本发明专利技术提供一种工艺腔抽真空控制方法、装置、电子设备和存储介质，其中方法包括：隔离阀与真空泵之间的管道内的压力降至第一预设压力后，控制蝶阀由关闭状态打开至初始开合角度，开启隔离阀，再基于预设打开速度，控制蝶阀打开至全开状态；其中，蝶阀在初始开合角度下，以及蝶阀在基于预设打开速度打开至全开状态的过程中，真空泵受到的冲击压力始终小于第二预设压力；初始开合角度基于连接工艺腔与真空泵的管道的管道直径和第二预设压力确定，预设打开速度基于管道直径、第二预设压力和初始开合角度确定；初始开合角度和预设打开速度均与管道直径成反比、与第二预设压力成正比。本发明专利技术在保证抽真空过程的安全性的同时兼顾了抽真空的效率。真空的效率。真空的效率。
【技术实现步骤摘要】
工艺腔抽真空控制方法、装置、电子设备和存储介质
[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种工艺腔抽真空控制方法、装置、电子设备和存储介质。
技术介绍
[0002]在半导体晶圆生产制造过程中，为了实现工艺要求，通常都需要在工艺腔内形成一个高真空度、高密闭性的真空环境。为了使工艺腔室达到真空环境，可以通过抽真空系统对其进行抽真空操作。其中，如图1所示，真空系统包含真空泵、隔离阀、蝶阀，压力计和连接真空泵和工艺腔的管道及其他一些密封件等硬件。
[0003]抽真空系统的抽真空功能一般由上位机软件控制并协调各设备协调运作来实现。目前，抽真空的过程通常包括关闭隔离阀、打开真空泵将管道压力抽至指定压力以下，再打开隔离阀和蝶阀，等待腔体压力达到指定真空度后再关闭隔离阀，此时腔体已经达到指定的真空度。然而，上位机控制设备实现抽真空功能时，在管道压力达到指定压力时，直接开启隔离阀和蝶阀，会导致管道气流猛然增大从而对真空泵产生较大冲击，影响真空泵使用寿命和稳定性，进而降低工艺腔抽真空的稳定性和准确性，影响工艺操作的安全性和精准性。
[0004]因此，亟需一种抽真空控制方法来避免上述可能产生的对真空泵的冲击。其中，如何控制蝶阀的开合将成为兼顾抽真空效率和减轻对真空泵的冲击以提高抽真空操作的安全性的关键。在此基础上，通过对工艺环境下对真空泵产生冲击力的影响因素进行分析后，发现连接工艺腔与真空泵的管道直径会影响对真空泵产生的冲击力大小，而不同工艺需求下连接工艺腔与真空泵的管道直径也不同，因此如何根据各类工艺需求下连接工艺腔与真空泵的管道直径控制抽真空过程中对真空泵产生的冲击力，将是减轻对真空泵的冲击力、提高抽真空操作安全性的另一关键。
技术实现思路
[0005]本专利技术提供一种工艺腔抽真空控制方法、装置、电子设备和存储介质，用以解决现有技术中抽真空时易对真空泵产生冲击导致真空泵受损的缺陷。
[0006]本专利技术提供一种工艺腔抽真空控制方法，其中，连接工艺腔与真空泵的管道由隔离阀和蝶阀控制开合，所述隔离阀位于所述真空泵和所述蝶阀之间，包括：关闭所述隔离阀后，打开所述真空泵，对所述隔离阀与所述真空泵之间的管道进行抽真空操作，直至所述隔离阀与所述真空泵之间的管道内的压力降至第一预设压力；控制所述蝶阀由关闭状态打开至初始开合角度后，开启所述隔离阀，再基于预设打开速度，控制所述蝶阀打开至全开状态；其中，所述蝶阀在所述初始开合角度下，以及所述蝶阀在基于所述预设打开速度打开至全开状态的过程中，所述真空泵受到的冲击压力始终小于第二预设压力；所述初始开合角度是基于所述连接所述工艺腔与真空泵的管道的管道直径和所述第二预设压力确定的，所述预设打开速度是基于所述管道直径、所述第二预
设压力和所述初始开合角度确定的；所述初始开合角度和所述预设打开速度均与所述管道直径成反比、与所述第二预设压力成正比；待监测到所述工艺腔内的压力值降至目标压力值后，关闭所述真空泵和所述隔离阀。
