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本发明提供一种工艺腔抽真空控制方法、装置、电子设备和存储介质，其中方法包括：隔离阀与真空泵之间的管道内的压力降至第一预设压力后，控制蝶阀由关闭状态打开至初始开合角度，开启隔离阀，再基于预设打开速度，控制蝶阀打开至全开状态；其中，蝶阀在初始开...
该专利属于无锡邑文电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡邑文电子科技有限公司授权不得商用。

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