本申请公开一种厂房跨区系统及其过渡装置。所述过渡装置用以设置在隔开两室的一隔间墙上，并且所述过渡装置包含一腔体及安装于所述腔体的一过滤模块。所述腔体的内部形成有一过渡通道，并且所述过渡通道的两端各具有一出入口。所述腔体以其中一个所述出入口用来对应于所述隔间墙的一连通孔。所述过滤模块连通至所述过渡通道。所述过滤模块能执行一换气过滤作业，用以持续自所述过渡装置的外部进行抽气、且经过滤而排气至所述过渡通道。据此，通过所述过滤模块的所述换气过滤作业，而能够有效地取代现有过渡装置所需采用的自动门，据以进一步优化厂房的产能。一步优化厂房的产能。一步优化厂房的产能。
【技术实现步骤摘要】
厂房跨区系统及其过渡装置
[0001]本申请涉及一种过渡装置，尤其涉及一种提高跨区效率的厂房跨区系统及其过渡装置。
技术介绍
[0002]现今安装于厂房内的过渡装置大都设有自动门，据以有效地区隔两个区域。然而，现有过渡装置因采用的自动门，所以整体成本较高，并且两个所述区域之间的物件输送需等待上述自动门的开关，因而使所述厂房的产能难以被进一步地提升。
[0003]于是，申请人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本申请。
技术实现思路
[0004]本申请目的在于提供一种厂房跨区系统及其过渡装置，其能有效地改善现有过渡装置所可能产生的缺陷。
[0005]本申请公开一种厂房跨区系统，其包括：一第一室与一第二室，其彼此相邻设置，并且第一室的一第一洁净度要求是低于第二室的一第二洁净度要求；一隔间墙，隔开第一室与第二室，并且隔间墙形成有连通第一室与第二室的一连通孔；一轨道模块，通过穿越连通孔而配置于第一室与第二室，用以供至少一台搬运车在其上移动；以及一过渡装置，设置于第一室且其位置对应于连通孔；其中，过渡装置包含：一腔体，其内部形成有一过渡通道，并且过渡通道的两端各具有一出入口；其中，腔体以其中一个出入口对应连通孔，并且轨道模块穿过过渡通道；及一过滤模块，安装于腔体并且连通至过渡通道；其中，过滤模块能执行一换气过滤作业，以持续对第一室进行抽气、且经过滤而排气至过渡通道。
[0006]可选地，过滤模块包含有多个风机过滤机组，并且多个风机过滤机组能同步对第一室进行抽气、且经过滤而排气至过渡通道。
[0007]可选地，过渡通道与第二室于连通孔所产生的一气压差，其能通过过滤模块持续执行换气过滤作业而维持在不大于0.5帕。
[0008]可选地，腔体包含有一底板、连接于底板的两个侧板、及连接两个侧板的一顶板；底板形成有多个孔洞，以使过渡通道能经由多个孔洞而连通至第一室；过滤模块安装于两个侧板与顶板的至少其中之一。
[0009]可选地，底板的多个孔洞具有不大于25％的一开孔率。
[0010]可选地，厂房跨区系统进一步包括有安装于隔间墙的至少一个气帘门，并且至少一个气帘门对应于连通孔设置。
[0011]可选地，当至少一台搬运车沿轨道模块而自第一室穿过过渡通道而移动至第二室时，过渡通道内的流场自一稳定状态被扰动成一扰乱状态，而过滤模块能对处于扰乱状态的流场执行换气过滤作业，以于一预设时间之内使流场回复至稳定状态。
[0012]本申请还公开一种厂房跨区系统的过渡装置，其用以设置在隔开两室的一隔间墙
上，并且过渡装置包括：一腔体，其内部形成有一过渡通道，并且过渡通道的两端各具有一出入口；其中，腔体以其中一个出入口用来对应于隔间墙的一连通孔；以及一过滤模块，安装于腔体并且连通至过渡通道；其中，过滤模块能执行一换气过滤作业，用以持续自过渡装置的外部进行抽气、且经过滤而排气至过渡通道。
[0013]可选地，腔体包含有一底板、连接于底板的两个侧板、及连接两个侧板的一顶板；底板形成有多个孔洞，以使过渡通道能经由多个孔洞而连通于外；过滤模块安装于两个侧板与顶板的至少其中之一。
[0014]可选地，底板的多个孔洞具有不大于25％的一开孔率。
[0015]综上所述，本申请所公开的厂房跨区系统，其通过在所述第一室安装有所述过渡装置，以通过所述过滤模块的所述换气过滤作业，而能够有效地取代现有过渡装置所需采用的自动门，据以避免气流自所述第一室经过所述过渡通道而流向所述第二室，并提升所述轨道模块与至少一台所述搬运车于所述第一室与所述第二室之间的物件搬运效率，并进一步优化厂房的产能。
[0016]为能更进一步了解本申请的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本申请的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本申请，而非对本申请的保护范围作任何的限制。
附图说明
[0017]图1为本申请实施例一的厂房跨区系统的立体示意图。
[0018]图2为图1另一视角的立体示意图。
[0019]图3为图1的侧视示意图。
[0020]图4为图1的剖视示意图。