[0007]根据本专利技术提供的一种工艺腔抽真空控制方法，所述初始开合角度是基于如下步骤确定的：基于样本管道的样本管道直径、样本预设压力以及样本初始开合角度，训练角度预测模型；其中，所述样本初始开合角度为保证将所述样本管道的蝶阀打开至对应角度后真空泵受到的冲击力小于所述样本预设压力的最大角度；将所述连接所述工艺腔与真空泵的管道的管道直径和所述第二预设压力输入至训练好的角度预测模型，得到所述初始开合角度。
[0008]根据本专利技术提供的一种工艺腔抽真空控制方法，所述基于样本管道的样本管道直径、样本预设压力以及样本初始开合角度，训练角度预测模型，具体包括：将所述样本管道的样本管道直径和所述样本预设压力输入至所述角度预测模型，得到所述角度预测模型输出的测试开合角度；基于所述测试开合角度和所述样本初始开合角度之间的角度差，以及将所述样本管道的蝶阀打开至所述测试开合角度后真空泵受到的测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差，计算模型损失；基于所述模型损失，更新所述角度预测模型的模型参数。
[0009]根据本专利技术提供的一种工艺腔抽真空控制方法，所述基于所述测试开合角度和所述样本初始开合角度之间的角度差，以及将所述样本管道的蝶阀打开至所述测试开合角度后真空泵受到的测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差，计算模型损失，具体包括：若所述测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差大于0，则基于所述测试开合角度和所述样本初始开合角度之间的角度差和第一权重，计算模型损失；否则，基于所述测试开合角度和所述样本初始开合角度之间的角度差和第二权重，计算模型损失；其中，所述第一权重大于所述第二权重。
[0010]根据本专利技术提供的一种工艺腔抽真空控制方法，所述预设打开速度是基于如下步骤确定的：基于样本管道的样本管道直径、样本预设压力、样本初始开合角度以及样本打开速度，训练速度预测模型；其中，所述样本打开速度为保证将所述样本管道的蝶阀打开至全开角度的过程中真空泵受到的冲击力始终小于所述样本预设压力的最大打开速度；将所述连接所述工艺腔与真空泵的管道的管道直径、所述第二预设压力和所述初始开合角度输入至训练好的速度预测模型，得到所述预设打开速度。
[0011]根据本专利技术提供的一种工艺腔抽真空控制方法，所述基于样本管道的样本管道直径、样本预设压力、样本初始开合角度以及样本打开速度，训练速度预测模型，具体包括：将所述样本管道的样本管道直径、所述样本预设压力和所述样本初始开合角度输入至所述速度预测模型，得到所述速度预测模型输出的测试打开速度；基于所述测试打开速度和所述样本打开速度之间的速度差，以及基于所述测试打
开速度将所述样本管道的蝶阀打开至全开状态的过程中真空泵受到的测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差，计算模型损失；基于所述模型损失，更新所述速度预测模型的模型参数。
[0012]根据本专利技术提供的一种工艺腔抽真空控制方法，所述基于所述测试打开速度和所述样本打开速度之间的速度差，以及基于所述测试打开速度将所述样本管道的蝶阀打开至全开状态的过程中真空泵受到的测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差，计算模型损失，具体包括：若基于所述测试打开速度将所述样本管道的蝶阀打开至全开状态的过程中的任一时刻，真空泵受到的测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差大于0，则基于所述测试打开速度和所述样本打开速度之间的速度差和第三权重，计算模型损失；否则，基于所述测试打开速度和所述样本打开速度之间的速度差和第四权重，计算模型损失；其中，所述第三权重大于所述第四权重。
