弹跳式致动器与微型马达制造技术

技术编号:3389714 阅读:157 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种弹跳式致动器(Bounce  Drive  Actuator;BDA)与微型马达及其应用,其包括:至少一BDA轴衬,BDA轴衬的高度与宽度的比例值小于1;至少一BDA平板,BDA平板的长度小于75μm。本实用新型专利技术的弹跳式致动微型马达包括至少一弹跳式致动器,弹跳式致动器由一BDA轴衬与一BDA平板构成,且BDA轴衬的高度与宽度比小于1,BDA平板的长度小于75μm。本实用新型专利技术可用于微出力组件结构组装及微光通讯开关。本实用新型专利技术通过创新的肋骨结构毗连内环设计与导角设计,使BDA微型马达具有更长的组件寿命(>100小时)与更高的转速(>30rpm)。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种以微机电系统(Micro electromechanical Systems; MEMS) 技术制作的微型旋转马达(Micro Rotary Motor),其利用弹跳式致动器(BDA)驱 动机制与特性来改善传统静电式驱动微型马达的组件寿命短、驱动电压高等缺点。
技术介绍
微小化技术是当今科学的主要潮流。最为公众所知的,便是集成电路(IC) 技术以及微机电系统(MEMS)技术,也是带领我们在最近这几年来, 一起探究 微小世界的初步技术。传统的微抓举式致动器(Scratch Drive Actuator; SDA)具有可精确定位以及 线性步进的机械性质。如图l所示,在Bright(布莱特)以及Linderman(黎德曼)所做的研究中指出,当 在给定驱动电压的情况下,SDA平板6弯曲使得尾端会先进行吸附动作,并接触 氮化硅绝缘层2,称为折屈动作(snaping);当电压加大到吸附电压时(Priming Voltage), SDA主体因静电力而产生较大变形,SDA平板6会大面积接触氮化硅 绝缘层2,而当移除给定电压后,储存在支撑悬臂梁、SDA平板6与SDA轴衬14 中的张应本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹跳式致动器,其特征在于包括:    至少一BDA轴衬,所述BDA轴衬的高度与宽度的比例值小于1;    至少一BDA平板,所述BDA平板的长度小于75μm。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:洪银树黄义佑陈冠铭
申请(专利权)人:建凖电机工业股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]

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