显示器件及其制备方法技术

技术编号:33933416 阅读:24 留言:0更新日期:2022-06-25 22:47
本申请公开了显示器件及其制备方法,属于半导体器件技术领域,该制备方法包括提供显示装置,显示装置包括阵列排布的多个像素点;在像素点上方形成栅格层,栅格层包括阵列排布的多个栅格孔,栅格孔相对于像素点设置,像素点发出的光通过栅格孔出射;在栅格层上形成微透镜阵列,微透镜阵列包括阵列排布的多个微透镜单元,微透镜单元相对于栅格孔设置,且微透镜单元覆盖栅格孔。该方法在像素点上方设置栅格孔,并在栅格孔上覆盖微透镜单元,使得像素点发出的光能够被微透镜单元准直、聚拢;由于微透镜单元覆盖栅格孔,使得微透镜单元更容易通过栅格孔与像素点对齐定位,从而降低了制备的难度,提高加工良率。提高加工良率。提高加工良率。

【技术实现步骤摘要】
显示器件及其制备方法


[0001]本申请属于半导体器件
,具体涉及显示器件及其制备方法。

技术介绍

[0002]Micro

LED又称微型发光二极管,是指高密度集成的LED阵列,阵列中的LED像素点距离在0.1

10微米量级,每一个LED像素都能自发光。由于同等面积的芯片上可以获得更高的集成数量,极大地提高了Micro

LED微显示的集成密度,从而提升显示分辨率,同时保证高亮度,可以实现低能耗,高亮度,高分辨率的微型显示器设计。
[0003]目前,一些微显示器件采用设置Micro

lens(微透镜)的方式提升Micro

LED的发光效率,但是,在Micro

LED的像素点上方直接制备Micro

lens时,难以将像素点和Micro

lens对准定位,存在制备难度大,产品良率不高的缺陷。

技术实现思路

[0004]专利技术目的:本申请提供显示器件的制备方法,目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.显示器件的制备方法,其特征在于,包括:提供显示装置,所述显示装置包括阵列排布的多个像素点(100);在所述像素点(100)上方形成栅格层(110),所述栅格层(110)包括阵列排布的多个栅格孔(111),所述栅格孔(111)相对于所述像素点(100)设置,所述像素点(100)发出的光通过所述栅格孔(111)出射;在所述栅格层(110)上形成微透镜阵列(113),所述微透镜阵列(113)包括阵列排布的多个微透镜单元(114),所述微透镜单元(114)相对于所述栅格孔(111)设置,且所述微透镜单元(114)覆盖所述栅格孔(111)。2.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述栅格层(110)包括:在所述像素点(100)上方形成栅格层涂层(110a),刻蚀所述栅格层涂层(110a)形成所述栅格孔(111)。3.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,还包括:在形成所述微透镜阵列(113)之前,在所述栅格层(110)上形成透明层(115),所述透明层(115)填充所述栅格孔(111),所述微透镜阵列(113)覆盖在所述透明层(115)上方。4.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,所述微透镜单元(114)填充所述栅格孔(111)。5.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述微透镜阵列(113)包括:在所述栅格层(110)上形成微透镜材料层(113a),通过压印所述微透镜材料层(113a)形成所述微透镜阵列(113)。6.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述微透镜阵列(113)包括:在所述栅格层(110)上形成微透镜材料层(113a),并在所述微透镜材料层(113a)上形成前体层(116),通过刻蚀工艺将形成于所述前体层(116)上的微透镜图形(117)转印至所述微透镜材料层(113a),形成所述微透镜阵列(113)。7.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述微透镜阵列(113)包括:在所述栅格层(110)上形成微透镜材料层(113a),通过光刻、回流形成所述微透镜阵列(113)。8.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,还包括:在形成所述微透镜阵列(113)之前,在所述栅格层(110)上形成反光层(112),所述反光层(112)至少覆盖所述栅格孔(111)的侧壁,所述像素点(100)发出的光中至少部分光经过所述反光层(112)的反射。9.根据权利要求8所述的显示器件的制备方法,其特征在于,形成所述反光层(112)包括:在所述栅格层(110)上形成反光材料层(112a);通过干法刻蚀所述反光材料层(112a)形成所述反光层(112),所述反光层(112)仅覆盖所述栅格孔(111)的侧壁。10.根据权利要求8所述的显示器件的制备方法,其特征在于,沿着远离所述像素点
(100)的方向,所述栅格孔(111)的横截面尺寸逐渐变大使经过所述反光层(112)反射的光聚拢出射。11.根据权利要求1所述的显示器件的制备方法,其特征在于,包括:在所述像素点(100)上方覆设阻挡层(109),所述栅格层(110)...

【专利技术属性】
技术研发人员:庄永漳仉旭
申请(专利权)人:镭昱光电科技苏州有限公司
类型:发明
国别省市:

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