本发明专利技术提供一种取卡装置，其包括：固定支架和取卡组件；所述取卡组件包括第一导轨和插杆，所述插杆沿所述第一导轨的轴向可移动地与所述第一导轨连接；所述插杆用于沿所述第一导轨的轴向移动以穿入探针卡的把手；所述固定支架包括与所述第一导轨成角度布置的第二导轨，所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向可移动地与所述第二导轨连接；所述取卡组件用于在所述插杆穿入所述把手后，沿所述第二导轨的轴向移动，以驱动所述探针卡沿所述第二导轨的轴向移动。如此配置，取卡组件在插杆穿入探针卡的把手后，沿第二导轨的轴向移动，以驱动探针卡沿第二导轨的轴向移动并与基座分离，有效解决了手动提取探针卡时易倾斜而导致限位脚以及探针卡的损坏问题。针卡的损坏问题。针卡的损坏问题。
【技术实现步骤摘要】
取卡装置
[0001]本专利技术涉及一种半导体制造领域，尤其是一种取卡装置。
技术介绍
[0002]现有的取卡操作需要由现场人员手动提取，在取卡过程中，由于设备的限位脚与探针卡之间存在摩擦力，在向上提时需要一定力度，非常容易导致探针卡因受力不均而产生倾斜，从而使限位脚受力变形，影响使用。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种取卡装置，以解决手动提取探针卡时易倾斜导致限位脚及探针卡损坏的问题。
[0004]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种取卡装置，包括：固定支架和取卡组件；
[0005]所述取卡组件包括第一导轨和插杆，所述插杆沿所述第一导轨的轴向可移动地与所述第一导轨连接；所述插杆用于沿所述第一导轨的轴向移动以穿入探针卡的把手；
[0006]所述固定支架包括与所述第一导轨成角度布置的第二导轨，所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向可移动地与所述第二导轨连接；
[0007]所述取卡组件用于在所述插杆穿入所述把手后，沿所述第二导轨的轴向移动，以驱动所述探针卡沿所述第二导轨的轴向移动。
[0008]可选的，所述取卡组件还包括第一滑块，所述第一滑块沿所述第一导轨的轴向可移动地设置于所述第一导轨上，所述插杆的一端于所述第一滑块连接，所述插杆的另一端为自由端，所述自由端用于穿入所述探针卡的把手。
[0009]可选的，所述取卡组件还包括第一限位件，所述第一限位件与所述第一导轨连接；所述第一限位件用于与穿过所述把手后的所述插杆连接，以限制所述插杆沿所述第一导轨的径向的位移。
[0010]可选的，所述取卡装置还包括施力组件，所述施力组件与所述取卡组件连接，用于驱动所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向移动。
[0011]可选的，所述固定支架包括多个相互平行的第二导轨，所述取卡组件还包括第一连接横杆和多个第二滑块，所述第二滑块沿所述第二导轨的轴向可移动地设置于所述第二导轨上，所述第二滑块与所述第二导轨一一对应；多个所述第二滑块通过所述第一连接横杆相连接；
[0012]所述第一导轨与所述第一连接横杆或所述第二滑块连接。
[0013]可选的，所述取卡组件还包括第二限位件，所述第二限位件与所述取卡组件连接，且所述第二限位件用于抵靠所述探针卡的基座，以限制所述取卡组件朝向所述基座的移动行程。
[0014]可选的，所述固定支架还包括固定件，至少所述第二导轨的顶端与所述固定件连接，所述固定件用于与所述取卡组件抵靠，以限制所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向的
通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本说明书中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。术语“上”、“下”、“顶”、“底”通常是按重力方向进行排布的相对位置关系；术语“竖向、竖直方向”通常是指沿重力方向，其一般垂直于地面，“水平向、水平面方向”通常是沿平行于地面的方向；对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本说明书中的具体含义。
[0029]本专利技术的目的在于提供一种取卡装置，以解决手动提取探针卡时易倾斜导致限位脚及探针卡损坏的问题。
[0030]以下参考附图进行描述。
