本发明专利技术涉及墨滴滴中状态测量装置及测量方法。提供一种测量墨滴的滴中状态的装置。在一实施例中，墨滴滴中状态测量装置包括：喷嘴头单元，其用于通过喷墨方式向基板排放墨滴；喷嘴检查单元，其用于检查从喷嘴头单元排放并且滴中于基板的墨滴的状态；其中，该喷嘴检查单元包括：线扫描摄像头，其扫描基板、并且获得被滴中墨滴的基板的图像作为第一图像；区域摄像头，其扫描基板、并且获得被滴中墨滴的基板的图像作为第二图像；数据分析部，其用于接收从线扫描摄像头和区域摄像头拍摄的第一图像和第二图像的拍摄数据、并且通过分析拍摄数据判断滴中于基板的墨滴的缺陷存在与否。判断滴中于基板的墨滴的缺陷存在与否。判断滴中于基板的墨滴的缺陷存在与否。
【技术实现步骤摘要】
墨滴滴中状态测量装置及测量方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年12月30日提交韩国专利局的韩国专利申请号10
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2020
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0187528的优先权和权益，该专利申请的全部内容通过引用并入本文。
[0003]本专利技术涉及一种墨滴滴中状态测量装置及测量方法。
技术介绍
[0004]随着喷墨技术的发展，从办公用途到电子材料的排放等电子部件及显示器制造的应用范围逐渐扩大。随着喷墨作为制造工艺扩大应用范围，需要通过墨滴(droplet)的精密控制及速度测量等，以波形进行控制的技术。另外，在多喷嘴(multi
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nozzle)头的情况下，需要使各喷嘴的墨水排放量精确相同。这样对各喷嘴的喷墨排放特性均匀，才能使显示器或通过喷墨工艺制造的元件的特性保持不变，提高产品的质量。
[0005]在喷墨排放特性的检查中，在墨滴滴落至基板的状态下，对滴落位置及滴落量等进行检查。因为在墨滴的滴落过程中，需要检测部分墨滴的排放不正常的情况或墨滴不按规定的墨滴滴落模式滴落的情况等墨水不正确滴落的情况。
技术实现思路
[0006][要解决的技术问题][0007]本专利技术的目的在于，提供一种能够有效检查基板的墨滴滴中状态测量装置及测量方法。
[0008]本专利技术的另一目的在于，提供一种在提高墨滴滴中状态的检查的测量准确度的同时，缩短测量所需的时间以提高生产性的墨滴滴中状态测量装置及测量方法。
[0009]本专利技术目的不限于此，而对于本领域技术人员而言，未提及的其他目的可通过下面的记载将变得更加明了。
[0010][解决技术问题的技术手段][0011]本专利技术提供一种测量墨滴的滴中状态的装置。在一实施例中，一种墨滴滴中状态测量装置，其包括：喷嘴头单元，其用于通过喷墨方式向基板排放墨滴；喷嘴检查单元，其用于检查从所述喷嘴头单元排放并且滴中于所述基板的墨滴的状态；其中，所述喷嘴检查单元包括：线扫描摄像头，其扫描所述基板、并且获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第一图像；区域摄像头，其扫描所述基板、并且获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第二图像；数据分析部，其用于接收从所述线扫描摄像头和所述区域摄像头拍摄的所述第一图像和所述第二图像的拍摄数据、并且通过分析所述拍摄数据判断滴中于所述基板的所述墨滴的缺陷存在与否。
[0012]在一实施例中，所述数据分析部基于从所述区域摄像头获得的对第一基板的第二图像导出的所述墨滴的滴中坐标，校正所述线扫描摄像头获得的对所述第一基板的第一图
像。
[0013]在一实施例中，所述数据分析部保存根据校正的校正值，基于所述校正值，校正所述线扫描摄像头获得的对第二基板的第二图像。
[0014]在一实施例中，所述缺陷存在与否可通过所述墨滴的滴中位置的准确与否进行判断。
[0015]在一实施例中，所述喷嘴头单元包括多个喷嘴，所述多个喷嘴向所述基板滴中多个墨滴。
[0016]在一实施例中，所述缺陷存在与否可通过所述墨滴的滴中位置的准确与否进行判断；在所述墨滴的位置超出正常滴中位置的情况下，在所述多个喷嘴中，将与超出所述正常滴中位置的所述墨滴对应的喷嘴判定为存在缺陷。
[0017]在一实施例中，所述数据分析部基于从所述区域摄像头获得的对第一基板的第二图像导出的所述墨滴的滴中坐标，对所述第一图像的第一轴方向及与所述第一轴垂直的第二轴方向，执行按比例进行线性校正的第一校正。
[0018]在一实施例中，所述数据分析部在执行所述第一校正之后，按区间采样从所述线扫描摄像头获得的对第一基板的所述第一图像和所述区域摄像头获得对所述第一基板的所述第二图形导出的图像；基于所述采样的图像，对执行所述第一校正的第一图像进行一维线性校正。
[0019]在一实施例中，所述墨滴为在液晶、培养液或溶剂中混合颜料离子的墨水。
[0020]在一实施例中，所述基板为作为测试用基板提供的透光的玻璃。
[0021]本专利技术提供一种在测量从通过喷墨方式向基板上排放墨滴的喷嘴头单元排放并且滴中于所述基板的墨滴的状态的方法。在一实施例中，一种墨滴滴中状态测量方法，其包括：利用线扫描摄像头扫描所述基板，以获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第一图像的步骤；利用区域摄像头扫描所述基板，以获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第二图像的步骤；及接收从所述线扫描摄像头和所述区域摄像头拍摄的所述第一图像和所述第二图像的拍摄数据，通过处理和分析所述拍摄数据判断滴中于所述基板的所述墨滴的缺陷存在与否的步骤。
[0022]在一实施例中，所述拍摄数据的处理为基于从所述区域摄像头获得的对第一基板的第二图像导出的所述墨滴的滴中坐标，校正所述线扫描摄像头获得的对所述第一基板的第一图像。
[0023]在一实施例中，保存根据校正的校正值，基于所述校正值，校正所述线扫描摄像头获得的对第二基板的第二图像。
[0024]在一实施例中，所述缺陷存在与否可通过所述墨滴的滴中位置的准确与否进行判断。
