耿氏二极管制造方法以及耿氏振荡器技术

在半导体基板上依次层叠有第１半导体层、活化层和第２半导体层的耿氏二极管，具有设于第２半导体层上的对活化层施加电压用的第１、第２电极、从该第１电极周围向着第２半导体层和活化层切入并将与第１电极连接的第２半导体层和活化层作为起耿氏二极管作用的区域划分出来的凹部。因为起耿氏二极管作用的区域划定是通过将形成于该区域上部的电极层作为掩模的自配合的干法刻蚀进行的，故能减少其特性差异。并公开了其制造方法和安装结构及ＮＲＤ波导耿氏振荡器。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种ＮＲＤ波导耿氏振荡器，其两片金属板构成的平行平板以所使用频率的自由空间波长的１／２以下的间隔配置，在该平行平板之间将夹持着介质带状线的ＮＲＤ波导回路与耿氏二极管相组合，由此形成ＮＲＤ波导耿氏振荡器，其特征在于，具有：在表面形成有 与信号线路连接的信号电极和与该信号电极绝缘的接地电极的绝缘性或半绝缘性的平板基板，在同一面上形成有阳极电极和阴极电极且该两电极之一与所述平板基板的信号电极连接而另一电极与所述接地电极连接的耿氏二极管，以及，相对所述平行平板之 一支承所述平板基板背面的散热片，并且，所述平板基板的所述信号线路的顶端与所述介质带状线电磁耦合。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中川敦，渡边健一，
申请(专利权)人：新日本无线株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]