号：201520486277.X；申请日：2015
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07；公开号：204720430U；公开日：2015
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21；包括两个侧板、至少两根上支杆和两个提杆；两个所述侧板平行间隔设置；所述上支杆连接在两个所述侧板之间；所述提杆包括一个横杆部和两个竖杆部；所述横杆部的两端分别与两个所述竖杆部连接；两个所述竖杆部分别与两个所述侧板转动连接，所述竖杆部的旋转平面与所述侧板的板面平行。该提篮可以一次拿取多个晶圆进行清洗，清洗效率得到提高；但是该提篮是用于清洗晶圆的，对晶圆的保护效果较差，并不适用于生产过程中转移晶圆。
[0003]目前有一种带卡扣的提篮，来料晶圆经过切割后放置于该提篮内，卡扣设计为该提篮的锁紧固定装置，防止晶圆从提篮内滑出；但是其不足之处在于：卡扣设计为金属材质，提篮本身也是金属材质，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防晶圆污染保护提篮，包括两块相互平行的侧立座板，侧立座板竖直设置，侧立座板底部设置有支撑面，两块侧立座板之间竖直设置有两块前后对应的保护挡板，其特征在于，两块所述保护挡板的底部设置有两根左右对应的固定支撑条，固定支撑条的前后两端分别与两块保护挡板相固定，固定支撑条的上侧设置有限位面，所述保护挡板上部的左右两侧均开设有边角槽，两个所述侧立座板上均铰接有一限位挡杆，限位挡杆外周套设有减磨保护套，限位挡杆的前后两端均设置有L形安装部，两个安装部分别与侧立座板的前后两侧相铰接，限位挡杆与两块保护挡板上相靠近的两个边角槽相对应设置，前侧的所述安装部上固定连接有转动把手，转动把手端部设有螺纹套，所述保护挡板上对应螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂可嘉，刘明群，赵原，解兰翔，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：