【技术实现步骤摘要】
固持装置
[0001]本申请涉及一种固持装置,特别是一种适用于固持半导体物料的固持装置。
技术介绍
[0002]在现有的半导体生产过程中,部分的半导体物料会被设置于一固持装置中,此种固持装置包含一底板、两个螺杆、两个螺帽及一固定板,底板设置有两个螺杆,固定板的两个穿孔穿过两个螺杆设置,两个螺帽用以锁固于两个螺杆。
[0003]此种固持装置的使用流程为:
[0004]步骤一:相关人员先旋转两个螺帽,以使两个螺帽离开两个螺杆;
[0005]步骤二:使固定板离开两个螺杆;
[0006]步骤三:将半导体物料设置于底板上;
[0007]步骤四:使固定板的两个穿孔套设于两个螺杆;
[0008]步骤五:使两个螺帽锁固于两个螺杆上,并使各个螺帽紧密地抵靠于固定板,而使固定板与底板共同固持半导体物料。
[0009]上述现有固持装置的使用流程,在实际应用中,相关人员必须花费大量的时间在拆、装螺帽,且被拆离螺杆的螺帽很容易遗失。是以,现有的固持装置存在有使用上不方便的问题。
技术实现思路
[0010]本申请公开一种固持装置,主要用以改善习知用来固持半导体物料的固持装置,存在有使用不方便的问题。
[0011]本申请的其中一个实施例公开一种固持装置,其包含:一基座,其用以承载一待固持物;至少两个导引构件,其彼此间隔地设置于基座,各个导引构件包含多个卡合结构;一活动件,其包含两个通口,两个通口用以提供两个导引构件穿设;活动件能被操作而沿两个导引构件,相对于基座移动; ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种固持装置,其特征在于,所述固持装置包含:一基座,其用以承载一待固持物;至少两个导引构件,其彼此间隔地设置于所述基座,各个所述导引构件包含多个卡合结构;一活动件,其包含两个通口,两个所述通口用以提供两个所述导引构件穿设;所述活动件能被操作而沿两个所述导引构件,相对于所述基座移动;至少两个限位机构,其中一个所述限位机构与其中一个所述导引构件及所述活动件的一端相连接,另一个所述限位机构与另一个所述导引构件及所述活动件的另一端相连接,各个所述限位机构包含:至少一限位件,其能与相邻的所述导引构件的其中一个所述卡合结构相互卡合;至少一弹性回复组件,其与所述限位件相连接;一操作组件,其能被操作而于一解除状态及一限制状态两者之间转换;其中,当所述操作组件被操作,而由所述限制状态转换为所述解除状态时,所述操作组件将带动所述限位件,而使所述限位件不再与相邻的所述卡合结构相互卡合,且所述弹性回复组件将受压而产生弹性回复力;其中,当所述操作组件不再被操作,而所述操作组件由所述解除状态转换为所述限制状态时,所述弹性回复组件受压所产生的弹性回复力,将带动所述限位件作动,而使所述限位件再次与相邻的所述卡合结构相互卡合。2.依据权利要求1所述的固持装置,其特征在于,各个所述限位机构还包含一本体及一辅助弹性回复件,所述限位件的一部分穿设于所述本体,所述弹性回复组件的一端固定于所述本体中,所述弹性回复组件的另一端固定于所述操作组件;其中,当所述操作组件被操作,而由所述限制状态转换为所述解除状态时,所述辅助弹性回复件将受压而产生弹性回复力;当所述操作组件不再被操作时,所述辅助弹性回复件受压所产生的弹性回复力,将带动所述操作组件,以使所述操作组件由所述解除状态转换为所述限制状态。3.依据权利要求2所述的固持装置,其特征在于,所述操作组件包含一操作件及至少一连杆,所述连杆枢接于所述本体,所述操作件包含一推抵部及一操作部,所述推抵部邻近所述连杆设置;所述连杆与所述限位件的一端相连接;当所述操作部被按压,而所述推抵部推抵所述连杆时,所述连杆将相对于所述本体旋转,且所述限位件将被所述连杆带动向远离所述卡合结构的方向移动,据以不再与所述卡合结构相互卡合,且所述弹性回复组件的一端将随所述限位件向远离所述卡合结构的方向移动,并据以产生弹性回复力。4.依据权利要求3所述的固持装置,其特征在于,所述固持装置还包含两个解锁组件及两个辅助限位组件,各个所述解锁组件与其中一个所述限位机构相连接,各个所述辅助限位组件设置于其中一个所述推抵部,而各个所述辅助限位组件能随其所连接的所述推抵部移动,且各个所述辅助限位组件能与相邻的所述本体的一本体限位结构相互卡合;各个所述辅助限位组件能与相邻的所述本体限位结构相互卡合,以共同限制所述推抵部相对于所述本体的活动范围,并使所述限位件保持不与相邻的所述卡合结构相互卡合;当所述操作件被操作,而所述推抵部推抵所述连杆时,所述辅助限位组件将随所述推抵部移动,而与所述本体限位结构相互卡合;当所述本体限位结构与所述辅助限位组件相互卡合时,所述解锁组件能被操作而连动所述辅助限位组件,以让所述辅助限位组件不再与所述本体限位结
构相互卡合。5.依据权利要求4所述的固持装置,其特征在于,各个所述本体限位结构为一穿孔,各个所述解锁组件包含一解锁抵顶件及一解锁弹性件,所述解锁抵顶件穿设于所述穿孔,且所述解锁抵顶件的一端穿出所述穿孔而邻近所述推抵部设置,所述解锁弹性件的一端与所述本体相互固定,所述解锁弹性件的另一端与所述解锁抵顶件相互固定;各个所述辅助限位组件包含一辅助限位弹性件及一辅助抵顶件,所述辅助限位弹性件的一端与所述推抵部相互固定,所述辅助限位弹性件的另一端与所述辅助抵顶件相互固定,所述辅助抵顶件的一部分露出于所述推抵部;当所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:张哲瑞,丁伟哲,
申请(专利权)人:盟立自动化股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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