[0021]图5为图4的搬运车自第一室移动进入过渡装置的剖视示意图。
[0022]图6为图5的搬运车自所述过渡装置移动进入第二室的剖视示意图。
[0023]图7为本申请实施例二的厂房跨区系统的立体示意图。
[0024]图8为图7的剖视示意图。
[0025]图9为本申请实施例三的厂房跨区系统的立体示意图。
[0026]图10为图10的剖视示意图。
[0027]图11为图10的另一剖视示意图。
具体实施方式
[0028]以下是通过特定的具体实施例来说明本申请所公开有关“厂房跨区系统及其过渡装置”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本申请的优点与效果。本申请可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本申请的构思下进行各种修改与变更。另外，本申请的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本申请的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本申请的保护范围。
[0029]应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实
际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0030]实施例一请参阅图1至图6所示，其为本申请的实施例一。本实施例公开一种厂房跨区系统100，其较佳是应用于一半导体厂房的洁净室(cleanroom)之中，但本申请不以此为限。其中，所述厂房跨区系统100包含有一第一室1、相邻于所述第一室1的一第二室2、隔开所述第一室1以及所述第二室2的一隔间墙3、贯穿所述隔间墙3的一轨道模块4、及设置于所述隔间墙3的一过渡装置5。
[0031]需额外说明的是，所述厂房跨区系统100于本实施例中是以所述第一室1、所述第二室2、所述隔间墙3、所述轨道模块4、及所述过渡装置5相互搭配来进行说明，但本申请不以此为限。举例来说，在本申请未绘示的其他实施例中，所述过渡装置5也可以依据设计需求而被单独地应用(如：贩卖)或是搭配其他构件使用。
[0032]于本实施例中，所述第一室1具有一第一洁净度要求，其低于所述第二室2的一第二洁净度要求，并且所述第一室1的气压也是低于所述第二室2的气压。举例来说，所述第一室1的所述第一洁净度要求可以是Class 100K，所述第一室1的所述第二洁净度要求则可以是Class 1K，并且所述第一室1的所述气压与所述第二室2的所述气压之间的压差可以是介于2帕(Pa)～5帕之间，但本申请不以此为限。
[0033]再者，所述隔间墙本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种厂房跨区系统，其特征在于，所述厂房跨区系统包括：一第一室与一第二室，其彼此相邻设置，并且所述第一室的一第一洁净度要求是低于所述第二室的一第二洁净度要求；一隔间墙，隔开所述第一室与所述第二室，并且所述隔间墙形成有连通所述第一室与所述第二室的一连通孔；一轨道模块，通过穿越所述连通孔而配置于所述第一室与所述第二室，用以供至少一台搬运车在其上移动；以及一过渡装置，设置于所述第一室且其位置对应于所述连通孔；其中，所述过渡装置包含：一腔体，其内部形成有一过渡通道，并且所述过渡通道的两端各具有一出入口；其中，所述腔体以其中一个所述出入口对应所述连通孔，并且所述轨道模块穿过所述过渡通道；及一过滤模块，安装于所述腔体并且连通至所述过渡通道；其中，所述过滤模块能执行一换气过滤作业，以持续对所述第一室进行抽气、且经过滤而排气至所述过渡通道。2.依据权利要求1所述的厂房跨区系统，其特征在于，所述过滤模块包含有多个风机过滤机组，并且多个所述风机过滤机组能同步对所述第一室进行抽气、且经过滤而排气至所述过渡通道。3.依据权利要求1所述的厂房跨区系统，其特征在于，所述过渡通道与所述第二室于所述连通孔所产生的一气压差，其能通过所述过滤模块持续执行所述换气过滤作业而维持在不大于0.5帕。4.依据权利要求1所述的厂房跨区系统，其特征在于，所述腔体包含有一底板、连接于所述底板的两个侧板、及连接两个所述侧板的一顶板；所述底板形成有多个孔洞，以使所述过渡通道能经由多个所述孔洞而连通至所述第一室；所述过滤模块安装于两个所述侧板与所述顶板的至少其中之一。5.依据权利要求4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志武，邱毓絜，吕强尼，
申请(专利权)人：盟立自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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