一种补液校准装置及补液系统制造方法及图纸

技术编号:33905681 阅读:16 留言:0更新日期:2022-06-25 18:37
本实用新型专利技术公开补液校准装置及补液系统,涉及电池片清洗技术领域,用于对预定的补液偏差进行校准。补液校准装置包括补液单元、第一转换输出单元、计量单元、废液处置单元和第二转换输出单元。补液单元用于提供具有预设量的清洗液。第一转换输出单元入口与补液单元出口连接,第一转换输出单元出口分别与计量单元和清洗槽可控连通,能够使补液单元提供的清洗液可选择的定量转移到计量单元或清洗槽中。计量单元能够对接收到的清洗液进行计量,以获取清洗液的实测量。第二转换输出单元的入口与计量单元的出口连接,第二转换输出单元的出口分别于与废液处置单元和清洗槽可控连通,能够使计量单元中的清洗液可选择的定量转移到废液处置单元或清洗槽中。置单元或清洗槽中。置单元或清洗槽中。

A liquid replenishment calibration device and liquid replenishment system

【技术实现步骤摘要】
一种补液校准装置及补液系统


[0001]本技术涉及电池片清洗
,尤其涉及一种补液校准装置及补液系统。

技术介绍

[0002]在制备晶体硅太阳能电池时,硅片在切割、搬运或加工过程中,通常会受到来自设备、工装以及环境等多方面的污染。此时,需要利用清洗技术对硅片进行清洗。清洗技术可以分为干法清洗技术和湿法清洗技术。其中,湿法清洗技术是指利用有机溶剂和各种化学试剂与吸附在硅片表面上的杂质发生化学反应,以使杂质从硅片表面脱附(解吸)。
[0003]在利用湿法清洗技术清洗硅片时,通常需要采用湿法清洗设备,在湿法清洗设备所包括的清洗槽内盛装清洗液,将硅片容置在清洗液内,利用清洗液实现硅片的清洗。随着清洗液的不断消耗,清洗液的浓度会降低,此时,会影响清洗效果。为了保持清洗液的浓度稳定,在清洗完成一定量批次的硅片后,需要向清洗槽内补加预设量的清洗液。
[0004]在现有的机台补液罐使用中,补液罐自带补液预制装置,一次补液预定一定的溶液体积,但是补液预制装置使用时间长了以后,预定的补液量会发生偏差;如何解决设定补液值数据与实际补液值数据不一致问题,是行业保持药液浓度稳定的一大难题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种补液校准装置及补液系统,能够用于对预定的补液偏差进行校准,包括:
[0006]第一方面,本技术提供一种补液校准装置,应用于清洗槽,补液校准装置包括补液单元、第一转换输出单元、计量单元、废液处置单元和第二转换输出单元。其中,补液单元用于提供具有预设量的清洗液。第一转换输出单元的入口与补液单元的出口连接,第一转换输出单元的出口分别与计量单元和清洗槽可控连通,能够使补液单元提供的清洗液可选择的定量转移到计量单元或清洗槽中。计量单元能够对接收到的清洗液进行计量,以获取清洗液的实测量。第二转换输出单元的入口与计量单元的出口连接,第二转换输出单元的出口分别于与废液处置单元和清洗槽可控连通,能够使计量单元中的清洗液可选择的定量转移到废液处置单元或清洗槽中。
[0007]与现有技术相比,将本技术提供的补液校准装置应用于清洗槽时,可以分为补液状态和校准状态。
[0008]当补液校准装置处于补液状态时,补液单元通过第一转换输出单元与清洗槽连通。此时,由补液单元提供的具有预设量的清洗液通过第一转换输出单元直接补给至清洗槽,以维持清洗槽内的清洗液的浓度稳定。
[0009]当补液校准装置处于校准状态时,补液单元通过第一转换输出单元与计量单元连通,此时,由补液单元提供的具有预设量的清洗液转移至计量单元中,计量单元对接收到的清洗液进行计量,以获得清洗液的实测量。在实测量小于或等于预设量的情况下,计量单元通过第二转换输出单元与清洗槽连通,将实测量小于预设量的清洗液继续转移至清洗槽,
以维持清洗槽内的清洗液的浓度稳定。基于此,计量单元内的清洗液不需要单独做如排出补液校准装置外的处理。此时,可以有效的降低由于排出而造成的清洗液的浪费。
[0010]在实测量大于预设量的情况下,计量单元通过第二转换输出单元与废液处置单元连通,将实测量大于预设量的清洗液转移至废液处理单元中。在避免实测量大于预设量的清洗液转移至清洗槽内的前提下,可以有效的避免实测量较大的清洗液对清洗槽内的清洗液浓度造成波动。
[0011]在计量单元计量获得的清洗液的实测量大于或小于预设量的情况下,调整补液单元输出的清洗液的预设量,并对调整之后的预设量进行再次校准,直至调整之后的预设量满足要求。
[0012]从以上应用过程可知,本技术提供的补液校准装置,在满足正常补液的情况下,可以有效的实现校准功能,以实现清洗液的偏差补偿。而且,在校准过程中,还可以有效利用用于校准的清洗液,以减小清洗液的资源浪费。
[0013]在一种实现方式中,补液单元包括补液罐以及与补液罐的出口连接的预制补液量具,预制补液量具用于量取预设量的清洗液。第一转换输出单元的入口与预制补液量具的出口连接。
[0014]作为一种示例,预制补液量具为具有预设流量的第一阀门,第一阀门设置在补液罐所具有的输出管路上。
