一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备制造技术

实用新型专利技术属于镀膜设备技术领域，具体的说是一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备，包括装置主体和连接杆，所述装置主体的内部安装有门板，且装置主体的底部开设有底槽，所述底槽的内部安装有连接轴，且连接轴的上方安装有底板。本实用新型专利技术通过设置有第二齿轮与第一齿轮相互啮合，从而使得第一齿轮能够被第一转轴带动转动，第一齿轮就会带动第二齿轮在装置的内部进行转动，在转动的过程中链条也会被带动转动，由于链条与安装夹之间相互啮合，因此安装夹就会在装置的内部与顶板发生相对转动，就能够使安装夹下方安装的镀膜物料在装置的内部被顶板带动整体转动的过程中也能够进行单独的转动，因此就能够实现双面交替镀膜。替镀膜。替镀膜。

A double-sided magnetron sputtering vacuum coating equipment capable of alternating and repeated coating on both sides

【技术实现步骤摘要】
一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜设备
，具体是一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射，溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜，通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶材，击出阴极靶材原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。
[0003]现有的镀膜设备在使用过程中不方便对需要镀膜的材料进行翻面交替镀膜，因此需要装置对材料进行两次镀膜才能够实现不同面的镀膜，过程复杂。
[0004]因此，针对上述问题提出一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足，解决现有的镀膜设备在使用过程中不方便对需要镀膜的材料进行翻面交替镀膜，因此需要装置对材料进行两次镀膜才能够实现不同面的镀膜，过程复杂的问题，本技术提出一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备，包括装置主体和连接杆，所述装置主体的内部安装有门板，且装置主体的底部开设有底槽，所述底槽的内部安装有连接轴，且连接轴的上方安装有底板，所述连接杆安装于底板的上方，且连接杆的外部开设有内槽，所述内槽的后方安装有镀膜板，且镀膜板的上方安装有顶板，所述顶板的内部安装有安装夹，且安装夹的内部安装有挡板，所述挡板的上方安装有驱动机构，且驱动机构的内部安装有第一转轴，所述第一转轴的上方安装有上转轴，且上转轴的外部开设有顶槽，所述顶槽的内部安装有滑块，且顶槽的上方安装有电机。
[0007]优选的，所述底板通过连接轴与底槽之间构成转动结构，且底板与连接杆之间为固定连接。
[0008]优选的，所述顶板通过上转轴与电机之间构成转动结构，且顶板与底板之间相互平行。
[0009]优选的，所述连接杆通过滑块与顶槽之间的配合与装置主体构成转动结构，且连接杆通过滑块与顶槽之间构成滑动结构。
[0010]优选的，所述驱动机构包括第一齿轮、第二齿轮和链条，所述第一齿轮的右侧安装有第二齿轮，且第二齿轮的外部安装有链条。
[0011]优选的，所述第二齿轮通过第一齿轮构成转动结构，且链条通过第二齿轮构成转
动结构，并且第二齿轮与安装夹之间相互啮合。
[0012]本技术的有益之处在于：
[0013]1.本技术通过设置有第二齿轮与第一齿轮相互啮合，从而使得第一齿轮能够被第一转轴带动转动，第一齿轮就会带动第二齿轮在装置的内部进行转动，在转动的过程中链条也会被带动转动，由于链条与安装夹之间相互啮合，因此安装夹就会在装置的内部与顶板发生相对转动，就能够使安装夹下方安装的镀膜物料在装置的内部被顶板带动整体转动的过程中也能够进行单独的转动，因此就能够实现双面交替镀膜；
[0014]2.本技术通过设置有顶板通过上转轴进行转动，从而使得顶板能够通过上转轴在被电机带动在装置的内部进行转动，然后就能够带动顶板下方安装的需要镀膜的材料进行转动，使用者在将需要镀膜的材料安装在安装夹下方时，带动材料在装置的内部进行转动。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0016]图1为实施例一立体的结构示意图；
