一种新型PTM真空腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型PTM真空腔体，涉及PTM腔体技术领域，其包括PTM腔体、传动机构和固定机构，所述PTM腔体的外侧开设有多个安装孔，每个所述安装孔内均等间距开设有多个固定孔，所述固定孔内设置有固定螺杆。本实用新型专利技术中当固定螺杆被旋入固定孔内后，通过推动板驱动传动板和驱动齿条，并通过传动齿轮驱动固定齿条的方式可使固定头固定被推动至推动板的顶部，可在固定螺杆被旋入固定孔内后，能够被牢固固定，解决了目前PTM腔体上安装的输送管大多是通过螺母将其与PTM腔体固定，固定用的螺纹可能会因PTM腔体运作时产生的震动而导致螺母转动，进而导致PTM腔体上安装的输送管不够牢固的技术问题。管不够牢固的技术问题。管不够牢固的技术问题。

A new PTM vacuum chamber

【技术实现步骤摘要】
一种新型PTM真空腔体


[0001]本技术涉及PTM腔体
，特别是一种新型PTM真空腔体。

技术介绍

[0002]离子注入机的作业平台，其包括多个纵向串列式分布的大气腔室和真空腔室，分别为大气硅片传输模块(EFEM)、与EFEM相连的两个预抽真空装置(Loadlock)、与两个与抽真空装置相连的真空硅片传输模块(VTM)以及与VTM相连的工艺处理模块(PTM)，其中在硅片加工过程中用到的PTM腔体用于在真空状态下采用离子束对硅片进行加工，它是一种工艺处理模块。
[0003]在硅片的加工过程中，一般会根据所需装置的体积选择适用的输送管，但是目前PTM腔体上安装的输送管大多是通过螺母将其与PTM腔体固定，这就导致了在将PTM腔体外安装的输送管在PTM腔体产时间运转时，固定用的螺纹可能会因PTM腔体运作时产生的震动而导致螺母转动，进而导致PTM腔体上安装的输送管不够牢固。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述问题，设计了一种新型PTM真空腔体。
[0005]实现上述目的本技术的技术方案为，一种新型PT本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型PTM真空腔体，其特征在于，包括PTM腔体(1)、传动机构和固定机构，所述PTM腔体(1)的外侧开设有多个安装孔(2)，每个所述安装孔(2)内均等间距开设有多个固定孔(3)，所述固定孔(3)内设置有固定螺杆(5)，所述传动机构位于固定螺杆(5)的外侧，所述固定机构位于传动机构内。2.根据权利要求1所述的一种新型PTM真空腔体，其特征在于，所述传动机构包括推动板(6)，所述推动板(6)固定安装在固定螺杆(5)的外侧，所述固定孔(3)的内侧壁对称开设有两个安装腔(7)，每个所述安装腔(7)内均固定安装有导向杆(8)，每个所述导向杆(8)的外侧均滑动连接有传动板(9)，每个所述传动板(9)的一侧均固定安装有驱动齿条(10)，每个所述安装腔(7)内均设置有转轴(11)，每个所述转轴(11)的外侧均固定安装有传动齿轮(12)，且每个所述传动齿轮(12)均与驱动齿条(10)啮合。3.根据权利要求1所述的一种新型PTM真空腔体，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：桑春峰，
申请(专利权)人：兆默真空设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：