门栓开闭机构及料盒制造技术

本申请涉及半导体生产设备技术领域，尤其是涉及一种门栓开闭机构及料盒。该门栓开闭机构驱动机构包括驱动构件、曲柄滑块机构以及随动组件；驱动构件设置于面板，曲柄滑块机构包括滑块和连杆，滑块的两端分别与驱动构件和连杆相枢接，以使驱动构件通过滑块驱动连杆摆动；门栓通过随动组件枢接于面板，连杆与随动组件相连接，连杆能够通过随动组件带动门栓转动，以使门栓相对于面板在锁定状态与解锁状态之间枢转。该料盒包括该门栓开闭机构。该门栓开闭机构和料盒，门栓转动的启停以转动幅度均由驱动构件进行控制，因而对于门栓的旋转角度控制更加精准，将随动组件与曲柄滑块机构相结合，结构加工精度要求显著降低，降低了成本并提高了适用范围。提高了适用范围。提高了适用范围。

Door bolt opening and closing mechanism and material box

【技术实现步骤摘要】
门栓开闭机构及料盒


[0001]本申请涉及半导体生产设备
，尤其是涉及一种门栓开闭机构及料盒。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路支座所用的硅晶片，其形状为圆形，晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，从而尽可能地降低晶圆被污染的风险。
[0003]晶圆在搬运过程中需要机械手在晶圆盒中进行取放操作，该过程需要打开晶圆盒盖，并将晶圆盒盖移开。
[0004]目前，通常采用平面连杆机构对晶圆盒盖的门栓开启和关闭进行一一对应地控制，平面连杆机构对加工精度要求很高。此外，通常平面连杆机构的驱动件还作为驱动取料机械手的动力源使用，导致驱动件驱动门栓打开后，驱动晶圆盒盖移动至指定位置，然后需要等待机构携手工作完成后才能用于驱动晶圆盒盖关闭，晶圆盒盖实际敞开时长远大于所需要的敞开时长，导致晶圆长时间暴露后存在较高的被污染以及受振动划出的风险。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种门栓开闭机构及料盒，以在一定程度上解决现有技术中的门栓开启机构对于加工精度要求高，而且料盒开关不及时导致晶圆被污染的风险升高的技术问题。
[0006]本申请提供了一种门栓开闭机构，包括面板、门栓、驱动机构，所述驱动机构包括驱动构件、曲柄滑块机构以及随动组件；所述驱动构件设置于所述面板，所述曲柄滑块机构包括滑块和连杆，所述滑块的两端分别与所述驱动构件和所述连杆相枢接，以使所述驱动构件通过所述滑块驱动所述连杆摆动；
[0007]所述门栓通过所述随动组件枢接于所述面板，所述连杆与所述随动组件相连接，所述连杆能够通过所述随动组件带动所述门栓转动，以使所述门栓相对于面板在锁定状态与解锁状态之间枢转。
[0008]在上述技术方案中，进一步地，所述随动组件包括摆臂和随动转轴；
[0009]所述随动转轴的一端与所述连杆相枢接，所述随动转轴的另一端与所述摆臂相连接，所述摆臂与所述门栓相连接，以使所述门栓与所述摆臂能够相对于所述连杆同步枢转。
[0010]在上述任一技术方案中，进一步地，所述随动组件还包括涨紧套；
[0011]所述摆臂开设有安装孔，所述门栓的一端与所述面板相枢接，所述门栓的另一端穿设于所述安装孔内，所述门栓与所述安装孔之间形成环形楔槽，所述涨紧套套接于所述门栓的外侧并涨紧于所述环形楔槽内。
[0012]在上述任一技术方案中，进一步地，所述随动组件还包括轴承座和环形弹性限位件；
[0013]所述轴承座设置于所述面板，所述轴承座的内部开设有摆动空间，所述摆臂伸入到所述摆动空间内并与所述门栓相连接；
[0014]所述轴承座开设有转轴孔，所述门栓的另一端顺次穿过所述安装孔与所述转轴孔伸出所述轴承座；
[0015]所述门栓的另一端开设有环形定位槽，所述环形弹性限位件套设于所述门栓的外侧并卡接于所述环形定位槽内，且所述环形弹性限位件与所述轴承座的外侧壁相抵接。
[0016]在上述任一技术方案中，进一步地，所述连杆包括与所述滑块枢接的第一连杆以及与所述第一连杆相枢接的第二连杆；
[0017]所述门栓的数量为多个，所述随动组件的数量为多个，多个所述随动组件与多个所述门栓一一对应地连接，多个所述随动组件分别与所述第二连杆相连接，多个所述随动组件与所述第二连杆的枢接点沿所述第二连杆的长度方向顺次间隔排布。
[0018]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第二连杆包括一体成型的第一杆部和第二杆部，所述第一连杆为直杆，所述第一连杆的一端与所述滑块相枢接，所述第一连杆的另一端与所述第一杆部连接；
[0019]所述第一连杆和所述第一杆部的枢接点与所述第一连杆和所述滑块的连接点的连线为滑块轴线，在所述门栓与所述面板相锁定的情况下，所述滑块轴线与所述第二杆部相平行。