[0017]图2为实施例一剖视的结构示意图；
[0018]图3为实施例二驱动机构的结构示意图。
[0019]图中：1、装置主体；2、门板；3、底槽；4、连接轴；5、底板；6、连接杆；7、内槽；8、镀膜板；9、顶板；10、安装夹；11、挡板；12、驱动机构；1201、第一齿轮；1202、第二齿轮；1203、链条；13、第一转轴；14、上转轴；15、顶槽；16、电机；17、滑块。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例一
[0022]请参阅图1
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2所示，一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备，包括装置主体1和连接杆6，装置主体1的内部安装有门板2，且装置主体1的底部开设有底槽3，底槽3的内部安装有连接轴4，且连接轴4的上方安装有底板5，连接杆6安装于底板5的上方，且连接杆6的外部开设有内槽7，内槽7的后方安装有镀膜板8，且镀膜板8的上方安装有顶板9，顶板9的内部安装有安装夹10，且安装夹10的内部安装有挡板11，挡板11的上方安装有驱动机构12，且驱动机构12的内部安装有第一转轴13，第一转轴13的上方安装有上转轴14，且上转轴14的外部开设有顶槽15，顶槽15的内部安装有滑块17，且顶槽15的上方安装有电机16。
[0023]底板5通过连接轴4与底槽3之间构成转动结构，且底板5与连接杆6之间为固定连接，从而使得底板5能够通过连接轴4在底槽3的内部进行转动，从而能够带动底板5上方的
连接杆6在装置的内部进行转，能够维持底板5的稳定性，保证装置在转动的过程中的稳定性。
[0024]顶板9通过上转轴14与电机16之间构成转动结构，且顶板9与底板5之间相互平行，从而使得顶板9能够通过上转轴14在被电机16带动在装置的内部进行转动，然后就能够带动顶板9下方安装的需要镀膜的材料进行转动，使用者在将需要镀膜的材料安装在安装夹10下方时，带动材料在装置的内部进行转动。
[0025]连接杆6通过滑块17与顶槽15之间的配合与装置主体1构成转动结构，且连接杆6通过滑块17与顶槽15之间构成滑动结构，从而使得连接杆6能够通过滑块17在顶槽15的内部滑动从而在装置的内部进行转动，方便维持装置在转动过程中的稳定性。
[0026]实施例二
[0027]请参阅图3所示，对比实施例一，作为实施例一的补充实施方式，驱动机构12包括第一齿轮1201、第二齿轮1202和链条1203，第一齿轮1201的右侧安装有第二齿轮1202，且第二齿轮1202的外部安装有链条1203。
[0028]第二齿轮1202通过第一齿轮1201构成转动结构，且链条1203通过第二齿轮1202构成转动结构，并且第二齿轮1202与安装夹10之间相互啮合，从而使得第一齿轮1201能够被第一转轴13带动转动，第一齿轮1201就会带动第二齿轮1202在装置的内部进行转动，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备，其特征在于：包括装置主体(1)和连接杆(6)，所述装置主体(1)的内部安装有门板(2)，且装置主体(1)的底部开设有底槽(3)，所述底槽(3)的内部安装有连接轴(4)，且连接轴(4)的上方安装有底板(5)，所述连接杆(6)安装于底板(5)的上方，且连接杆(6)的外部开设有内槽(7)，所述内槽(7)的后方安装有镀膜板(8)，且镀膜板(8)的上方安装有顶板(9)，所述顶板(9)的内部安装有安装夹(10)，且安装夹(10)的内部安装有挡板(11)，所述挡板(11)的上方安装有驱动机构(12)，且驱动机构(12)的内部安装有第一转轴(13)，所述第一转轴(13)的上方安装有上转轴(14)，且上转轴(14)的外部开设有顶槽(15)，所述顶槽(15)的内部安装有滑块(17)，且顶槽(15)的上方安装有电机(16)。2.根据权利要求1所述的一种能双面交替重复镀膜的双面磁控溅射真空镀膜设备，其特征在于：所述底板(5)通过连接轴(4)与底槽(3)之间构成转动结构，且底板(5)与连接杆(6)之间为固定连接。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新岳，
申请(专利权)人：光阳模具制品深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：