基于声表面波的高输出功率二维微驱动器装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种微机电系统技术领域的基于声表面波的高输出功率二维微驱动器装置，包括上板、大永磁体、四个调节螺栓、小永磁体、滑块、二维驱动平台、下板，其中：四个调节螺栓关于上板下板中心连线对称分布并固定、调节上板和下板，大永磁体固定于上板正下方，小永磁体固定在滑块上，滑块放置在下板上，二维驱动平台上对称分布四组叉指电极对，在叉指电极对上面加载谐振频率的交流激励能实现对放置其上的滑块的驱动，调节四个调节螺栓控制上板与下板之间的距离，实现调节大、小永磁体之间的斥力大小，从而实现预载力的调节。本发明专利技术既可以实现二维驱动，又可以实现大的预载荷力，从而实现较高的输出功率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机电
的微驱动器，特别涉及一种基于声表面波的 高输出功率二维微驱动器装置。
技术介绍
声表面器件应用于驱动器的研究始于上世纪80年代。具体原理如下当周 期性的交变电压加载到压电基片上时，在基片内就建立起交变电场。这会在基片 内激发起周期性弹性振动，并形成周期性的弹性波。当表面放置一个滑块后并加 一个预载力时，由于摩擦力的作用，滑块将产生规律性的位移，即实现驱动作用。 目前，声表面波驱动装置步进幅度已经精确控制到纳米数量级，可以广泛应用于 精确输运等方面。经对现有技术的文献检索发现，Minoru Kuribayashi Kurusawa等在《Optical Review》(光学评论)2006年第13巻第4期195-200页上发表的"Two dimensionally self—holding deflection mirror using surface acoustic wave motor"(利用声表面波马达的二维自持反射镜)，该文中采用了一种二维的声表 面波马达。具体如下在滑块上面固定一个钕永磁体，然后在二维平台的正下方 用两个相互垂直的有铁芯的通电螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于声表面波的高输出功率二维微驱动器装置，其特征在于包括上板、大永磁体、四个调节螺栓、小永磁体、滑块、二维驱动平台、下板，其中：上板、大永磁体、小永磁体、滑块、二维驱动平台、下板自上而下依次设置，四个调节螺栓关于上板下板中心连线对称分布并固定、调节上板和下板，大永磁体固定于上板正下方，小永磁体固定在滑块上，滑块放置在下板上，二维驱动平台上对称分布四组叉指电极对，在叉指电极对上面加载谐振频率的交流激励能实现对放置其上的滑块的驱动，调节四个调节螺栓控制上板与下板之间的距离，实现调节大、小永磁体之间的斥力大小，从而实现预载力的调节。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李以贵，高阳，张俊峰，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]