一种电弧离子镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电弧离子镀膜装置，包括电弧离子镀膜机主体和驱动组件，所述电弧离子镀膜机主体上方左侧设置有用于减轻工作人员工作程序的驱动组件，所述驱动组件包括伺服电机、驱动轴、第一扇形齿轮、第二扇形齿轮、连接轴、转动块、底座、扇形槽和滚动珠，所述伺服电机左侧中心位置设置有驱动轴，且驱动轴另一侧设置有第一扇形齿轮，所述第一扇形齿轮下方啮合连接有第二扇形齿轮。该电弧离子镀膜装置通过驱动组件，可以便捷对内部的物料进行拿取或放置，有效的减少工作人员的工作程序，增加该装置自身功能性，通过防漏组件，防止真空泵在抽出内部气体时，因为密封性不佳，导致内部物件镀膜效率降低，增加该装置自身实用性。增加该装置自身实用性。增加该装置自身实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种电弧离子镀膜装置


[0001]本技术涉及离子镀领域，具体为一种电弧离子镀膜装置。

技术介绍

[0002]离子镀技术。它是在蒸发镀膜的同时,用来源于等离子体的离子轰击膜层。多种蒸镀离子镀技术在70年代相继实用化。其中有空心阴极离子镀、热丝电弧离子镀和阴极电弧离子镀，随着时代的发展，科学的技术也同样得到了高速的提升，现如今越来越多的科学技术被发现，而且逐渐的被广泛的使用，像离子束表面改性技术可以彻底改变，颠覆传统的电镀等污染特点，而且改性之后的基体表面无氧化，无变形、保持高精度的特点，还有几乎不改变改性产品的尺寸精度和粗糙度，大幅度的提升耐腐蚀耐磨等性能，因此这样的技术在多个领域都能得到广泛的应用，但是像现有的离子镀膜机也仅仅是为一些基片进行镀膜。
[0003]现有的电弧离子镀膜装置存在开关门时过于费力的问题，镀膜机自身的防护门一般为了气闭性好，自身的重量较高，工作人员在对其进行开启或关闭时，需要使用较大的力气，增加了人员工作量，降低了自身便捷性，针对上述问题，在现有的装置基础上进行技术创新。

技术实现思路
/>[0004]本技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电弧离子镀膜装置，包括电弧离子镀膜机主体(1)和驱动组件(4)，其特征在于，所述电弧离子镀膜机主体(1)上方左侧设置有用于减轻工作人员工作程序的驱动组件(4)，所述驱动组件(4)包括伺服电机(401)、驱动轴(402)、第一扇形齿轮(403)、第二扇形齿轮(404)、连接轴(405)、转动块(406)、底座(407)、扇形槽(408)和滚动珠(409)，所述伺服电机(401)左侧中心位置设置有驱动轴(402)，且驱动轴(402)另一侧设置有第一扇形齿轮(403)，所述第一扇形齿轮(403)下方啮合连接有第二扇形齿轮(404)，且第二扇形齿轮(404)中心位置设置有连接轴(405)，所述电弧离子镀膜机主体(1)外部下方设置有底座(407)，且电弧离子镀膜机主体(1)上方表面开设有扇形槽(408)，所述扇形槽(408)内部设置有滚动珠(409)。2.根据权利要求1所述的一种电弧离子镀膜装置，其特征在于，所述第一扇形齿轮(403)与伺服电机(401)转动连接，且第一扇形齿轮(403)与第二扇形齿轮(404)为垂直分布。3.根据权利要求1所述的一种电弧离子镀膜装置，其特征在于，所述电弧离子镀膜机主体(1)内部设置有支架(2)，所述电弧离子镀膜机主体(1)外部上方设置有真空泵(3)，所述电弧离子镀膜机主体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新岳，
申请(专利权)人：光阳模具制品深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：