[0015]采用上述技术方案的情况下,在实际应用中,当预制补液量具为清洗槽或计量单元定量供应清洗液时,由于第一阀门具有预设流量,此时,仅需要控制第一阀门的开启时间即可实现预设量清洗液的量取。也就是说,在预制补液量具仅包括第一阀门的情况下,即可实现预设量清洗液的量取。此时,预制补液量具具有结构简单的优点,使得可以从整体上简化补液校准装置的结构。
[0016]作为另一种示例,预制补液量具包括第一量筒以及设置在第一量筒外壁上的第一液位传感器,在第一液位传感器确定由补液罐输出至第一量筒内的清洗液达到预设量时,补液罐停止向第一量筒供应清洗液。
[0017]采用上述技术方案的情况下,第一量筒配合第一液位传感器实现预设量清洗液的量取,在实际应用中,开启补液罐以将清洗液从补液罐转移至第一量筒内,在第一量筒接收到清洗液的情况下,第一液位传感器实时监测第一量筒接收到的清洗液的体积。在第一液位传感器确定由补液罐输出至第一量筒内的清洗液达到预设量时,补液罐停止向第一量筒供应清洗液。此时,第一量筒量取预设量的清洗液。
[0018]在实际使用过程中,存在补液罐过量转移清洗液至第一量筒的情况下,当第一液位传感器检测到清洗液过量转移时,可以将多余的清洗液从第一量筒中排出,以确保第一量筒量取的清洗液的预设量满足要求。也就是说,降低第一量筒量取的清洗液的实际量与预设量之间存在偏差的风险。即提高第一量筒的量取精度,当第一量筒内的清洗液转移至清洗槽内后,可以确保清洗槽内的浓度稳定性。当第一量筒内的清洗液转移至计量单元后,可以提高校准精度。
[0019]在一种实现方式中,第一转换输出单元和/或第二转换输出单元为三通阀。利用三通阀将补液单元提供的清洗液可选择的定量转移至计量单元或清洗槽中,以及利用三通阀将计量单元输出的清洗液可选择的定量转移至废液处置单元或清洗槽中。采用三通阀这一
标准件即可实现清洗液可选择的定量转移,具有结构简单和使用成本低的效果。
[0020]作为一种示例,计量单元包括第二量筒,第二量筒为透明式量筒,透明式量筒的筒壁上设置有刻度线。第二量筒具有入口和出口,入口与第一转换输出单元的出口连接,出口与第二转换输出单元的入口连接。
[0021]采用上述技术方案的情况下,在实际应用中,利用透明式量筒接收来自补液单元定量转移的清洗液,此时,可以通过人为读取透明式量筒所具有的筒壁上的刻度线,以获取清洗液的实测值,具有操作简单的效果。
[0022]作为第二种示例,第二量筒的外壁上设置至少一个第二液位传感器。第二量筒具有入口和出口,入口与第一转换输出单元的出口连接,出口与第二转换输出单元的入口连接。
[0023]采用上述技术方案的情况下,在实际应用中,第二量筒可以是透明式量筒或非透明式量筒,利用第二量筒接收来自补液单元定量转移的清洗液,此时,可以利用第二液位传感器获取第二本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种补液校准装置,应用于清洗槽,其特征在于,包括:补液单元、第一转换输出单元、计量单元、废液处置单元和第二转换输出单元;其中,所述补液单元用于提供具有预设量的清洗液;所述第一转换输出单元的入口与所述补液单元的出口连接,所述第一转换输出单元的出口分别与所述计量单元和清洗槽可控连通,能够使所述补液单元提供的所述清洗液可选择的定量转移到所述计量单元或清洗槽中;所述计量单元能够对接收到的所述清洗液进行计量,以获取所述清洗液的实测量;所述第二转换输出单元的入口与所述计量单元的出口连接,所述第二转换输出单元的出口分别于与所述废液处置单元和所述清洗槽可控连通,能够使所述计量单元中的清洗液可选择的定量转移到所述废液处置单元或所述清洗槽中。2.根据权利要求1所述的补液校准装置,其特征在于,所述补液单元包括补液罐以及与所述补液罐的出口连接的预制补液量具,所述预制补液量具用于量取预设量的清洗液;所述第一转换输出单元的入口与所述预制补液量具的出口连接。3.根据权利要求2所述的补液校准装置,其特征在于,所述预制补液量具为具有预设流量的第一阀门,所述第一阀门设置在所述补液罐所具有的输出管路上;或,所述预制补液量具包括第一量筒以及设置在所述第一量筒外壁上的第一液位传感器,在所述第一液位传感器确定由所述补液罐输出至所述第一量筒内的所述清洗液达到预设量时,所述补液罐停止向所述第一量筒供应所述清洗液。4.根据权利要求1所述的补液校准装置,其特征在于,所述第一转换输出单元和/或第二转换输出单元为三通阀。5.根据权利要求1所述的补液校准装置,其特征在于,所述计量单元包括第二量筒,所述第二量筒为透明式量筒,所述透明式量筒的筒壁上设置有刻度线;或,所述第二量筒的外壁上设置至少一个第二液位传感器;所述第二量筒具有入口和出口,所述入口与所述第一转换输出单元的出口连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵赞良解赵波王肖肖
申请(专利权)人:宁夏隆基乐叶科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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