[0025]在一实施例中，所述喷嘴头单元包括多个喷嘴，所述多个喷嘴向所述基板滴中多个墨滴。
[0026]在一实施例中，所述缺陷存在与否可通过所述墨滴的滴中位置的准确与否进行判断；在所述墨滴的位置超出正常滴中位置的情况下，在所述多个喷嘴中，将与超出所述正常滴中位置的所述墨滴对应的喷嘴判定为存在缺陷。
[0027]在一实施例中，所述拍摄数据的处理为基于从所述区域摄像头获得的对第一基板
的第二图像导出的所述墨滴的滴中坐标，对所述第一图像的第一轴方向及与所述第一轴垂直的第二轴方向，执行按比例进行线性校正的第一校正。
[0028]在一实施例中，在执行所述第一校正之后，按区间采样从所述线扫描摄像头获得的对第一基板的所述第一图像和所述区域摄像头获得对所述第一基板的所述第二图形导出的图像；基于所述采样的图像，对执行所述第一校正的第一图像进行一维线性校正。
[0029]在一实施例中，所述墨滴为在液晶、培养液或溶剂中混合颜料离子的墨水；所述基板为作为测试用基板提供的透光的玻璃。
[0030]根据本专利技术另一观点的墨滴滴中状态测量装置，其包括：喷嘴头单元，其用于通过喷墨方式向基板排放墨滴；喷嘴检查单元，其用于检查从所述喷嘴头单元排放并且滴中于所述基板的墨滴的状态；其中，所述喷嘴检查单元包括：线扫描摄像头，其扫描所述基板、并且获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第一图像；区域摄像头，其扫描所述基板、并且获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第二图像；数据分析部，其用于接收从所述线扫描摄像头和所述区域摄像头拍摄的所述第一图像和所述第二图像的拍摄数据，通过分析所述拍摄数据判断滴中于所述基板的所述墨滴的缺陷存在与否；所述数据分析部基于从所述区域摄像头获得的对第一基板的第二图像导出的所述墨滴的滴中坐标，校正所述线扫描摄像头获得的对所述第一基板的第一图像；保存根据校正的校正值，基于所述校正本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种墨滴滴中状态测量装置，其包括：喷嘴头单元，其用于通过喷墨方式向基板排放墨滴；和喷嘴检查单元，其用于检查从所述喷嘴头单元排放并且滴中于所述基板的墨滴的状态；其中，所述喷嘴检查单元包括：线扫描摄像头，其扫描所述基板、并且获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第一图像；区域摄像头，其扫描所述基板、并且获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第二图像；数据分析部，其用于接收从所述线扫描摄像头和所述区域摄像头拍摄的所述第一图像和所述第二图像的拍摄数据、并且通过分析所述拍摄数据判断滴中于所述基板的所述墨滴的缺陷存在与否。2.根据权利要求1所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述数据分析部基于从所述区域摄像头获得的对第一基板的第二图像导出的所述墨滴的滴中坐标，校正所述线扫描摄像头获得的对所述第一基板的第一图像。3.根据权利要求2所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述数据分析部保存根据校正的校正值，基于所述校正值，校正所述线扫描摄像头获得的对第二基板的第二图像。4.根据权利要求1所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述缺陷存在与否能够通过所述墨滴的滴中位置的准确与否进行判断。5.根据权利要求1所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述喷嘴头单元包括多个喷嘴，所述多个喷嘴用于向所述基板滴中多个墨滴。6.根据权利要求5所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述缺陷存在与否能够通过所述墨滴的滴中位置的准确与否进行判断；在所述墨滴的位置超出正常滴中位置的情况下，在所述多个喷嘴中，将与超出所述正常滴中位置的所述墨滴对应的喷嘴判定为存在缺陷。7.根据权利要求1所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述数据分析部基于从所述区域摄像头获得的对第一基板的第二图像导出的所述墨滴的滴中坐标，对所述第一图像的第一轴方向、以及与所述第一轴垂直的第二轴方向，执行按比例进行线性校正的第一校正。8.根据权利要求7所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述数据分析部在执行所述第一校正之后，按区间采样从所述线扫描摄像头获得的对第一基板的所述第一图像和所述区域摄像头获得对所述第一基板的所述第二图形导出的图像；基于所述采样的图像，对执行所述第一校正的第一图像进行一维线性校正。9.根据权利要求1所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述墨滴为在液晶、培养液或溶剂中混合颜料离子的墨水。10.根据权利要求1所述的墨滴滴中状态测量装置，其特征在于：所述基板为作为测试用基板提供的透光的玻璃。11.一种墨滴滴中状态测量方法，在测量从通过喷墨方式向基板排放墨滴的喷嘴头单
元排放并且滴中于所述基板的墨滴的状态的方法中，包括：利用线扫描摄像头扫描所述基板，以获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第一图像的步骤；利用区域摄像头扫描所述基板，以获得被滴中所述墨滴的所述基板的图像作为第二图像的步骤；以及接收从所述线扫描摄像头和所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李焌硕，张润玉，吴凡政，李炫玟，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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