[0031]请参考图1和图2，其示出了一种探针卡30及其基座303。探针卡30具有沿轴向排布的定位孔，基座303上具有沿轴向排布的限位脚302，在探针卡30与基座303处于装配状态时，限位脚302穿设于定位孔中。专利技术人发现，如图1至图2所示，现有的取卡操作一般由现场人员手动提取，由于位于基座303上的限位脚302与探针卡30之间存在摩擦力，现场人员在抓住探针卡30的把手301向上提起探针卡30的过程中，常常会导致探针卡30因受力不均而产生倾斜，从而使得限位脚302和/或探针卡30产生变形，影响基座303与探针卡30的使用寿命。
[0032]基于上述研究，请参考图3和图4，本专利技术提供一种取卡装置，其包括：固定支架20和取卡组件10；所述取卡组件10包括第一导轨102和插杆101，所述插杆101沿所述第一导轨102的轴向可移动地与所述第一导轨102连接；所述插杆101用于沿所述第一导轨102的轴向移动以穿入探针卡30的把手301；所述固定支架20包括与所述第一导轨102成角度布置的第二导轨201，所述取卡组件10沿所述第二导轨201的轴向可移动地与所述第二导轨201连接；所述取卡组件10用于在所述插杆101穿入所述把手301后，沿所述第二导轨201的轴向移动，以驱动所述探针卡30沿所述第二导轨201的轴向移动。需要说明的是，第二导轨201的延伸方向，应与限位脚302的延伸方向保持大致相同。在图3和图4示出的示范例中，第二导轨201是沿竖向延伸的，这里的竖向并不限于严格地垂直于水平面，第二导轨201的延伸方向可以与垂直于水平面的方向存在一定的偏角，例如偏角在0
°‑5°
的范围内，都应理解为第二导轨201沿竖向延伸。
[0033]如此配置，现场人员先将插杆101沿第一导轨102的轴向移动直至插杆101穿入把手301，再驱动取卡组件10沿第二导轨201的轴向移动，并带动探针卡30一同移动以完成取卡操作。与现有的取卡操作相比，本专利技术使得探针卡30在整个取卡过程中的运动方向保持不变，不会因受力不均而产生倾斜，进而影响探针卡30和限位脚302的使用寿命。
[0034]进一步的，请参考图3和图5，所述取卡组件10还包括第一滑块103，所述第一滑块103沿所述第一导轨102的轴向可移动地设置于所述第一导轨102上，所述插杆101的一端于所述第一滑块103连接，所述插杆101的另一端为自由端，所述自由端用于穿入所述探针卡30的把手301。需要说明的是，在图3和图5示出的示范例中，插杆101的外轮廓是L形的，因
此，插杆101可以直接与把手301连接，在另一些实施例中，插杆101的外轮廓也可以是其他形状，如直线型等，那么就需要设置一段过渡连接杆来完成与把手301的连接，本专利技术对此不限。
[0035]更进一步的，所述取卡组件10还包括第一限位件104，所述第一限位件104与所述第一导轨102连接；所述第一限位件104用于与穿过所述把手301后的所述插杆101连接，以限制所述插杆101沿所述第一导轨102的径向的位移。
[0036]优选的，如图3和图5所示，第一导轨102为圆柱状构件，其能够最大程度上减小移动过程中的摩擦损耗，相应的，第一滑块103也被配置为相适配的环状构件；同理，插杆101也为圆柱状构件，相应的，第一限位件104本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种取卡装置，其特征在于，包括：固定支架和取卡组件；所述取卡组件包括第一导轨和插杆，所述插杆沿所述第一导轨的轴向可移动地与所述第一导轨连接；所述插杆用于沿所述第一导轨的轴向移动以穿入探针卡的把手；所述固定支架包括与所述第一导轨成角度布置的第二导轨，所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向可移动地与所述第二导轨连接；所述取卡组件用于在所述插杆穿入所述把手后，沿所述第二导轨的轴向移动，以驱动所述探针卡沿所述第二导轨的轴向移动。2.如权利要求1所述的取卡装置，其特征在于，所述取卡组件还包括第一滑块，所述第一滑块沿所述第一导轨的轴向可移动地设置于所述第一导轨上，所述插杆的一端于所述第一滑块连接，所述插杆的另一端为自由端，所述自由端用于穿入所述探针卡的把手。3.如权利要求2所述的取卡装置，其特征在于，所述取卡组件还包括第一限位件，所述第一限位件与所述第一导轨连接；所述第一限位件用于与穿过所述把手后的所述插杆连接，以限制所述插杆沿所述第一导轨的径向的位移。4.如权利要求1所述的取卡装置，其特征在于，所述取卡装置还包括施力组件，所述施力组件与所述取卡组件连接，用于驱动所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向移动。5.如权利要求1所述的取卡装置，其特征在于，所述固定支架...
【专利技术属性】
技术研发人员：张耀堃，张淋淋，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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