[0013]本专利技术还提供一种工艺腔抽真空控制装置，其中，连接工艺腔与真空泵的管道由隔离阀和蝶阀控制开合，所述隔离阀位于所述真空泵和所述蝶阀之间，包括：预抽真空单元，用于关闭所述隔离阀后，打开所述真空泵，对所述隔离阀与所述真空泵之间的管道进行抽真空操作，直至所述隔离阀与所述真空泵之间的管道内的压力降至第一预设压力；抽真空控制单元，用于控制所述蝶阀由关闭状态打开至初始开合角度后，开启所述隔离阀，再基于预设打开速度，控制所述蝶阀本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种工艺腔抽真空控制方法，其中，连接工艺腔与真空泵的管道由隔离阀和蝶阀控制开合，所述隔离阀位于所述真空泵和所述蝶阀之间，其特征在于，包括：关闭所述隔离阀后，打开所述真空泵，对所述隔离阀与所述真空泵之间的管道进行抽真空操作，直至所述隔离阀与所述真空泵之间的管道内的压力降至第一预设压力；控制所述蝶阀由关闭状态打开至初始开合角度后，开启所述隔离阀，再基于预设打开速度，控制所述蝶阀打开至全开状态；其中，所述蝶阀在所述初始开合角度下，以及所述蝶阀在基于所述预设打开速度打开至全开状态的过程中，所述真空泵受到的冲击压力始终小于第二预设压力；所述初始开合角度是基于所述连接所述工艺腔与真空泵的管道的管道直径和所述第二预设压力确定的，所述预设打开速度是基于所述管道直径、所述第二预设压力和所述初始开合角度确定的；所述初始开合角度和所述预设打开速度均与所述管道直径成反比、与所述第二预设压力成正比；待监测到所述工艺腔内的压力值降至目标压力值后，关闭所述真空泵和所述隔离阀。2.根据权利要求1所述的工艺腔抽真空控制方法，其特征在于，所述初始开合角度是基于如下步骤确定的：基于样本管道的样本管道直径、样本预设压力以及样本初始开合角度，训练角度预测模型；其中，所述样本初始开合角度为保证将所述样本管道的蝶阀打开至对应角度后真空泵受到的冲击力小于所述样本预设压力的最大角度；将所述连接所述工艺腔与真空泵的管道的管道直径和所述第二预设压力输入至训练好的角度预测模型，得到所述初始开合角度。3.根据权利要求2所述的工艺腔抽真空控制方法，其特征在于，所述基于样本管道的样本管道直径、样本预设压力以及样本初始开合角度，训练角度预测模型，具体包括：将所述样本管道的样本管道直径和所述样本预设压力输入至所述角度预测模型，得到所述角度预测模型输出的测试开合角度；基于所述测试开合角度和所述样本初始开合角度之间的角度差，以及将所述样本管道的蝶阀打开至所述测试开合角度后真空泵受到的测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差，计算模型损失；基于所述模型损失，更新所述角度预测模型的模型参数。4.根据权利要求3所述的工艺腔抽真空控制方法，其特征在于，所述基于所述测试开合角度和所述样本初始开合角度之间的角度差，以及将所述样本管道的蝶阀打开至所述测试开合角度后真空泵受到的测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差，计算模型损失，具体包括：若所述测试冲击力与所述样本预设压力之间的压力差大于0，则基于所述测试开合角度和所述样本初始开合角度之间的角度差和第一权重，计算模型损失；否则，基于所述测试开合角度和所述样本初始开合角度之间的角度差和第二权重，计算模型损失；其中，所述第一权重大于所述第二权重。5.根据权利要求1所述的工艺腔抽真空控制方法，其特征在于，所述预设打开速度是基于如下步骤确定的：基于样本管道的样本管道直径、样本预设压力、样本初始开合角度以及样本打开速度，
训练速度预测模型；其中，所述样本打开速度为保证将所述样本管道的蝶阀打开至全开角度的过程中真空泵受到的冲击力始终小于所述样本预设...
【专利技术属性】
技术研发人员：阮正华，顾锐，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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