[0020]在上述任一技术方案中，进一步地，所述门栓开闭机构还包括竖直定位构件，所述竖直定位构件呈与所述面板相平行的板状，所述竖直定位构件开设有多个定位插槽。
[0021]在上述任一技术方案中，进一步地，所述第二连杆设置有限位凸起，所述门栓开闭机构还包括设置于所述面板的限位块，以通过所述限位块和所述限位凸起对所述连杆的行程进行限位。
[0022]本申请还提供了一种料盒，所述料盒包括料盒本体、盒盖以及上述任一技术方案所述的门栓开闭机构；
[0023]所述门栓开闭机构的面板用于与所述盒盖相连接，以通过所述门栓相对于面板在锁定状态与解锁状态之间枢转，使得所述盒盖相对于所述料盒本体锁定或解锁。
[0024]在上述任一技术方案中，进一步地，所述料盒还包括盒盖驱动机构和物料搬运机构，所述盒盖驱动机构与所述盒盖相连接，并能够在所述盒盖与所述料盒本体相解锁的情况下，驱动所述盒盖在封盖或打开所述料盒本体的开口的位置之间往复移动；
[0025]所述物料搬运机构能够从所述料盒本体的内部向外搬运物料；
[0026]其中，所述盒盖驱动机构与所述物料搬运机构彼此独立地进行驱动。
[0027]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0028]本申请提供的门栓开闭机构包括面板、门栓、驱动构件、曲柄滑块机构以随动组件。驱动构件设置于面板，驱动构件通过曲柄滑块机构的滑块驱动连杆进行摆动，摆动的连杆通过随动组件带动门栓转动，以通过改变门栓相对于面板的位置，对门栓与面板进行锁定或者进行解锁。
[0029]在此过程中，由于门栓转动的启停以及转动幅度均由驱动构件进行控制，因而对于门栓的旋转角度控制更加精准。此外，滑块和连杆顺次枢接于驱动构件与随动组件之间，因而相邻的部件之间的连接结构较为简单，结构加工精度要求显著降低，因而降低了成本并提高了适用范围。
[0030]本申请提供的料盒，包括料盒本体、盒盖和上述的门栓开闭机构，因而能够通过该
门栓开闭机构对料盒本体和盒盖进行解锁或锁定，并能够实现该门栓开闭机构的所有有益效果。
[0031]此外，料盒还包括物料搬运机构以及能够驱动盒盖封盖或打开料盒本体的开口的盒盖驱动机构，且盒盖驱动机构与物料搬运机构彼此独立地进行驱动，因而能够在取料完成后能够及时关闭盒盖，缩短盒盖敞开时长，显著降低了物料被污染以及受振动滑出的风险，进而该料盒尤其适用于对精密的半导体部件或者精密的光学部件进行储存，例如晶圆或者透镜等。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1为本申请实施例一提供的门栓开闭机构的结构示意图；
[0034]图2为图1中的门栓开闭机构在A视角下的结构示意图；
[0035]图3为图1中的门栓开闭机构在B视角下的结构示意图；
[0036]图4为图3中的门栓开闭机构在C
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种门栓开闭机构，包括面板、门栓及驱动机构，其特征在于，所述驱动机构包括驱动构件、曲柄滑块机构以及随动组件；所述驱动构件设置于所述面板，所述曲柄滑块机构包括滑块和连杆，所述滑块的两端分别与所述驱动构件和所述连杆相枢接，以使所述驱动构件通过所述滑块驱动所述连杆摆动；所述门栓通过所述随动组件枢接于所述面板，所述连杆与所述随动组件相连接，所述连杆能够通过所述随动组件带动所述门栓转动，以使所述门栓相对于面板在锁定状态与解锁状态之间枢转。2.根据权利要求1所述的门栓开闭机构，其特征在于，所述随动组件包括摆臂和随动转轴；所述随动转轴的一端与所述连杆相枢接，所述随动转轴的另一端与所述摆臂相连接，所述摆臂与所述门栓相连接，以使所述门栓与所述摆臂能够相对于所述连杆同步枢转。3.根据权利要求2所述的门栓开闭机构，其特征在于，所述随动组件还包括涨紧套；所述摆臂开设有安装孔，所述门栓的一端与所述面板相枢接，所述门栓的另一端穿设于所述安装孔内，所述门栓与所述安装孔之间形成环形楔槽，所述涨紧套套接于所述门栓的外侧并涨紧于所述环形楔槽内。4.根据权利要求3所述的门栓开闭机构，其特征在于，所述随动组件还包括轴承座和环形弹性限位件；所述轴承座设置于所述面板，所述轴承座的内部开设有摆动空间，所述摆臂伸入到所述摆动空间内并与所述门栓相连接；所述轴承座开设有转轴孔，所述门栓的另一端顺次穿过所述安装孔与所述转轴孔伸出所述轴承座；所述门栓的另一端开设有环形定位槽，所述环形弹性限位件套设于所述门栓的外侧并卡接于所述环形定位槽内，且所述环形弹性限位件与所述轴承座的外侧壁相抵接。5.根据权利要求1所述的门栓开闭机构，其特征在于，所述连杆包括与所述滑块枢接的第一连杆以及与所述第一连杆相枢接的第二连杆；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐焕，舒贻胜，杜振东，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：